硅片检测装置制造方法
【专利摘要】硅片检测装置，包括传输机构和检查机构，检查机构包括检查控制器、感应器及至少一个吹气检查部，检查控制器与感应器及吹气检查部信号连接，感应器用于感应硅片是否到位，吹气检查部位于传输机构的上方，与传输机构相对设置。本实用新型实现了对硅片隐裂缺陷的检测，解决了现有的硅片分选机难以检测隐裂硅片的问题。本实用新型可同时检测硅片是否破碎或存在隐裂，并将破碎或隐裂的硅片分拣出来，不仅提高了检测质量，而且提高了检测效率。本实用新型结构简单紧凑，使用方便。
【专利说明】娃片检测装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于硅片检测设备【技术领域】，涉及一种用于检测隐裂的硅片检测装置。
【背景技术】
[0002]随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶或多晶硅片是光伏发电的基础材料，经切片清洗之后，在包装发货之前需要经过分拣，以筛选出不合格的硅片，确保产品重量。为节省人力成本并避免污染硅片，硅片分选机逐步应用于生产线。现有的硅片分选机，或采用视觉系统，或采用光纤感应器，仅能从外观上测试硅片是否为碎片，而不能发现硅片内部的隐裂。具有隐裂缺陷的硅片被包装发货，直接影响成品的合格率。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种硅片检测装置，解决了现有的硅片分选机难以检测隐裂硅片的问题。
[0004]本实用新型的技术方案是，硅片检测装置，包括传输机构和检查机构，检查机构包括检查控制器、感应器及至少一个吹气检查部，检查控制器与感应器及吹气检查部信号连接，吹气检查部位于传输机构的上方，与传输机构相对设置。
[0005]本实用新型的特点还在于:
[0006]检查机构还包括机械连接于吹气检查部的移动部，检查控制器信号连接于移动部；移动部包括机械连接的检查驱动器和检查传动器，吹气检查部机械连接于检查传动器。
[0007]吹气检查部包括安装座及安装于安装座的多个检查吹气嘴，多个吹气嘴均靠近安装座的边缘设置，且收尾相接构成一个回路。
[0008]吹气检查部还包括位于多个检查吹气嘴的中心处的至少一个保持吹气嘴。
[0009]检查机构包括两个并排设置的吹气检查部。
[0010]传输机构包括相对的输入端和输出端，吹气检查部靠近输入端，吹气检查部与输出端之间设有测量机构，测量机构与传输机构相对设置。
[0011]测量机构包括一个测量控制器和信号连接于测量控制器的多个感测器，多个感测器并排设置。
[0012]吹气检查部与测量机构之间设有导正机构，导正机构包括分别位于传输机构两侧的第一导正结构和第二导正结构，传输机构的宽度小于娃片的边距。
[0013]还包括信号连接于测量机构的分拣机构，分拣机构包括分拣传输部、分拣驱动部和分拣容器；分拣传输部包括传送带，位于传输机构的延长线上。
[0014]还包括人机界面，人机界面信号连接于检查机构的检查控制器及测量机构的测量控制器，且通过支架设置于传输机构的输入端。[0015]本实用新型具有如下有益效果:
[0016]1、本实用新型实现了对硅片隐裂缺陷的检测，解决了现有的硅片分选机难以检测隐裂硅片的问题。
[0017]2、本实用新型可同时检测硅片是否破碎或存在隐裂，并将破碎或隐裂的硅片分拣出来，不仅提高了检测质量，而且提高了检测效率。
[0018]3、本实用新型结构简单紧凑，使用方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型硅片检测装置的结构示意图；
[0020]图2是本实用新型硅片检测装置的检查机构示意图；
[0021]图3是使用本实用新型硅片检测装置检测硅片的示意图。
[0022]图中，11.传输机构，12.检查机构，13.导正机构，14.测量机构，15.分拣机构，100.硅片，110.输入端，111.输出端，121.感应器，122.移动部，123.吹气检查部，1230.安装座，1231.检查吹气嘴，1232.保持吹气嘴，1233.挡板，130.导正滑轨，131.第一导正结构，132.第二导正结构，133.导正轮，141.感测器，150.分拣传输部，151.分拣驱动部，152.分拣容器，153.分拣端。
【具体实施方式】
[0023]下面结合【具体实施方式】和多个附图对本实用新型进行详细说明。
[0024]本技术方案提供的硅片检测装置，用于检测硅片是否破碎或存在隐裂，并将破碎或隐裂的硅片分拣出来。参照图1和图2，硅片检测装置包括传输机构11、检查机构12、导正机构13、测量机构14、分拣机构15和人机界面16。检查机构12、导正机构13和测量机构14依次设置于传输机构11。分拣机构15位于传输机构11的一端。
[0025]传输机构11包括传送带，用于传输待检测的娃片。传输机构11包括相对的输入端110和输出端111,娃片从输入端110进入娃片检测装置。传输机构11的宽度小于娃片的边距，硅片在传输机构11上，两侧均突出于传输机构11的边缘。
[0026]检查机构12包括检查控制器(图未示)、感应器121、移动部122及至少一个吹气检查部123。检查控制器与感应器121、移动部122及至少一个吹气检查部123信号连接。至少一个吹气检查部123与传输机构11相对设置，且靠近输入端110。至少一个吹气检查部123机械连接于移动部122。感应器121设置于至少一个吹气检查部123远离输入端110的一侧，用于感应硅片是否到位。检查控制器用于在感应器121感应硅片到位时控制移动部122带动至少一个吹气检查部123与硅片同步移动，同时使至少一个吹气检查部123向硅片表面吹气。本实施例中，吹气检查部123的数量为两个，且二者并排设置。移动部122包括机械连接的检查驱动器和检查传动器，移动部122用于带动至少一个吹气检查部123与硅片同步移动一段预定时间T后，返回初始位置。
[0027]吹气检查部123包括安装座1230、多个检查吹气嘴1231和至少一个保持吹气嘴1232。安装座1230连接于移动部122。多个检查吹气嘴1231和至少一个保持吹气嘴1232均安装于安装座1230。多个检查吹气嘴1231均靠近安装座1230的边缘设置，且首尾相接构成一个回路。多个检查吹气嘴1231用于向娃片吹气,若娃片存在隐裂缺陷,将在气流作用下碎裂。至少一个保持吹气嘴1232位于多个检查吹气嘴1231的中心处。吹出的气流主要用于将硅片保持在传输机构11上。检查吹气嘴1231仅在吹气检查部123跟随硅片移动时吹气，保持吹气嘴1232在整个过程中都吹气。本实施例中，检查吹气嘴1231为四个，保持吹气嘴1232为一个，优选地，安装座1230具有多块挡板1233，可将硅碎片控制在一定范围内。
[0028]导正机构13位于至少一个吹气检查部123及测量机构14之间，包括导正滑轨130以及安装于导正滑轨130且可沿导正滑轨130移动的第一导正结构131和第二导正结构132。导正滑轨130垂直于传输机构11的传输方向设置于传输的硅片的下方，第一导正结构131和第二导正结构132分别位于传输机构11的两侧，且相对于传输机构11对称。第一导正结构131和第二导正结构132沿着导正滑轨130向靠近传输机构11的方向同步移动，将硅片导正。具体地，第一导正结构131和第二导正结构132分别具有两个导正轮133，第一导正结构131和第二导正结构131接触移动的硅片时，导正轮133在摩擦力的作用下发生转动。本实施例中，导正机构13信号连接于检查机构12的检查控制器，在感应器121感应到硅片到位起的一段预定时间T之后，启动导正机构13。当然，导正机构13还可具有独立的感应及控制结构，在感应到硅片到达导正机构13时启动导正机构13。
[0029]测量机构14位于至少一个吹气检查部123与输出端111之间，其与传输机构11相对设置，用于检测经过至少一个吹气检查部123后的硅片是否为碎片。测量机构14包括一个测量控制器(图未示)和信号连接于测量控制器的多个感测器141。多个感测器141并排设置，用于感测硅片多个部位的通过时间。测量控制器接收并比较多个感测器141的感测结果，若不相等则判定该硅片为碎片，若相等则判定该硅片合格。本实施例中，感测器141为光纤感测器，在感测到硅片的边缘到达时开始计时，直至感测到硅片的另一相对的边缘离开停止计时。当然，测量机构14还可以与检查机构12共用一个控制器。
[0030]分拣机构15信号连接于测量机构14，用于将测量机构14判定为碎片的硅片分拣出来。分拣机构15靠近传输机构11的输出端111，包括分拣传输部150、分拣驱动部151和分拣容器152。分拣传输部150也为传送带，位于传输机构11的延长线上。本实施例中，分拣传输部150通过传动皮带，与传输机构11共用一个动力装置。分拣传输部150 —次仅传输一个娃片，具有远离传输机构11的分拣端153。分拣驱动部151机械连接于分拣端153,分拣驱动部151可为气缸，通过伸长或收缩状态的切换，驱动分拣传输部150的端部处于与传输机构11的传输方向相同的通过位置，或者处于与传输机构11的传输方向成一定夹角的淘汰位置。分拣容器152位于分拣传输部150的分拣端153,用于收集淘汰的娃片。
[0031]人机界面16可通过支架设置于传输机构11的输入端110。人机界面16信号连接于检查机构12的检查控制器及测量机构14的测量控制器，用于供操作者进行参数设定并实时显示检测执行状态。
[0032]本技术方案的硅片检测装置可作为硅片分选机的一个部分，或者单独作为检测硅片隐裂缺陷的装置使用。
[0033]请参阅图1至图3，以下将以本技术方案具有两个吹气检查部123的硅片检测装置为例，说明该硅片检测装置运行时的具体步骤:
[0034]通过人机界面16进行检测参数设定。
[0035]提供多个硅片100，依次自传输机构11的输入端110进入硅片检测装置，并以预定速度传输。
[0036]检查机构12的两个吹气检查部123均位于初始位置，感应器121感应到有物体时，判定硅片100到位。此时，每个吹气检查部123下方均有一个硅片100，此时检查吹气嘴1231不吹气，保持吹气嘴1232吹气。检查控制器控制移动部122及吹气检查部123，使移动部122带动两个吹气检查部123与两个硅片100同步移动，同时使两个吹气检查部123向两个硅片100表面吹气。此时，检查吹气嘴与保持吹气嘴1232均吹气，吹出的气体为压缩空气，本实施例中，压力0.3MPa。两个吹气检查部123与两个硅片100同步移动一段预定时间T，如0.3秒后，返回初始位置，此时检查吹气嘴1231停止吹气，保持吹气嘴1232吹气。可以理解，吹出气体的压力及预定时间T可根据检测具体要求进行设置。在该检查过程中，发生隐裂的硅片100破碎。
[0037]随后，硅片100被传输至导正机构13。导正机构13在感应器121感应到硅片到位起的一段预定时间T之后被启动,若娃片100发生倾斜,将被导正机构13导正，由于导正轮133可转动，该导正动作在不影响硅片100正常传输的情况下进行。
[0038]硅片100经过测量机构14时，多个感测器141感测硅片100的多个部位的通过时间，测量控制器进行比较后，判定硅片100是碎片还是合格。
[0039]分拣机构15接收测量机构14的测量结果，若为合格，分拣驱动部151不动而使分拣传输部150处于与传输机构11的传输方向相同的通过位置,顺利将娃片100输出。若为碎片，分拣驱动部151收缩，分拣传输部150翻转，从而分拣传输部150处于与传输机构11的传输方向成一定夹角的淘汰位置，且分拣端153对准分拣容器152，硅片100即落入分拣容器152。
[0040]本实用新型的硅片检测装置，利用检查机构12向待检测的硅片100吹气，可使隐裂的娃片100破碎并分拣出来。导正机构13对娃片100的导正作用，可利于测量机构14进行测量并得到准确的结果。检查机构12的移动部122带动吹气检查部123与硅片同步移动，可省去吹气检查部123等待硅片移动到位的时间。此外，检查机构12的吹气检查部123为两个，一次可检测两个娃片100,可进一步提闻检测效率。
[0041]本实用新型提供的一种硅片检测装置，解决了现有的硅片分选机难以检测隐裂硅片的问题，利用检查机构向待检测的硅片吹气，可使隐裂的硅片破碎并分拣出来，且检测效率高。
【权利要求】
1.硅片检测装置，其特征在于，包括传输机构(11)和检查机构(12)，所述检查机构(12)包括检查控制器、感应器(121)及至少一个吹气检查部(123)，所述检查控制器与感应器(121)及吹气检查部(123)信号连接，所述吹气检查部(123)位于传输机构(11)的上方，与传输机构(11)相对设置。
2.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述检查机构(12)还包括机械连接于所述吹气检查部(123)的移动部(122)，所述检查控制器信号连接于所述移动部(122)。
3.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，所述吹气检查部(123)包括安装座(1230)及安装于所述安装座(1230)的多个检查吹气嘴(1231)，所述多个吹气嘴(1231)均靠近所述安装座(1230)的边缘设置，且收尾相接构成一个回路。
4.根据权利要求3所述的硅片检测装置，其特征在于，所述吹气检查部(123)还包括位于所述多个检查吹气嘴(1231)的中心处的至少一个保持吹气嘴(1232)。
5.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，所述检查机构(12)包括两个并排设置的吹气检查部(123)。
6.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，所述传输机构(11)包括相对的输入端(110)和输出端(111)，所述吹气检查部(123)靠近所述输入端(110)，所述吹气检查部(123)与输出端(111)之间设有测量机构(14)，所述测量机构(14)与所述传输机构(11)相对设置。
7.根据权利要求6所述的硅片检测装置，其特征在于，所述测量机构(14)包括一个测量控制器和信号连接于所述测量控制器的多个感测器(141)，所述多个感测器(141)并排设置。
8.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，所述吹气检查部(123)与所述测量机构(14)之间设有导正机构(13),所述导正机构(13)包括分别位于所述传输机构(11)两侧的第一导正结构(131)和第二导正结构(132),所述传输机构(11)的宽度小于所述硅片的边距。
9.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，还包括信号连接于所述测量机构(14)的分拣机构(15),所述分拣机构(15)包括分拣传输部(150)、分拣驱动部(151)和分拣容器(152);所述分拣传输部(150)包括传送带，位于传输机构(11)的延长线上。
10.根据权利要求1或2所述的硅片检测装置，其特征在于，还包括人机界面(16)，所述人机界面(16)信号连接于检查机构(12)的检查控制器及测量机构(14)的测量控制器，且通过支架设置于传输机构(11)的输入端(I 10)。
【文档编号】B07C5/34GK203648868SQ201320882540
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日
【发明者】邢建龙, 吴亚兵, 刘铜强, 吴彤, 张治国 申请人:西安隆基硅材料股份有限公司