一种涂胶系统的制作方法

本技术实施例涉及涂胶设备连接，尤其涉及一种涂胶系统。

背景技术：

1、光刻胶作为半导体工艺的核心材料之一，可以包括正性光刻胶和负性光刻胶。在不同的半导体制程工艺中，根据实际需求可选择使用正性光刻胶或负性光刻胶。

2、由于不同制程工艺的要求不同，光刻胶涂胶设备需在工艺的不同阶段使用正性光刻胶或负性光刻胶，因此，在一天时间内，涂胶设备连接的光刻胶供液系统也需来回切换数次。图1为现有技术中的一种涂胶系统的结构示意图，如图1所示，涂胶设备01与光刻胶供液系统02之间通过电缆03和连接器04实现连接。在切换涂胶设备01连接的光刻胶供液系统02时，需对电缆03连接的连接器04进行拔插操作，以实现切换。然而，随着连接器04拔插次数的增加，易出现不同程度的损伤，导致电缆03出现线路接触不良。而对连接器04的维修和更换需要耗费较长的时间，从而对生产进度造成严重的影响。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种涂胶系统，以提高涂胶设备的使用率，保证生产进度。

2、根据本实用新型的一方面，提供了一种涂胶系统，包括：涂胶设备、供液系统和附属连接部；

3、所述涂胶设备连接有主线路，所述主线路的末端设置有第一连接器；

4、所述供液系统包括正性光刻胶供液系统和负性光刻胶供液系统，所述正性光刻胶供液系统和所述负性光刻胶供液系统分别设置有第二连接器和第三连接器；

5、所述附属连接部包括附属线路、以及连接于所述附属线路两端的第四连接器和第五连接器；所述第四连接器与所述第一连接器匹配连接；所述第五连接器与所述供液系统的所述第二连接器或所述第三连接器进行插拔连接，实现所述涂胶设备与所述正性光刻胶供液系统或所述负性光刻胶供液系统连接。

6、可选地，所述第一连接器绕过所述附属线路直接与所述第二连接器或所述第三连接器连接。

7、可选地，所述第一连接器和所述第五连接器为插头，所述第二连接器、所述第三连接器和所述第四连接器为插座。

8、可选地，所述第一连接器和所述第五连接器为插座，所述第二连接器、所述第三连接器和所述第四连接器为插头。

9、可选地，所述第一连接器、所述第二连接器、所述第三连接器、所述第四连接器和所述第五连接器均为航空插头。

10、可选地，所述第一连接器、所述第二连接器、所述第三连接器、所述第四连接器和所述第五连接器的固定结构均为插针式螺纹结构。

11、可选地，所述航空插头的外壳材料为镁铝合金或不锈钢，所述航空插头的内部材料为热塑性树脂或热固性塑料。

12、可选地，所述涂胶设备包括5条所述主线路，所述附属连接部包括5条所述附属线路；

13、各所述附属线路的第一端设置的所述第四连接器与所述主线路的所述第一连接器一一对应匹配连接。

14、可选地，所述正性光刻胶供液系统设置有5个所述第二连接器，以与各所述附属线路的第二端设置的所述第五连接器一一对应连接；

15、所述负性光刻胶供液系统设置有5个所述第三连接器，以与各所述附属线路的第二端设置的所述第五连接器一一对应连接。

16、本实用新型实施例提供的技术方案通过在涂胶设备的主线路与供液系统之间增加附属连接部，其中，附属连接部中附属线路一端设置的第四连接器与主线路末端设置的第一连接器匹配连接，附属线路另一端设置的第五连接器可与正性光刻胶供液系统设置的第二连接器或者负性光刻胶供液系统设置的第三连接器匹配插拔连接。在对涂胶设备连接的供液系统进行切换时，第四连接器与第一连接器始终保持连接状态，通过将第五连接器在第二连接器和第三连接器43之间插拔切换，从而实现涂胶设备连接的供液系统20在正性光刻胶供液系统和负性光刻胶供液系统之间切换如此设置附属连接部，可有效降低第一连接器的损坏率，提高涂胶设备的使用率和生产效率，保证生产进度，从而减小因主线路连接器损坏造成的不良影响。

17、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种涂胶系统，其特征在于，包括：涂胶设备、供液系统和附属连接部；

2.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述第一连接器绕过所述附属线路直接与所述第二连接器或所述第三连接器连接。

3.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述第一连接器和所述第五连接器为插头，所述第二连接器、所述第三连接器和所述第四连接器为插座。

4.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述第一连接器和所述第五连接器为插座，所述第二连接器、所述第三连接器和所述第四连接器为插头。

5.根据权利要求3或4所述的涂胶系统，其特征在于，所述第一连接器、所述第二连接器、所述第三连接器、所述第四连接器和所述第五连接器均为航空插头。

6.根据权利要求5所述的涂胶系统，其特征在于，所述第一连接器、所述第二连接器、所述第三连接器、所述第四连接器和所述第五连接器的固定结构均为插针式螺纹结构。

7.根据权利要求5所述的涂胶系统，其特征在于，所述航空插头的外壳材料为镁铝合金或不锈钢，所述航空插头的内部材料为热塑性树脂或热固性塑料。

8.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述涂胶设备包括5条所述主线路，所述附属连接部包括5条所述附属线路；

9.根据权利要求8所述的涂胶系统，其特征在于，所述正性光刻胶供液系统设置有5个所述第二连接器，以与各所述附属线路的第二端设置的所述第五连接器一一对应连接；

技术总结
本技术公开了一种涂胶系统。该涂胶系统包括：涂胶设备、供液系统和附属连接部；涂胶设备连接有主线路，主线路的末端设置有第一连接器；供液系统包括正性光刻胶供液系统和负性光刻胶供液系统，正性光刻胶供液系统和负性光刻胶供液系统分别设置有第二连接器和第三连接器；附属连接部包括附属线路、以及连接于附属线路两端的第四连接器和第五连接器；第四连接器与第一连接器匹配连接；第五连接器与供液系统的第二连接器或第三连接器进行插拔连接，实现涂胶设备与正性光刻胶供液系统或负性光刻胶供液系统连接。本技术实施例的技术方案有效降低涂胶设备的主线路的损坏率，提高涂胶设备的使用率和生产效率，保证生产进度。

技术研发人员：毕方萌,周志锋,李勇
受保护的技术使用者：苏州清越光电科技股份有限公司
技术研发日：20230517
技术公布日：2024/1/14