本发明实施例涉及仿生感知系统，尤其涉及一种人工传入神经、仿生感知系统和人工传入神经的制备方法。生物体的感知系统主要由感受器和生物神经组成，因此，仿生感知系统可以由传感器和能使电子信号与生物神经信号兼容的仿生人工突触(也可称为“仿生人工突触器件”或“人工突触器件”)以及一些辅助器件构...

本发明涉及系统级封装，特别涉及一种芯片封装工艺和芯片封装模组。目前行业内的mems(系统级封装)工艺流程为：倒装asic芯片-清洗烘烤-等离子清洗-水滴角检测-底部填充-烘烤-黏贴mems传感器-烘烤-金线键合-划锡膏-贴壳回流等等，由于底部填充过程中易发生胶体溢流到基板的接线垫上...

本发明涉及麦克风封装，特别涉及一种麦克风封装工艺和应用该麦克风封装工艺的麦克风封装结构。相关技术中，麦克风结构中mems芯片与pcb的结合过程通常是mems芯片切割---装片站画硅胶---mems芯片贴在硅胶面---硅胶粘接memes芯片和pcb---进入烤箱烘烤。在此过程中，硅胶...

本发明涉及传感器，特别涉及一种mems传感器和应用该mems传感器的电子设备。近年来，随着科技的快速发展，微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)应运而生。其中，mems传感器作为检测器件，已经在例如手机、笔记本电脑、平板电脑、可穿戴设备...

本发明涉及封装结构，尤其涉及一种微机电系统换能器封装结构。近年来，随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要,移动电话的微机电系统换能器封装结构作为移...

本发明实施例涉及半导体制造，尤其涉及一种半导体结构及其制作方法。在半导体工艺中，有些情况需要用到双面加工工艺，例如需要在硅片的正面和反面都制作图形，特别是一些mems器件，比如，在压力传感器、热电堆温度传感器等mems器件的背面需要做深刻蚀，使得最终器件是一层薄膜器件。其中，双面加...

.本发明涉及电极的制备，尤其是涉及一种d微电极的制备方法。.电化学研究是利用物质的电化学性质进行表征和测量的分析方法。采用电化学的分析方法不但可以实现自动记录分析结果，而且还有利于对痕量物质的检测，包括葡萄糖、肌氨酸和尿素等，在工业、农业、食品安全等方面应用广泛。.目前，微柱阵列电极主要是...

.本发明涉及防水气压计制作，特别涉及一种防水气压计加工工艺和应用该防水气压计加工工艺制备的防水气压计。.防水气压计是一款能够承受atm水压的特殊产品，防水气压计的产品外壳为圆柱形，里面灌注防水胶，以达到防水性能，因此胶水的保护成为关键性因素。相关技术中，常规的pcb划片工艺使用砂轮...

.本公开的方面涉及高级处理系统和用于操作该系统的方法，并且更特别地，涉及可控以执行误差校正量子计算的量子处理系统。.本章节中描述的发展是发明人已知的。然而，除非另外指出，否则不应假设本章节中描述的任何发展仅由于它们被包括在在本章节中而被认为是现有技术，或者那些发展是本领域普通技术人员已知的...

.本发明涉及微纳颗粒制造、微流道制造微纳液滴、d打印等，具体涉及一种制作毛细管内部微液滴的装置及微液滴生成方法。.随着精细加工的发展，微纳尺度的流体现象得到广泛关注。微液滴具有形态稳定、便于操控、不易交叉感染、成本低等优势，在细胞科学、药物筛选、蛋白质结晶、材料合成等领域具有重要应...

传感器封装结构、传感器封装结构制作方法和电子终端.本发明涉及电子，特别涉及一种传感器封装结构、传感器封装结构制作方法和电子终端。.现有技术中，传感器的应用领域广泛，例如mems(微电子机械，micro‑electro‑mechanicalsystem)麦克风、me...

.本发明涉及结构超滑的，具体涉及一种大尺度超滑器件及其加工方法。.长期以来,摩擦和磨损问题,不但与制造业密切相关,还与能源、环境和健康直接相关。据统计,全世界约三分之一的能源在摩擦过程中被消耗掉,约％的机器零部件失效都是由磨损造成的。结构超滑是解决摩擦磨损问题的理想方案之一，结构超...

.本发明属于微机电红外光源领域，涉及一种自带聚光结构的微机电红外光源及其制备方法。.微机电系统红外光源是基于黑体辐射技术的一种低成本、高辐射率的红外光源发射芯片，同时还具备低功耗、小尺寸和高调制速率等优点，可作为核心器件广泛应用于高端红外气体传感器领域。.在红外气体传感器应用中，其气体探测...

.本发明涉及纳米材料制备，尤其涉及连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法及自动化设备。.近年来，随着化石燃料的大量消耗，随之而来的环境问题和能源问题越来越严峻，寻找清洁、可再生的能源迫在眉睫。氢能，作为二次能源，具有清洁、高效、安全、可贮存、可运输等诸多优点，已普遍被人们认为是一种...

.本发明实施例涉及仿生人工突触器件以及类生物感知系统，尤其涉及一种人工突触器件和人工突触器件的制备方法。.人工智能技术的发展为人机交互、感知系统及机器人假肢的控制等带来了革命性变化，同时对复杂数据的处理和人机交互界面提出了新的要求。不同于目前基于软件系统和冯·诺依曼构架实现的神经网...

本发明涉及气密性射频mems器件，尤其是涉及一种气密性射频mems器件的制作方法及气密性射频mems器件。射频微机电系统(射频mems)是mems技术的重要应用领域之一，也是二十世纪九十年代以来mems领域的研究热点。射频微机电系统器件具有高隔离度、低损耗、高线性度、低功耗、宽频带...

【相关申请案的交叉引用】本申请案主张2019年11月7日申请的美国临时专利申请案第62/931,926号的优先权，其整体经由引用被并入本文。本发明关于一种直线致动器，特别关于一种微机电系统(microelectromechanicalsystem，mems)直线致动器。me...

本发明系关于一种致动装置，特别关于一种微机电致动装置，可达到多自由度移动之功效。以微型摄影机，如手机上的摄影装置而言，微机电致动器有潜力可以取代音圈马达来达到例如影像稳定及自动对焦，然而仍有一些问题有待解决，如在表面黏着制程时以及操作时产生的热应力所造成的电容偏移(offset)、增加电—...

本发明涉及mems传感器的组装，具体地涉及一种新型mems传感器敏感结构的封装结构及粘接方法。mems传感器具有可靠性高和寿命长、功耗低、数字化、响应快和成本低等特点，因此mems传感器被广泛应用于航天、航空、军事、消费电子等领域。随着mems传感器的快速发展，高精度、响应快、动态...

本发明涉及微机电系统，特别是涉及一种微机电结构及其机械性能的调控方法。微机电系统(mems)是在微电子技术基础上发展起来的，融合了微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。mems是一项革命性的新技术，...