水喷淋处理与燃烧废气净化装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种水喷淋处理与燃烧废气净化装置，包括水喷淋洗涤处理块及废气燃烧处理块，所述水喷淋洗涤处理块用于对尾气进行喷淋洗涤及净化，所述废气燃烧处理块用于燃烧经所述水喷淋洗涤处理块处理后的废气，所述水喷淋洗涤处理块与所述废气燃烧处理块通过一管道连接，在所述管道处设置有一干燥装置，用于干燥经过所述管道的气体。本实用新型的优点在于，避免了管道因废气水的沉积而造成腐蚀，造成设备寿命的减短；干燥的气体可以更快速的完全燃烧，降低燃气的使用量，节约公司的成本费用；干燥的气体可以更充分的完全燃烧，从而最终排到大气中的气体更清洁，污染少，更环保。
【专利说明】
水喷淋处理与燃烧废气净化装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体外延设备领域，尤其涉及一种水喷淋处理与燃烧废气净化
目.0
【背景技术】
[0002]在半导体外延生产中，每日有大量的废气产生，若不经过净化处理直接排放到大气中，则会对整个大气环境造成很大的污染，人长期生活在这样的环境中，会对生命安全造成很大的隐患，在这样的背景下，尾气净化装置应运而生。
[0003]参见图1，现有的水喷淋处理与燃烧废气净化装置包括水喷淋洗涤处理块I及废气燃烧处理块2，尾气先经过水喷淋洗涤处理块I，进行第一道净化工序，在水喷淋洗涤处理块I中，尾气经过水洗涤之后还要经过多道喷淋净化处理，处理之后会通过管道3进入第二道净化工序，即进入废气燃烧处理块2中，进行燃烧处理，如图1中箭头所示。
[0004]目前的装置存在如下问题:
[0005]1、管道3会因水汽的沉积，出现严重的腐蚀，从而存在安全隐患。
[0006]2、经过水喷淋洗涤处理块I之后，尾气中含有大量的水汽，在没有其它处理措施的情况下，直接进入到废气燃烧处理块2中进行废气燃烧处理，由于含有大量的水汽，因此，会造成燃料的成本费用的增加，废气不完全燃烧。尾气的不完全燃烧，有毒气体的残余，它们排放到大气中，污染大气，同时对工作人员的生命安全造成危害。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种用于水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其能够提供稳定有效的气体供应。
[0008]为了解决上述问题，本实用新型提供了一种水喷淋处理与燃烧废气净化装置，包括水喷淋洗涤处理块及废气燃烧处理块，所述水喷淋洗涤处理块用于对尾气进行喷淋洗涤及净化，所述废气燃烧处理块用于燃烧经所述水喷淋洗涤处理块处理后的废气，所述水喷淋洗涤处理块与所述废气燃烧处理块通过一管道连接，在所述管道处设置有一干燥装置，用于干燥经过所述管道的气体。
[0009]进一步，所述干燥装置包括干燥剂，设置在所述管道内，用于吸收经过所述管道的气体内的水分，以实现干燥气体的目的。
[0010]进一步，所述干燥装置包括一冷却构件，用于使经过所述管道的气体内的水分冷凝，以实现干燥气体的目的。
[0011 ]进一步，所述冷却构件包覆在所述管道外壁。
[0012]进一步，所述冷却构件为水冷构件。
[0013]本实用新型的优点在于，避免了管道因废气水的沉积而造成腐蚀，造成设备寿命的减短;干燥的气体可以更快速的完全燃烧，降低燃气的使用量，节约公司的成本费用;干燥的气体可以更充分的完全燃烧，从而最终排到大气中的气体更清洁，污染少，更环保。
【附图说明】
[0014]图1是现有的水喷淋处理与燃烧废气净化装置的结构示意图；
[0015]图2是本发明水喷淋处理与燃烧废气净化装置的一实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型提供的水喷淋处理与燃烧废气净化装置的【具体实施方式】做详细说明。
[0017]参见图2，本实用新型一种水喷淋处理与燃烧废气净化装置包括水喷淋洗涤处理块I及废气燃烧处理块2。
[0018]所述水喷淋洗涤处理块I用于对进入本实用新型水喷淋处理与燃烧废气净化装置的尾气进行喷淋洗涤及净化，进行尾气的第一次净化处理。由于该步骤采用水进行处理，因此，经过该水喷淋洗涤处理块I净化的气体带有大量水汽。
[0019]所述废气燃烧处理块2用于燃烧经所述水喷淋洗涤处理块I处理后的废气，即进行尾气的第二道净化处理。所述水喷淋洗涤处理块I与所述废气燃烧处理块2通过一管道3连接。来自所述水喷淋洗涤处理块I的带有水汽的废气通过管道3进入所述废气燃烧处理块2进行处理。管道3会因水汽的沉积，出现严重的腐蚀，从而存在安全隐患，且废气在废气燃烧处理块2中进行废气燃烧处理，由于含有大量的水汽，会造成燃料的成本费用的增加，废气不完全燃烧，废气的的不完全燃烧，造成有毒气体的残余，它们排放到大气中，污染大气，同时对工作人员的生命安全造成危害。
[0020]本实用新型水喷淋处理与燃烧废气净化装置在所述管道3处设置有一干燥装置4，用于干燥经过所述管道3的气体。
[0021]在本实用新型水喷淋处理与燃烧废气净化装置的一个实施例中，所述干燥装置4包括干燥剂(附图中未标示)。所述干燥剂设置在所述管道3内，用于吸收经过所述管道3的气体内的水分，以实现干燥气体的目的。
[0022]在本实用新型水喷淋处理与燃烧废气净化装置的另一实施例中，所述干燥装置4包括一冷却构件5，用于使经过所述管道3的气体内的水分冷凝，以实现干燥气体的目的，如图2所示，所述冷却构件5包覆在所述管道3外壁。所述冷却构件5冷却方式可以从现有技术中获取，例如，所述冷却构件为水冷构件，采用水冷的方式冷却。
[0023]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其特征在于，包括水喷淋洗涤处理块及废气燃烧处理块，所述水喷淋洗涤处理块用于对尾气进行喷淋洗涤及净化，所述废气燃烧处理块用于燃烧经所述水喷淋洗涤处理块处理后的废气，所述水喷淋洗涤处理块与所述废气燃烧处理块通过一管道连接，在所述管道处设置有一干燥装置，用于干燥经过所述管道的气体。2.根据权利要求1所述的水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其特征在于，所述干燥装置包括干燥剂，设置在所述管道内，用于吸收经过所述管道的气体内的水分，以实现干燥气体的目的。3.根据权利要求1所述的水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其特征在于，所述干燥装置包括一冷却构件，用于使经过所述管道的气体内的水分冷凝，以实现干燥气体的目的。4.根据权利要求3所述的水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其特征在于，所述冷却构件包覆在所述管道外壁。5.根据权利要求3所述的水喷淋处理与燃烧废气净化装置，其特征在于，所述冷却构件为水冷构件。
【文档编号】B01D53/26GK205412591SQ201521007141
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年11月27日
【发明人】吴庆东, 周康, 张思良, 郭昌
【申请人】上海新傲科技股份有限公司