本技术涉及甩胶机,具体为一种硅片自动涂胶甩胶机。
背景技术:
1、硅片就是以硅为材料制造的片状物体,一般是指纯度很高的结晶硅(单晶硅)制成的,单晶硅的分子结构非常稳定,很少有自由电子产生,因此其导电能力很差。若在单晶硅中掺入某些3或5价的元素,分子结构将发生很大改变,其导电能力将得到很大的提高,但与金属等导体的导电能力比还是较低,因此称为半导体。根据掺杂元素的不同,可以制造出n型和p型半导体,它们都是制造电子元件的主要材料。随着科学技术的发展,在硅片可以直接制造出完成各种功能的电子线路,将能够完成某些功能的电子线路在硅片制造出来就称为半导体芯片了。
2、半导体硅片制作的过程中需要对硅片进行涂胶,而现有的技术中,通常是通过甩胶机对硅片进行涂胶。但是现有的甩胶机自动化程度低,在对硅片进行涂胶的过程中,需人员进行多次控制(如对按键进行操作等),这就导致若是人员在这过程中未及时对甩胶机进行操作,进而会无法使甩胶机进行下一步动作,浪费时间。因此,发明一种硅片自动涂胶甩胶机。
技术实现思路
1、鉴于上述和/或现有一种硅片自动涂胶甩胶机中存在的问题,提出了本实用新型。
2、因此,本实用新型的目的是提供一种硅片自动涂胶甩胶机,能够解决上述提出现有的问题。
3、为解决上述技术问题,根据本实用新型的一个方面,本实用新型提供了如下技术方案:
4、一种硅片自动涂胶甩胶机,其包括机箱和硅片,所述机箱的顶部设有操作箱,还包括:
5、用于对硅片进行自动化涂胶的甩胶机构。
6、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构包括:
7、空心管,所述空心管通过轴承转动连接在操作箱的底端内壁上;
8、支撑板,所述支撑板的内壁固定安装空心管;
9、环形压力传感器,所述环形压力传感器固定安装在支撑板的顶部上,且环形压力传感器的内腔设有空心管。
10、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构还包括:
11、圆板,所述圆板固定安装在环形压力传感器的顶部上,且圆板的底端内壁滑动连接空心管,所述圆板的顶部放置有硅片;
12、流通槽,所述流通槽开设在圆板的内壁上;
13、真空吸盘,所述圆板的顶端内壁固定安装若干真空吸盘。
14、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构还包括:
15、伺服电机,所述伺服电机固定安装在机箱的底端内壁上;
16、第一齿轮,所述伺服电机的输出轴通过转轴固定安装第一齿轮;
17、第二齿轮,所述第二齿轮的内壁固定安装空心管,且第二齿轮与第一齿轮啮合连接。
18、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构还包括:
19、真空泵,所述真空泵固定安装在机箱的底端内壁上;
20、硬管,所述硬管固定安装在真空泵的输入端上,且硬管的一端通过轴承转动连接在空心管的底端内壁上。
21、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构还包括:
22、其内腔设有液体胶的筒体,所述筒体固定安装在操作箱的顶部中端内壁上;
23、连接块,所述连接块螺纹连接在筒体的顶端内壁上;
24、电动推杆,所述电动推杆固定安装在连接块的内壁上。
25、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:所述甩胶机构还包括:
26、下压块,所述电动推杆的输出端通过活塞杆固定安装下压块,且下压块滑动连接在筒体中;
27、点胶头,所述点胶头固定安装在筒体的底端内壁上,且点胶头的正下方设有硅片。
28、作为本实用新型所述的一种硅片自动涂胶甩胶机的一种优选方案,其中:还包括:
29、用于对多余的液体胶进行收集的收集机构;
30、所述收集机构包括:
31、围板,所述围板固定安装在操作箱的底端内壁上,且围板的内腔设有圆板;
32、通孔,所述操作箱的底端内壁开设若干通孔;
33、收集盒,所述操作箱的底部通过螺丝可拆卸连接若干收集盒,且收集盒的内腔正上方设有通孔。
34、与现有技术相比:
35、1.通过设置甩胶机构,具有能够实现对硅片进行自动化涂胶的作用,通过对硅片进行自动化涂胶,进而能够降低人员的操作次数,不仅会提高便捷性,还能够实现在一定程度上提高对硅片的涂胶效率;
36、2.通过设置操作箱,具有能够实现在对硅片涂胶时,能够使其处于密封的环境中,进而能够在一定程度上避免灰尘等杂质依附在硅片上或液体胶上,提高了涂胶质量。
1.一种硅片自动涂胶甩胶机,包括机箱(10)和硅片(60),所述机箱(10)的顶部设有操作箱(20),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构包括:
3.根据权利要求2所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构还包括:
4.根据权利要求3所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构还包括:
5.根据权利要求4所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构还包括:
6.根据权利要求5所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构还包括:
7.根据权利要求6所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,所述甩胶机构还包括:
8.根据权利要求1所述的一种硅片自动涂胶甩胶机,其特征在于,还包括: