一种半导体挡板阳极氧化用挂具的制作方法

本技术涉及挂具，尤其涉及一种半导体挡板阳极氧化用挂具。

背景技术：

1、针对芯片半导体刻蚀高端制程使用的刻蚀挡板，部分挡板材质为铝制品，重量轻且薄，易发生变形等特性，产品在进行清洗或阳极氧化时需要用挂具进行固定，通过挂具固定在横杆上，行车通过移动横杆来实现对产品的槽位转移。现有技术中产品挡板由周转车移到上挂区域，先把产品用螺栓和钛治具进行固定，然后把产品吊到横杆上，但由于产品薄、且易变形，可能发生断裂，造成产品的报废。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中半导体挡板进行冲洗或者阳极氧化时，由于产品易变性，传统挂具对产品的固定使用效果不佳的缺点，而提出的一种半导体挡板阳极氧化用挂具。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种半导体挡板阳极氧化用挂具，包括支架，所述支架上至少设有三个呈环形等间距分布的爪结构，定义多个爪结构环形分布所围绕的轴线为中心轴，所述爪结构包括固接在支架上的支撑板，所述支撑板端部固接有支撑轴，所述支撑轴上转动连接有盘体，所述盘体外圆周靠近中心轴的一侧固接有呈l形分布的夹爪、背杆，所述盘体外圆周远离中心轴的一侧设有棘齿，所述支撑板上活动连接有与棘齿配合的棘爪。

4、所述支撑板上开设有滑道，所述棘爪滑动连接在滑道上，所述棘爪能够靠近或远离所述盘体，所述棘爪远离盘体的一端与支撑板之间安装有推力弹簧。

5、所述支架位于中心轴位置转动连接有收卷轴，每个所述棘爪远离盘体的一端均固接有连接绳，所述连接绳另一端固接在所述收卷轴上。

6、所述盘体与所述支撑板之间安装有扭簧，所述扭簧能够带动所述夹爪向远离中心轴方向转动。

7、所述爪结构为六个。

8、本实用新型提出的一种半导体挡板阳极氧化用挂具，有益效果在于：本装置通过多个呈环形分布的爪结构固定半导体挡板，保证了产品固定的稳定性，减小半导体挡板固定时的变形概率，使半导体挡板无论是在冲洗的时候、还是在阳极氧化的时候均能够被稳定、可靠的夹持住。

技术特征：

1.一种半导体挡板阳极氧化用挂具，包括支架(11)，其特征在于，所述支架(11)上至少设有三个呈环形等间距分布的爪结构，定义多个爪结构环形分布所围绕的轴线为中心轴，所述爪结构包括固接在支架(11)上的支撑板(10)，所述支撑板(10)端部固接有支撑轴(8)，所述支撑轴(8)上转动连接有盘体(6)，所述盘体(6)外圆周靠近中心轴的一侧固接有呈l形分布的夹爪(7)、背杆(9)，所述盘体(6)外圆周远离中心轴的一侧设有棘齿(5)，所述支撑板(10)上活动连接有与棘齿(5)配合的棘爪(4)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体挡板阳极氧化用挂具，其特征在于，所述支撑板(10)上开设有滑道，所述棘爪(4)滑动连接在滑道上，所述棘爪(4)能够靠近或远离所述盘体(6)，所述棘爪(4)远离盘体(6)的一端与支撑板(10)之间安装有推力弹簧(3)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体挡板阳极氧化用挂具，其特征在于，所述支架(11)位于中心轴位置转动连接有收卷轴(1)，每个所述棘爪(4)远离盘体(6)的一端均固接有连接绳(2)，所述连接绳(2)另一端固接在所述收卷轴(1)上。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种半导体挡板阳极氧化用挂具，其特征在于，所述盘体(6)与所述支撑板(10)之间安装有扭簧，所述扭簧能够带动所述夹爪(7)向远离中心轴方向转动。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种半导体挡板阳极氧化用挂具，其特征在于，所述爪结构为六个。

技术总结
本技术涉及挂具技术领域，尤其是一种半导体挡板阳极氧化用挂具，包括支架，所述支架上至少设有三个呈环形等间距分布的爪结构，定义多个爪结构环形分布所围绕的轴线为中心轴，所述爪结构包括固接在支架上的支撑板，所述支撑板端部固接有支撑轴，所述支撑轴上转动连接有盘体，所述盘体外圆周靠近中心轴的一侧固接有呈L形分布的夹爪、背杆，所述盘体外圆周远离中心轴的一侧设有棘齿，所述支撑板上活动连接有与棘齿配合的棘爪。本装置通过多个呈环形分布的爪结构固定半导体挡板，保证了产品固定的稳定性，减小半导体挡板固定时的变形概率，使半导体挡板无论是在冲洗的时候、还是在阳极氧化的时候均能够被稳定、可靠的夹持住。

技术研发人员：王永东,夏礼飞,张高伟,刘家成
受保护的技术使用者：合肥升滕半导体技术有限公司
技术研发日：20230619
技术公布日：2024/1/15