微观装置的制造及其处理技术
  • 使用大规模分子电子传感器阵列测量分析物的方法和装置与流程
    本申请要求于2016年1月28日提交的且题为“使用大规模分子电子传感器阵列测量分析物的方法和装置”的美国临时专利申请序列第62/288,360号的优先权,其公开通过引用结合于此。本发明总体上是生物纳米技术的领域,且更具体地是分子电子传感器的领域。传感器是离散系统,其响应于特定类别的...
  • 纳米发动机推进的制作方法
    本申请要求2015年12月16日提交的美国临时申请序列号62/268,352的利益,该临时申请在此通过引用并入其全部内容,包括任何图、表格或附图。发明背景在生物医学应用和许多低成本的纳米制造工艺中使用的纳米和微米发动机通常包括多种能够推向或推离源场(sourcefield)的微米和/或纳米颗粒复...
  • 纳米结构材料的连续流动合成的制作方法
    提供通过连续流动过程产生纳米结构材料的方法和系统。各向异性的棒状半导体纳米晶体具有取决于晶体的尺寸、纵横比和化学组成的受关注电子性质。这些纳米粒子可用于重要的应用,如发光器件、光催化、光诱导的光调制、光伏装置、波函数工程、生物标记和光存储器元件。通常,各向异性半导体纳米粒子被认为在...
  • 被配置为将图像投影到表面上的投影仪以及包括这种投影仪的便携式装置的制作方法
    本发明涉及一种投影仪,所述投影仪被配置为嵌入便携式装置中并且将图像投向朝着使用者眼睛反射光的表面。本发明进一步涉及一种包括这种投影仪的便携式装置。通常,旨在嵌入便携式装置(诸如移动电话或头戴式装置)中的微型显示器包括具有微米级像素的光源矩阵。存在包括激光源或发光二极管(LED)或用于形成彩...
  • 一种同轴MEMS微镜及其制备方法与流程
    本发明涉及激光雷达探测,特别涉及一种同轴MEMS微镜及其制备方法。MEMS(微机电系统,Micro-Electro-MechanicalSystem)的内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、...
  • 一种电阻可调的互联硅通孔的新型制作方法与流程
    本发明涉及一种互联硅通孔的制作方法领域,特别是一种一种电阻可调的互联硅通孔的新型制作方法。基于MEMS技术,可以在硅技术封装领域开发出新的信号互联方式。这种方式不仅可以用在微电子领域,而且还可以用在机械、声学、流体、光电子、生物医学等领域。由于压力传感器、加速度计和陀螺仪、投射式微镜、喷墨...
  • 一种基于柔顺机构的二维常力微定位平台的制作方法
    本发明涉及一种基于柔顺机构的二维常力平台,属于精密微操作领域,主要应用于超精密加工,精密工程,微机电系统(MEMS)、微电子工程,生物工程(细胞注射)等高尖端科学。基于柔顺机构的微定位平台技术是利用柔性铰链代替传统的刚性连接零件从而实现零件的运动与定位,具有无摩擦磨损、冲击小、结构...
  • 一种能够实现超声波传感的电子设备的制作方法
    本实用新型专利涉及超声波传感领域。传统的超声波传感器是由基于压电陶瓷的单体超声波传感器组装,这种方案无法实现高密度点阵的超声波传感器,高密度点阵超声波传感器可通过mems工艺制造,但成本过高,高密度点阵超声波传感器还可基于TFT工艺,可用于指纹采集,在玻璃基板上的TFT(薄膜晶体管)阵列上...
  • 一种能够实现超声波传感的电子设备的制作方法
    本实用新型专利涉及超声波传感领域。传统的超声波传感器是由基于压电陶瓷的单体超声波传感器组装,这种方案无法实现高密度点阵的超声波传感器,高密度点阵超声波传感器可通过mems工艺制造,但成本过高,高密度点阵超声波传感器还可基于TFT工艺,可用于指纹采集,在玻璃基板上的TFT(薄膜晶体管)阵列上...
  • 硅纳米线及其制备方法、硅纳米线的图形化制备方法与流程
    本发明涉及纳米材料,尤其涉及一种硅纳米线及其制备方法、硅纳米线的图形化制备方法。纳米材料受到极大的关注,主要是由于其特殊的物理性质。因为当材料的尺寸减小至纳米级别的时候,小尺寸效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应、库仑阻塞效应、表面效应等块体材料并不具备的特殊物理性质便会表现出来。...
  • 一种MEMS晶圆切割方法与流程
    本发明涉及微机电系统,特别是涉及一种MEMS晶圆切割方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)是一种基于微电子技术和微加工技术而产生的一种高科技领域。MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单...
  • 一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基与流程
    本发明涉及半导体领域,特别是一种纳米孔金薄膜的制作方法及应用该薄膜的硅基。表面等离子金属纳米颗粒在传感、光伏、显影和生物医疗等领域有着巨大的潜力。这其中具有纳米空隙的海绵状金(纳米孔金)材料因为其独特的三维双连续纳米结构而获得了广泛的关注。然而,纳米孔金块和纳米孔金膜均有着属性不可调,表面...
  • 微米级玻璃刻蚀模型的封装方法及设备与流程
    本发明涉及油田开发,具体涉及一种微米级玻璃刻蚀模型的封装方法及设备。在油藏物理模拟实验中,玻璃刻蚀模型是被普遍采用的一种研究模型。通常是在玻璃片表面刻蚀规则或者仿真的通道及孔隙,并对片状的玻璃刻蚀模型进行封装处理,并在封装后观察流体在其中的流动现象。其在渗流机理、流体作用机理和流固...
  • 传感器封装结构及方法与流程
    本发明涉及传感器封装,特别涉及一种传感器封装结构及方法。压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,微机电系统(MicroElectroMechanicalSystems;MEMS)传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的...
  • MEMS器件及其形成方法与流程
    本发明涉及半导体,特别涉及一种MEMS器件及其形成方法。麦克风是一种能把声音的能量转化为电能的传感器件,微电子机械系统工艺(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)的电容式MEMS麦克风,其原理是通过声压引起振动膜的振动,使电容发生改变进而引起电压...
  • 一种量子传输型高性能薄膜感知材料及其制备方法与流程
    本发明涉及新材料,具体为一种量子传输型高性能薄膜感知材料的制备方法。基于纳米效应的薄膜感知材料正受到研究界和产业界的日益重视,纳米材料具有独特的性质,可以作为性能优异的敏感材料,从而开发出性能比现有薄膜感知材料更为优异的新一代薄膜感知材料,目前,美国、欧盟和日本相继将传感技术列为2...
  • 一种类扇出多器件混合集成柔性微系统及其制备方法与流程
    本发明涉及半导体制造领域,具体来讲涉及一种多器件混合集成柔性微系统及其制备方法。扇出型封装技术是基于晶圆重构技术,将芯片重新布置到一块人工晶圆上进行封装的圆片级封装技术。该方法可以完成更小更薄的封装,实现多器件的混合集成,而且可以通过批次加工提高效率、降低成本。该方法在便携式电子产品芯片的...
  • 一种多孔石墨烯心音检测传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及生理信号检测传感器领域,特别是涉及一种多孔石墨烯心音检测传感器及其制作方法。随着全球经济水平的提高和居民饮食习惯的改变,多种心血管疾病的发病率也逐渐攀升,成为威胁全球人民生命健康的主要疾病之一。心血管疾病的诊断,主要是利用心血管功能参数来实现。临床进行心血管功能测量,为保证测量精...
  • 一种纳米阵列复合材料的制备方法与流程
    本发明属于微纳尺度器件,尤其涉及一种纳米阵列复合材料的制备方法。二维材料具有极薄的原子级厚度,优异的光学、电学性能,以及丰富的光电特性,在电子器件,光电器件,柔性器件等领域有着广泛的应用前景。近年来,人们开始尝试将等离子体纳米阵列制作在二维材料之上,形成等离子体纳米阵列/二维材料结...
  • 一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用与流程
    本发明属于纳米材料制备领域,具体涉及一种直径小于10nm的玻璃纳米孔、制备方法及其用于检测DNA的应用。随着生命科学的迅速发展,人们对生命现象的研究已经深入到单分子、单细胞水平。为此需要具有检测灵敏度达到了单分子水平的分析手段与该发展相适应。在众多的单分子检测技术中,基于库尔特计数器原理的...
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