一种涂胶夹持装置的制作方法

本技术涉及夹持装置，尤其涉及一种涂胶夹持装置。

背景技术：

1、光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，在对光掩膜基版进行涂胶加工时，需要使用夹持装置对光掩膜基版进行夹持限位。

2、如中国专利号为：cn212846347u的“一种光掩膜版用涂胶卡盘”，包括：卡盘座；环形槽，环形槽设置于卡盘座的正面；卡紧结构，卡紧结构环形阵列于卡盘座的正面，卡紧结构包括卡紧圆环，卡紧圆环环形阵列于卡盘座的正面，卡紧圆环内壁顶部的两侧均固定连接微型伸缩柱；摩擦结构，摩擦结构环形阵列于环形槽的正面。

3、现有技术中，在对光掩膜基版进行夹持限位时，夹持装置夹持端水平位置固定，上部的涂胶机构会在垂直方向对放入光掩膜基版的操作造成运动干扰，导致光掩膜基版放置不便，容易造成光掩膜基版放置位置不准确，导致涂胶位置不准确，造成涂胶失败，同时多数的夹持装置夹板在进行夹持工程中，缺乏限位措施，夹板容易出现竖直方向的位移，造成光掩膜基版夹持过程中一侧翘起，导致光掩膜基版表面水平度降低，造成涂胶厚度不一致。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有的技术中存在的在对光掩膜基版进行夹持限位时，夹持装置夹持端水平位置固定，上部的涂胶机构会在垂直方向对放入光掩膜基版的操作造成运动干扰，导致光掩膜基版放置不便，容易造成光掩膜基版放置位置不准确，导致涂胶位置不准确，造成涂胶失败，同时多数的夹持装置夹板在进行夹持工程中，缺乏限位措施，夹板容易出现竖直方向的位移，造成光掩膜基版夹持过程中一侧翘起，导致光掩膜基版表面水平度降低，造成涂胶厚度不一致的问题，而提出的一种涂胶夹持装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种涂胶夹持装置，包括安装板，所述安装板与固定板固定连接，所述固定板与一号电液推杆固定连接，所述一号电液推杆与夹持固定架固定连接，所述夹持固定架与移动滑块固定连接，所述移动滑块与滑槽滑动连接，所述夹持固定架与限位导轨固定连接，所述限位导轨与限位滑块滑动连接，所述限位滑块与夹板固定连接，所述夹板与一号防护板固定连接，所述一号防护板与放置板固定连接。

3、优选的，所述滑槽与限位杆固定连接，所述移动滑块与限位杆滑动插接。

4、优选的，所述夹持固定架表面设置有多个限位导轨，多个所述限位导轨均匀分布在夹持固定架表面。

5、优选的，所述限位导轨表面设置有多个限位滑块，多个所述限位滑块均匀分布在夹板一侧表面。

6、优选的，所述夹持固定架与二号电液推杆固定连接，所述二号电液推杆与夹板固定连接。

7、优选的，所述夹持固定架表面设置有两个二号电液推杆，且夹持固定架表面设置有两个夹板，两个所述夹板对称分布在夹持固定架两侧。

8、优选的，所述放置板上部表面与二号防护板固定连接，所述二号防护板一侧与一号防护板表面贴合。

9、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

10、1、本实用新型中，通过移动滑块沿滑槽滑动，对夹板的水平移动进行限位，同时移动滑块沿限位杆表面滑动，通过限位杆对移动滑块的水平方向移动进行限位，对夹板的水平移动方向进行再次限位，提高夹板的稳定性，将夹板推出上料，避免上料时与上部的涂胶机构发生运动干扰的问题。

11、2、本实用新型中，夹板在相对移动时，夹板带动限位滑块沿限位导轨表面进行滑动，通过限位导轨对限位滑块进行限位，提高夹板夹紧移动时的稳定性，便于对光掩膜基版材料两侧进行水平夹紧，避免一侧的夹板在夹紧过程中的出现竖直方向的位移，导致光掩膜基版材料两侧的高度不同。

技术特征：

1.一种涂胶夹持装置，包括安装板(1)，所述安装板(1)与固定板(2)固定连接，所述固定板(2)与一号电液推杆(3)固定连接，所述一号电液推杆(3)与夹持固定架(4)固定连接，其特征在于：所述夹持固定架(4)与移动滑块(14)固定连接，所述移动滑块(14)与滑槽(11)滑动连接，所述夹持固定架(4)与限位导轨(5)固定连接，所述限位导轨(5)与限位滑块(6)滑动连接，所述限位滑块(6)与夹板(7)固定连接，所述夹板(7)与一号防护板(8)固定连接，所述一号防护板(8)与放置板(9)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述滑槽(11)与限位杆(12)固定连接，所述移动滑块(14)与限位杆(12)滑动插接。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述夹持固定架(4)表面设置有多个限位导轨(5)，多个所述限位导轨(5)均匀分布在夹持固定架(4)表面。

4.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述限位导轨(5)表面设置有多个限位滑块(6)，多个所述限位滑块(6)均匀分布在夹板(7)一侧表面。

5.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述夹持固定架(4)与二号电液推杆(13)固定连接，所述二号电液推杆(13)与夹板(7)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述夹持固定架(4)表面设置有两个二号电液推杆(13)，且夹持固定架(4)表面设置有两个夹板(7)，两个所述夹板(7)对称分布在夹持固定架(4)两侧。

7.根据权利要求1所述的一种涂胶夹持装置，其特征在于：所述放置板(9)上部表面与二号防护板(10)固定连接，所述二号防护板(10)一侧与一号防护板(8)表面贴合。

技术总结
本技术提供一种涂胶夹持装置，涉及夹持装置技术领域，包括安装板，所述安装板与固定板固定连接，所述固定板与一号电液推杆固定连接，所述一号电液推杆与夹持固定架固定连接，所述夹持固定架与移动滑块固定连接，所述移动滑块与滑槽滑动连接，所述夹持固定架与限位导轨固定连接，所述限位导轨与限位滑块滑动连接，所述限位滑块与夹板固定连接。本技术，夹板在相对移动时，夹板带动限位滑块沿限位导轨表面进行滑动，通过限位导轨对限位滑块进行限位，提高夹板夹紧移动时的稳定性，便于对光掩膜基版材料两侧进行水平夹紧，避免一侧的夹板在夹紧过程中的出现竖直方向的位移，导致光掩膜基版材料两侧的高度不同。

技术研发人员：李昌科,李周坤
受保护的技术使用者：深圳市精石光掩膜技术有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/14