一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置的制作方法

1.本实用新型涉及线锯用金刚石微粉生产领域，尤其涉及一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置。


背景技术：

2.线锯用金刚石微粉属于微米级粉末，在金刚石线锯生产过程中，金刚石微粉经过化学镀后还要进行电镀，以增加金刚石微粉磁性和加厚镀层，在电镀过程中，溶液中的金刚石微粉容易出现团聚现象，使得电镀后的金刚石微粉形成了一部分较大的二次颗粒，这种团聚后的镀覆出来的金刚石颗粒上到金刚线后，严重影响金刚石线锯的切割力，继而影响硅片的切割良率。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，可以有效解决电镀过程中镀液中金刚石微粉团聚现象。
4.为实现上述目的，提供的技术方案具体是：
5.一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，包括底座、变速电机、镀瓶、镀瓶固定架、电极支架、电极、超声振子、电源；所述底座用于固定支撑变速电机和支架；所述变速电机设置在底座一端，变速电机上设置有镀瓶支架；所述镀瓶支架用于固定镀瓶，且镀瓶支架在变速电机的控制下可以带着镀瓶同时转动；所述电极包括电镀阳极和阴极导线；所述电极支架设置在底座另一端，其上设置有u型固定夹用于固定电镀阳极、电镀阴极、超声振子；所述电镀阳极、超声振子另一端伸入并悬空在镀瓶内；所述电镀阴极伸入镀瓶内。
6.进一步的，所述镀瓶的直径由腹部向两端逐渐减小且镀瓶相对于底座水平面倾斜设置。由于镀瓶口部和底部小，中部大，在倾斜设置时，可以较大限度的将下半部分接近底座水平面，从而增加微粉与镀瓶接触面积，又不至于装置在工作时，镀瓶中的镀液由于滚动从镀瓶中溅出。
7.进一步的，所述电镀阳极为装有800
‑
1000克镍珠的钛管。
8.进一步的，所述超声振子选用频率为25
‑
30khz，大小可以视镀瓶大小而定，在装置工作时，超声振子完全处于镀液液面以内。
9.进一步的，所述电极支架为可升降的，方便调整超声振子、电镀阳极在镀瓶中的位置。
10.进一步的，所述镀瓶下半部分瓶壁内设置有纵向沟槽，沟槽深度为3
‑
5mm。该沟槽可以带动沉在镀瓶底部的微粉在转动过程中翻滚，进一步减弱团聚现象，使得金刚石微粉颗粒之间分散性较好，从而电镀镀层均匀镀覆金刚石微粉颗粒。
11.有益效果：（1）通过在滚镀装置中设置超声振子，利用超声波在镀液中高频振动，改善镀覆过程中金刚石微粉的分散性，达到颗粒与颗粒之间的独立分散，减弱团聚现象；（2）镀瓶直径从腹部向两端收窄，且倾斜设置，可以增加微粉与镀瓶的接触面积，更加有利
于金刚石微粉翻滚运动，进一步减弱金刚石微粉间的团聚；（3）镀瓶下半部分瓶壁内的纵向沟槽可以防止部分微粉沉积镀瓶底部。
附图说明
12.附图1为本实用新型的示意图；
13.附图2为镀瓶内部沟槽示意图；
14.其中：1
‑
底座；2
‑
变速电机；3
‑
镀瓶；4
‑
镀瓶支架；5
‑
电极支架；6
‑
电镀阳极钛管；7
‑
阴极导线；8
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超声振子；9
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电源；10
‑
u型固定夹；11
‑
镀瓶内壁沟槽；12
‑
镀液液面；13
‑
超声调节器。
具体实施方式
15.下面结合附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描写。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有的特定方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。
16.如附图1
‑
2所示，一种改善线锯用电镀金刚石微粉团聚的滚镀装置，包括一种改善线锯用电镀金刚石微粉团聚的滚镀装置，包括底座、变速电机、镀瓶、镀瓶固定架、电极支架、阳极钛管、阴极导线、超声振子、电源；所述底座用于固定支撑变速电机和电极支架；所述变速电机设置在底座一端，变速电机上设置有镀瓶支架；所述镀瓶支架用于固定镀瓶，且镀瓶支架在变速电机的控制下可以带着镀瓶同时转动；所述阳极钛管和阴极导线的一端分别接电源正、负极，另一端伸入镀瓶内；所述电极支架设置在底座另一端，其上设置有u型固定夹用于固定阳极钛管、阴极导线和超声振子，使得阳极钛管、阴极导线、超声振子伸入镀瓶内一端能够悬空，不接触瓶壁；
17.在本实用新型中，所述镀瓶的直径由腹部向两端逐渐减小且镀瓶相对于底座水平面倾斜设置。由于镀瓶口部和底部小，中部大，在倾斜设置时，可以较大限度的将下半部分接近底座水平面，从而增加微粉与镀瓶接触面积，又不至于装置在工作时，镀瓶中的镀液由于滚动从镀瓶中溅出。
18.进一步的，所述电镀阳极为装有800
‑
1000克镍珠的钛管。
19.进一步的，所述电极支架为可升降的，方便调整超声振子、阳极钛管、阴极导线在镀瓶中的位置。
20.进一步的，所述镀瓶下半部分瓶壁内设置有纵向沟槽，沟槽深度为3
‑
5mm。该沟槽可以带动沉在镀瓶底部的微粉在转动过程中翻滚，进一步减弱团聚现象，使得金刚石微粉电镀镀层均匀镀覆。
21.工作原理：将装有金刚石微粉和镀液的镀瓶放置固定在镀瓶固定夹内，然后将电镀阳极钛管、阴极导线、超声振子安装在电极支架的u型固定夹上，调节电极支架高低以及u型固定夹位置，使得阳极钛管另一端和超声振子悬空在电镀瓶内，且浸入镀液中，与沉在镀瓶底部微粉保持3
‑
5cm的距离，阴极导线伸入镀瓶浸入镀液中。安装完成后即可同时启动变速电机和超声振子，开始进行电镀。超声振子上设有超声调节器，用于调节振子震动频率。
此时电镀瓶带着镀液滚动，超声振子通过高频振动，以及镀瓶底部沟槽，大大增加了金刚石微粉字镀液中的分散性，解决了金刚石微粉在电镀时容易出现的团聚现象。电镀结束后，关闭相关电源开关，将阴极导线、阳极钛管、超声振子拆除后，取下镀瓶收集微粉进入下道工序。
22.实践中，相比常规电镀滚镀装置获得的金刚石微粉团聚现象明显，分散性一般，本实用新型技术方案生产的金刚石微粉团聚现象很大程度得到改善，金刚石微粉分散性优异。


技术特征：
1.一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于，包括底座、变速电机、镀瓶、镀瓶固定架、电极支架、电极、超声振子、电源；所述底座用于固定支撑变速电机和支架；所述变速电机设置在底座一端，变速电机上设置有镀瓶支架；所述镀瓶支架用于固定镀瓶，且镀瓶支架在变速电机的控制下可以带着镀瓶同时转动；所述电极包括电镀阳极和阴极导线，分别接电源正负极；所述电极支架设置在底座另一端，其上设置有u型固定夹用于固定电镀阳极、电镀阴极、超声振子；所述电镀阳极、阴极导线、超声振子另一端伸入并悬空在镀瓶内。2.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述镀瓶的直径由腹部向两端逐渐减小。3.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述镀瓶相对于底座水平面倾斜设置。4.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述电镀阳极为钛管，钛管内装有800
‑
1000克镍珠；所述电镀阴极为导线。5.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述超声振子频率为25
‑
30khz。6.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述电极支架为可升降的。7.根据权利要求1所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述镀瓶下半部分瓶壁内设置有纵向沟槽。8.根据权利要求7所述的一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，其特征在于所述纵向沟槽的深度为3
‑
5mm。

技术总结
本实用新型提供了一种改善线锯用金刚石微粉团聚的滚镀装置，包括底座、变速电机、镀瓶、镀瓶固定架、电极支架、电极、超声振子、电源；所述底座用于固定支撑变速电机和支架；所述变速电机设置在底座一端，变速电机上设置有镀瓶支架；所述镀瓶支架用于固定镀瓶，且镀瓶支架在变速电机的控制下可以带着镀瓶同时转动；所述电极包括电镀阳极和阴极导线，分别接电源正负极；所述电极支架设置在底座另一端，其上设置有U型固定夹用于固定电镀阳极、电镀阴极、超声振子；所述电镀阳极、阴极导线、超声振子另一端伸入并悬空在镀瓶内；所述电镀阴极伸入镀瓶内。该装置可以改善金刚石微粉团聚现象，提高后期产品金刚石线锯切割良率。提高后期产品金刚石线锯切割良率。提高后期产品金刚石线锯切割良率。


技术研发人员：张福军 田峰
受保护的技术使用者：江苏聚成金刚石科技有限公司
技术研发日：2021.05.24
技术公布日：2021/12/10