一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置的制作方法

本技术涉及尾气去除装置，具体为一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置。

背景技术：

1、三氯氢硅合成产生的尾气主要成分为氯化氢、氯硅烷和氢气，尾气通过管道输送至废气洗涤塔，在废气洗涤塔内，废气与塔顶喷淋而下的洗涤液同向和逆向接触，从而发生吸收。经过洗涤的废气中含有氢气、及少量的氯化氢气体，再将废气通入安全液封罐中，其中一部分氯化氢被吸收，其余尾气则通过放空管排放到大气中。

2、由于安全液封罐吸收氯化氢的能力有限，大量的氯化氢随着尾气被排放到大气中，从而对环境造成严重的影响，因此，设计实用性强和能够对从安全液封罐排出的尾气进一步进行氯化氢去除，避免对环境造成严重影响的一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置是很有必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，包括加压冷凝装置，所述加压冷凝装置的输入端通入尾气，所述加压冷凝装置输出端连通有水泵，所述水泵输出端固定连通有蒸馏塔，所述蒸馏塔上设有氯化氢排气管和排料管，所述蒸馏塔尾气输出端固定连通有氯化氢水吸收装置。

3、根据上述技术方案，所述加压冷凝装置包括箱体，所述箱体的侧壁固定连通有尾气输入管，所述箱体的前后、左右侧壁均嵌入装配有半导体制冷结构，所述箱体的上表面固定连通有温度传感器和压力表，所述箱体外壁固定装配有控制器，所述控制器分别与温度传感器和半导体制冷结构电连接，所述箱体侧壁下端固定连通有排液管，所述箱体的内腔底面为坡面，且坡面向下倾斜延伸至排液管处，所述箱体外壁固定连通有气泵。

4、根据上述技术方案，所述氯化氢水吸收装置包括水箱，所述水箱输出端固定连通有循环泵，所述循环泵输出端固定连通有混合腔，所述混合腔输出端固定连通有喷射水泵，所述喷射水泵输出端与水箱上端固定连通，所述水箱顶面固定连通有放空管。

5、根据上述技术方案，所述放空管上设有阻火器。

6、根据上述技术方案，所述半导体制冷结构包括开设于箱体外壁的矩形凹槽，所述矩形凹槽内壁粘贴固定有半导体制冷器组件，所述半导体制冷器组件由三个并联连接的半导体制冷器组成，且三个半导体制冷器外侧面焊接有散热板，所述矩形凹槽上下边缘开设有卡槽，所述散热板上下边缘一体成型有连接耳板，所述连接耳板插接于对应所述卡槽内，所述连接耳板通过螺栓固定连接于对应所述卡槽内。

7、与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

8、本实用新型，通过设置有加压冷凝装置对从安全液封罐排出的尾气进行加压、冷凝，将尾气冷凝至零下五度，并通过进料管通入氯硅烷液体进行洗涤，将尾气中大部分的氯化氢洗涤吸收分析出来，气体中少量的氯硅烷也被冷凝捕集下来，通过蒸馏塔对富含氯化氢的氯硅烷洗液进行精馏，氯化氢与氯硅烷分离，在精馏塔塔顶的氯化氢排气管排出氯化氢，在精馏塔的塔底排料管排出氯硅烷液体，氯化氢和氯硅烷液体均可回收再利用，实现节约原料的目的，再通过氯化氢水吸收装置对尾气中残余的微量氯化氢进行吸收，能够对从安全液封罐排出的尾气进一步进行氯化氢去除，避免对环境造成严重影响。

技术特征：

1.一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，其特征在于：包括加压冷凝装置(1)，所述加压冷凝装置(1)的输入端通入尾气，所述加压冷凝装置(1)输出端连通有水泵(2)，所述水泵(2)输出端固定连通有蒸馏塔(3)，所述蒸馏塔(3)上设有氯化氢排气管和排料管，所述蒸馏塔(3)尾气输出端固定连通有氯化氢水吸收装置(4)。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，其特征在于：所述加压冷凝装置(1)包括箱体(11)，所述箱体(11)的侧壁固定连通有尾气输入管(12)，所述箱体(11)的前后、左右侧壁均嵌入装配有半导体制冷结构(13)，所述箱体(11)的上表面固定连通有温度传感器(14)和压力表(16)，所述箱体(11)外壁固定装配有控制器(15)，所述控制器(15)分别与温度传感器(14)和半导体制冷结构(13)电连接，所述箱体(11)侧壁下端固定连通有排液管(18)，所述箱体(11)的内腔底面为坡面(17)，且坡面(17)向下倾斜延伸至排液管(18)处，所述箱体(11)外壁固定连通有气泵(19)。

3.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，其特征在于：所述氯化氢水吸收装置(4)包括水箱(41)，所述水箱(41)输出端固定连通有循环泵(42)，所述循环泵(42)输出端固定连通有混合腔(43)，所述混合腔(43)输出端固定连通有喷射水泵(44)，所述喷射水泵(44)输出端与水箱(41)上端固定连通，所述水箱(41)顶面固定连通有放空管(45)。

4.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，其特征在于：所述放空管(45)上设有阻火器(5)。

5.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，其特征在于：所述半导体制冷结构(13)包括开设于箱体(11)外壁的矩形凹槽(131)，所述矩形凹槽(131)内壁粘贴固定有半导体制冷器组件(132)，所述半导体制冷器组件(132)由三个并联连接的半导体制冷器组成，且三个半导体制冷器外侧面焊接有散热板(133)，所述矩形凹槽(131)上下边缘开设有卡槽(134)，所述散热板(133)上下边缘一体成型有连接耳板(135)，所述连接耳板(135)插接于对应所述卡槽(134)内，所述连接耳板(135)通过螺栓固定连接于对应所述卡槽(134)内。

技术总结
本技术公开一种三氯氢硅合成尾气中氯化氢去除装置，通过设置有加压冷凝装置对从安全液封罐排出的尾气进行加压、冷凝，将尾气冷凝至零下五度，并通过进料管通入氯硅烷液体进行洗涤，将尾气中大部分的氯化氢洗涤吸收分析出来，气体中少量的氯硅烷也被冷凝捕集下来，通过蒸馏塔对富含氯化氢的氯硅烷洗液进行精馏，氯化氢与氯硅烷分离，在精馏塔塔顶的氯化氢排气管排出氯化氢，在精馏塔的塔底排料管排出氯硅烷液体，氯化氢和氯硅烷液体均可回收再利用，实现节约原料的目的，再通过氯化氢水吸收装置对尾气中残余的微量氯化氢进行吸收，能够对从安全液封罐排出的尾气进一步进行氯化氢去除，避免对环境造成严重影响。

技术研发人员：周勇,罗烨栋
受保护的技术使用者：新疆中部合盛硅业有限公司
技术研发日：20230506
技术公布日：2024/1/15