一种半导体制程尾气粉尘清洗装置的制作方法

本技术涉及粉尘清洗装置，具体为一种半导体制程尾气粉尘清洗装置。

背景技术：

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件，pm2.5和0.5粉尘微粒是呼吸系统癌症病变的主要原因，粉尘微粒飘散后对环境和作业人员都有不利影响，半导体制程副产物所产生的微粒大部分分布在0.1-1um。

2、目前的半导体制程尾气粉尘清洗装置，如公告号cn212417388u的专利所述，包括有底座和洗涤筒，底座上的水泵一端接通有输水管，所述洗涤筒设有混流喷嘴，所述混流喷嘴与输水管接通，所述混流喷嘴的出水口设于空腔的中部，所述混流喷嘴一侧接通有进气管，所述洗涤筒上设有出气管，所述洗涤筒底部设有出泥管，所述出泥管与底座上泥泵相接通。针对上述中的相关技术，水泵将水加压送入混流喷嘴内，将尾气吸入混流喷嘴内和水混合，设置混流喷嘴小于输水管的口径，将尾气快速的吸入混流喷嘴内和水混合，水和尾气的混合体在混流喷嘴的喇叭出口处因压力变化形成微气泡，强力射流会将微气泡带入洗涤筒的空腔深处，增加气体溶解及微粒子捕捉的效率，提高处理效果，但是，在清洗灰尘后，灰尘会被吸附在水中，而水在进行循环后，污水会重新被喷出，导致污水影响吸附灰尘效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体制程尾气粉尘清洗装置以解决上述背景技术中提出的在清洗灰尘后，灰尘会被吸附在水中，而水在进行循环后，污水会重新被喷出，导致污水影响吸附灰尘效果的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：包括水箱、泵体、连接盘和清洗筒，所述水箱顶部的中心位置固定有清洗筒，所述清洗筒内部靠近底部的位置固定有连接件，所述清洗筒内部靠近底部的两侧固定有支撑块，所述支撑块上固定有滑轨，所述滑轨的顶部滑动设置有滑块，所述滑块的顶部通过螺栓固定有滤箱，所述滤箱靠近连接件的底部。

3、优选的，所述水箱外部底部的一侧连接有排水阀，所述水箱顶部的右侧连接有进水阀，进水阀方便进水的作用。

4、优选的，所述水箱底部的四周固定有支脚，所述支脚在水箱的底部设置有四个，所述支脚关于水箱的中心位置对称，支脚起到了支撑的作用。

5、优选的，所述清洗筒一侧的底部连接有进水管，所述清洗筒另一侧的顶部连接有排气管。

6、优选的，所述清洗筒内部的顶部固定有连接盘，所述连接盘上设置有喷头，所述喷头在连接盘的底部均匀设置有多个。

7、优选的，所述水箱内部的底部固定有泵体，所述泵体上连接有连接管，所述连接管的一端穿过清洗筒并延伸到连接盘的顶部，泵体进行抽水的作用。

8、优选的，所述清洗筒外部设置有连接轴，所述连接轴上连接有密封门。

9、优选的，所述清洗筒内部靠近外部的位置固定有安装块，所述安装块上旋有螺纹杆。

10、优选的，所述螺纹杆外部插有把手，所述螺纹杆的一端旋入到固定块中。

11、与现有技术相比，本实用信息的有益效果是：该半导体制程尾气粉尘清洗装置结构合理，具有以下优点：

12、(1)通过设置有清洗筒、连接件和滤箱可以有效的处理水中的灰尘，现有的装置，灰尘吸附在水中，而没有对水中的灰尘进行处理，因此，使用时，通过在清洗筒的内部设置有滤箱，当水落入到滤箱中后，水通过滤箱，而灰尘不能通过，灰尘被留在滤箱中，进入防止灰尘随水被喷出，影响吸附效果。

13、(2)通过设置有滤箱、滑块、滑轨和支撑块实现了装置可以方便清理滤箱中的灰尘，因此，使用时，通过设置有滑块和滑轨，滑块可以在滑轨上进行移动，从而可以方便工作人员件滤箱拿出，进行清洗滤箱内部的灰尘。

14、(3)通过设置有喷头，喷头采用喷雾形式，且喷头在连接盘上均匀设置，增大装置的喷淋范围，通过启动泵体，泵体就会将水抽入到连接盘中，从而将水经过喷头喷出，从而对灰尘进行吸附进行清洗尾气中的灰尘。

技术特征：

1.一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：包括水箱(1)、泵体(4)、连接盘(8)和清洗筒(10)，所述水箱(1)顶部的中心位置固定有清洗筒(10)，所述清洗筒(10)内部靠近底部的位置固定有连接件(12)，所述清洗筒(10)内部靠近底部的两侧固定有支撑块(19)，所述支撑块(19)上固定有滑轨(18)，所述滑轨(18)的顶部滑动设置有滑块(17)，所述滑块(17)的顶部通过螺栓固定有滤箱(14)，所述滤箱(14)靠近连接件(12)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)外部底部的一侧连接有排水阀(3)，所述水箱(1)顶部的右侧连接有进水阀(5)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)底部的四周固定有支脚(2)，所述支脚(2)在水箱(1)的底部设置有四个，所述支脚(2)关于水箱(1)的中心位置对称。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)一侧的底部连接有进水管(11)，所述清洗筒(10)另一侧的顶部连接有排气管(7)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)内部的顶部固定有连接盘(8)，所述连接盘(8)上设置有喷头(9)，所述喷头(9)在连接盘(8)的底部均匀设置有多个。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)内部的底部固定有泵体(4)，所述泵体(4)上连接有连接管(6)，所述连接管(6)的一端穿过清洗筒(10)并延伸到连接盘(8)的顶部。

7.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)外部设置有连接轴(16)，所述连接轴(16)上连接有密封门(15)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)内部靠近外部的位置固定有安装块(20)，所述安装块(20)上旋有螺纹杆(21)。

9.根据权利要求8所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述螺纹杆(21)外部插有把手(22)，所述螺纹杆(21)的一端旋入到固定块(13)中。

技术总结
本技术公开了一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，包括水箱、泵体、连接盘和清洗筒，所述水箱顶部的中心位置固定有清洗筒，所述清洗筒内部靠近底部的位置固定有连接件，所述清洗筒内部靠近底部的两侧固定有支撑块，所述支撑块上固定有滑轨，所述滑轨的顶部滑动设置有滑块，所述滑块的顶部通过螺栓固定有滤箱，所述滤箱靠近连接件的底部。本技术通过在清洗筒的内部设置有滤箱，当水落入到滤箱中后，水通过滤箱，而灰尘不能通过，灰尘被留在滤箱中，进入防止灰尘随水被喷出，影响吸附效果。

技术研发人员：金永春,林仲炫,李君
受保护的技术使用者：无锡洁安洁通用设备有限公司
技术研发日：20230323
技术公布日：2024/1/15