一种酸性镀铜溶铜装置的制作方法

本技术属于材料电化学，具体涉及一种酸性镀铜溶铜装置。

背景技术：

1、在现有的电镀铜装置与工艺中，可分为大致可溶性阳极和不溶性阳极两种，其中传统酸性镀铜工艺，阳极普遍采用钛篮加磷铜球，然而磷铜阳极在溶解过程中会产生阳极泥污染镀液，镀层会因镀液不纯而产生毛刺点、铜点等缺陷；另外，在电镀过程中，由于阴极的镀铜效率低于100％，而阳极的溶铜效率高于100％，因此，在实际生产过程中会出现铜液中硫酸铜含量上升，硫酸含量下降现象，为长期保持镀液中成分在工艺参数范围内，则需定期排液，这会造成原材料浪费。

2、目前新的酸性镀铜工艺会使用钌铱钛所制成的不溶性阳极来镀铜，铜离子的补充采用往镀液中加氧化铜的方式，由于氧化铜的含铜量较低，且氧化铜的单价并不比磷铜球便宜，故生产成本较高；再者是钌铱钛阳极在电解运转过程中可能会发生钝化，使其工作寿命降低。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型目的是提供一种能够解决上述问题的酸性镀铜溶铜装置

2、为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是一种酸性镀铜溶铜装置，包括电镀槽、溶铜槽以及储液槽，所述电镀槽的两侧设置有溢流室，所述电镀槽与储液槽之间设置有出液管，所述储液槽与溢流室之间设置有回流下液管，所述储液槽与溶铜槽之间设置有进液管，所述电镀槽内设置有铱钽合金不溶性阳极以及镀件，所述出液管上设置有上液泵与过滤器，所述进液管上连通着循环泵，所述溶铜槽与储液槽的交接处开设有溢流孔。

3、作为优选，所述电镀槽与溢流室设置在储液槽的上方，所述溢流室与储液槽的交接处开设有连接孔。

4、作为优选，所述出液管的进液口设置于储液槽开设有溢流孔的一端，所述出液管穿过溢流室，所述出液管的出液口设置于电镀槽，所述出液管位于电镀槽内的部位开设有出液喷口。

5、作为优选，所述进液管的进液口设置于储液槽开设有溢流孔的另一端，所述进液管的出液口设置于溶铜槽的底端，所述进液管的进液口位于溢流孔的下方。

6、作为优选，所述回流下液管呈y型设置，所述回流下液管的进液口与连接孔相连接，所述回流下液管的出液口设置于进液管的进液口附近。

7、作为优选，所述溶铜槽内设置有钛篮支撑框；所述储液槽内设置有铜离子浓度检测器，加热棒、冷却钛盘管及温度探头。

8、本实用新型技术效果主要体现在以下方面：该溶铜装置通过溶铜槽内设置钛篮支撑框让装置内的电解铜能够分布得均匀，使得后续电解铜的溶解能够更加的快速，实现对镀液铜离子的快速补充；通过plc程序来对装置内仪器运行的控制以及镀液浓度的检测，让循环泵可根据铜离子浓度监测器监测镀液中铜离子浓度高低进行变频控制，调整镀液的流经溶铜槽的流量，从而控制溶铜槽中的溶铜速率，从而实现镀液中铜离子浓度的稳定，让加热棒和冷却钛盘管根据温度探头反馈的信息来对镀液的进行升温或降温处理，以便于镀液温度稳定在特定值左右，从而提高装置内的化学反应速率；将进液管的进液口设置在溢流孔的下方，让镀液进入溶铜槽中在充分溶解电解铜后，再因满溢从溢流孔中流出，确保从溢流孔进入储液槽内的镀液是富含铜离子的。

技术特征：

1.一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：包括电镀槽、溶铜槽以及储液槽，所述电镀槽的两侧设置有溢流室，所述电镀槽与储液槽之间设置有出液管，所述储液槽与溢流室之间设置有回流下液管，所述储液槽与溶铜槽之间设置有进液管，所述电镀槽内设置有不溶性阳极以及镀件，所述出液管上设置有上液泵与过滤器，所述进液管上连通着循环泵，所述溶铜槽与储液槽的交接处开设有溢流孔。

2.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述电镀槽与溢流室设置在储液槽的上方，所述溢流室与储液槽的交接处开设有连接孔。

3.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述出液管的进液口设置于储液槽开设有溢流孔的一端，所述出液管穿过溢流室，所述出液管的出液口设置于电镀槽，所述出液管位于电镀槽内的部位开设有出液喷口。

4.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述进液管的进液口设置于储液槽开设有溢流孔的另一端，所述进液管的出液口设置于溶铜槽的底端，所述进液管的进液口位于溢流孔的下方。

5.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述回流下液管呈y型设置，所述回流下液管的进液口与连接孔相连接，所述回流下液管的出液口设置于进液管的进液口附近。

6.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述溶铜槽内设置有钛篮支撑框；所述储液槽内设置有铜离子浓度检测器，加热棒、冷却钛盘管及温度探头。

7.如权利要求1所述的一种酸性镀铜溶铜装置，其特征在于：所述不溶性阳极由铱钽合金制成，所述不溶性阳极呈半圆弧形设置，所述镀件设置于不溶性阳极的内侧。

技术总结
本技术公开一种酸性镀铜溶铜装置，包括电镀槽、溶铜槽以及储液槽，所述电镀槽的两侧设置有溢流室，所述电镀槽与储液槽之间设置有出液管，所述储液槽与溢流室之间设置有回流下液管，所述储液槽与溶铜槽之间设置有进液管，所述电镀槽内设置有不溶性阳极以及镀件，所述出液管上设置有上液泵与过滤器，所述进液管上连通着循环泵，所述溶铜槽与储液槽的交接处开设有溢流孔；该溶铜装置通过溶铜槽内设置钛篮支撑框让装置内的电解铜能够分布得均匀，使得后续电解铜的溶解能够更加的快速，实现对镀液铜离子的快速补充。

技术研发人员：苏灿坤,张贵明
受保护的技术使用者：东莞市脉拓表面处理科技有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/1/13