单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置的制作方法

本技术涉及石英料过滤装置，具体涉及单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置。

背景技术：

1、石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，石英坩埚的生产制备过程大致包括：高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干、加温烘烤，喷涂→石英坩埚三次检验→真空包装→成品入库。

2、在筛选高纯石英砂过程中，需要对石英砂进行过滤处理，现有的石英坩埚原料过滤装置使用过程中容易发生网孔堵塞，导致原料过滤效果较差，降低了该装置的实用性，因此，我们提出了单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置。

技术实现思路

1、鉴于上述现有石英料过滤装置存在的问题，提出了本实用新型。

2、因此，本实用新型目的是提供单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，解决了现有的石英坩埚原料过滤装置使用过程中容易发生网孔堵塞，导致原料过滤效果较差的问题。

3、为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

4、单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，包括过滤箱，其特征在于，所述过滤箱的上端外壁开设有注料口，所述过滤箱的外壁之间滑动连接有筛分网板，所述过滤箱的外壁之间滑动连接有收集柜，所述收集箱的上端安装有气泵，所述气泵的输入端延伸到过滤箱内，所述过滤箱的上端固定连接有收集箱，所述泵机的输出端与收集箱相互连通，能够便于收集单晶石英料在过滤使产生的灰尘以及残渣，提高了该装置的使用效果。

5、优选的，其特征在于，所述过滤箱的外壁安装有电机，所述过滤箱的外壁之间通过轴承转动连接有转杆，所述转杆的一端与电机的输出端固定连接，所述转杆的外壁固定连接有两个抵靠在筛分网板外壁的凸轮。

6、优选的，其特征在于，所述过滤箱的外壁开设有与筛分网板相匹配的限位槽，所述筛分网板和限位槽的外壁之间均固定连接有弹簧，能够使电机带动凸轮抵靠在筛分网板的外壁，使筛分网板震动，避免筛分网板的网孔发生堵塞，提高了该装置的过滤效果以及该装置的实用性。

7、优选的，其特征在于，所述收集箱的外壁滑动连接有过滤网板，所述收集箱的外壁开设有与过滤网板的相匹配的滑槽，所述过滤网板的外壁安装有过滤网。

8、进一步地，其特征在于，所述筛分网板的外壁安装有筛分网。

9、优选的，其特征在于，所述收集箱的外壁通过转轴转动连接有抵靠在过滤网板外壁的挡板。

10、在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

11、1、本实用新型，通过设置的筛分网板、限位槽、弹簧、转杆、凸轮和电机的相互配合，能够使电机带动凸轮抵靠在筛分网板的外壁，使筛分网板震动，避免筛分网板的网孔发生堵塞，提高了该装置的过滤效果以及该装置的实用性。

12、2、本实用新型，通过设置的气泵、收集箱、过滤网板、排气孔、和挡板的相互配合，能够便于收集单晶石英料在过滤使产生的灰尘以及残渣，提高了该装置的使用效果。

技术特征：

1.单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，包括过滤箱(1)、收集箱(11)，其特征在于，所述过滤箱(1)的上端外壁开设有注料口(2)，所述过滤箱(1)的外壁之间滑动连接有筛分网板(4)，所述过滤箱(1)的外壁之间滑动连接有收集柜(3)，所述收集箱(11)的上端安装有气泵(10)，所述气泵(10)的输入端延伸到过滤箱(1)内，所述过滤箱(1)的上端固定连接有收集箱(11)，所述气泵(10)的输出端与收集箱(11)相互连通。

2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，其特征在于，所述过滤箱(1)的外壁安装有电机(7)，所述过滤箱(1)的外壁之间通过轴承转动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的一端与电机(7)的输出端固定连接，所述转杆(8)的外壁固定连接有两个抵靠在筛分网板(4)外壁的凸轮(9)。

3.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，其特征在于，所述过滤箱(1)的外壁开设有与筛分网板(4)相匹配的限位槽(5)，所述筛分网板(4)和限位槽(5)的外壁之间均固定连接有弹簧(6)。

4.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，其特征在于，所述收集箱(11)的外壁滑动连接有过滤网板(12)，所述收集箱(11)的外壁开设有与过滤网板(12)的相匹配的滑槽，所述过滤网板(12)的外壁安装有过滤网。

5.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，其特征在于，所述筛分网板(4)的外壁安装有筛分网。

6.根据权利要求4所述的单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，其特征在于，所述收集箱(11)的外壁通过转轴转动连接有抵靠在过滤网板(12)外壁的挡板(14)。

技术总结
本技术公开了单晶石英坩埚生产用石英料过滤装置，涉及石英料过滤装置技术领域，包括过滤箱，其特征在于，所述过滤箱的上端外壁开设有注料口，所述过滤箱的外壁之间滑动连接有筛分网板，所述过滤箱的外壁之间滑动连接有收集柜，所述收集箱的上端安装有气泵，所述气泵的输入端延伸到过滤箱内，所述过滤箱的上端固定连接有收集箱，所述泵机的输出端与收集箱相互连通。本技术能够使电机带动凸轮抵靠在筛分网板的外壁，使筛分网板震动，避免筛分网板的网孔发生堵塞，提高了该装置的过滤效果以及该装置的实用性，能够便于收集单晶石英料在过滤使产生的灰尘以及残渣，提高了该装置的使用效果。

技术研发人员：武文奇,赵紫英,武文颖,陈惠民,郁成惠
受保护的技术使用者：河南一驰发半导体有限公司
技术研发日：20230719
技术公布日：2024/3/17