专利名称：一种抽气系统及工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于真空获得技术领域，尤其涉及一种抽气系统及エ艺。
背景技术：
传统钛泵(即升华钛泵)是ー种利用升华原理蒸散钛膜，再利用新鲜钛膜的化学吸附实现抽气的真空泵。传统钛泵的抽速很高，然而钛膜蒸散速率低、抽气量小、蒸散能耗利用率低，通常只能用于压强≤IO-4Pa的高真空场合。该泵用于10_2 10_3Pa的エ业高真空场合，抽速大幅度下降，失去实用价值。随着科技进步，目前电弧钛泵的工作范围已延伸至10_2 10_3Pa的エ业高真空区段，具有一定的实用性。然而现有抽气系统结构较为复杂，成本高，不利于推广应用。
发明内容
本发明实施例的目的在于提供一种抽气系统，g在解决现有抽气系统结构复杂的问题。本发明实施例是这样实现的，ー种抽气系统，包括电弧钛泵及真空室，所述电弧钛
泵直接与真空室连通。本发明实施例的另一目的在于提供ー种应用于上述抽气系统的抽气エ艺，于所述电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使所述电弧钛泵的钛靶冷却一段时间。本发明实施例使电弧钛泵直接与真空室连通，这样省却两者间的高真空阀，结构简单，极大地降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的，于电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使钛靶冷却一段时间，从而降低钛靶表面的氧化损耗，提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。
图I是本发明第一实施例提供的抽气系统的结构示意图；图2是本发明第一实施例提供的电弧钛泵的结构示意图；图3是本发明第二实施例提供的电弧钛泵的结构示意图；以及图4是本发明第三实施例提供的电弧钛泵的结构示意图。
具体实施例方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进ー步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。本发明实施例使电弧钛泵直接与真空室连通，这样省却两者间的高真空阀，结构简单，极大地降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的，于电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使钛靶冷却一段时间，从而降低钛靶表面的氧化损耗，提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。以下列举若干实施例对本发明的实现进行详细描述。实施例一如图I所示，本发明实施例提供的抽气系统包括电弧钛泵12及真空室13，所述电弧钛泵12直接与真空室13连通。如此即可省却电弧钛泵12与真空室13间的高真空阀，结构简单，极大地降 低了本抽气系统的总成本。与本抽气系统相适应的，于电弧钛泵12抽气结束后，真空室13暴露大气之前，使所述电弧钛泵12的钛靶冷却一段时间，从而降低钛靶表面的氧化损耗，提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。通常，由所述电弧钛泵12的冷却构件对钛靶进行冷却，方便、快捷。其中，所述钛靶的冷却时间优选为1(Γ300秒，时间短，对生产影响小。如图2所示，所述电弧钛泵包括一组阴极弧源I以及位于所述阴极弧源I正前方的气体主捕集板2。此时所述阴极弧源I与气体主捕集板2间的距离要足够大，以20(T400mm为佳，这样所述阴极弧源I蒸散出的粒子将沉积在气体主捕集板2整个表面，成膜均匀性佳，利于增大钛膜的吸附几率，使得电弧钛泵抽速高。本发明实施例中所述阴极弧源I包括冷却构件、磁性构件(图未示出)以及设于所述电磁构件前方的板状钛靶11，所述气体主捕集板2平行于钛靶11。在此利用弧光放电的能量将钛靶材料蒸散至气体主捕集板2，以形成对气体分子进行吸附的活性原子薄层，从而实现抽气。此处所述钛靶11可以由化学性质活泼的其它金属或合金制成，如钛铝合金。通常，所述电弧钛泵具有ー壳体3。在此将所述气体主捕集板2设于与所述钛靶11相対的钛泵壳体内壁，其余钛泵壳体内壁作为气体辅助捕集板4，以提升钛材利用率。当然，也可以将单独的气体辅助捕集板4设于钛泵壳体内壁，以便更换，维护所述电弧钛泵。上述气体主捕集板2和/或气体辅助捕集板4的表面呈凹凸状，例如为锯齿表面、波纹表面或其它非平面，如此增加了有效捕集面积，提升气体捕集板吸附几率，提高钛膜利用率25%以上，同时降低本电弧钛泵的成本。为进ー步提升捕集板吸附气体的几率，于所述气体主捕集板2和/或气体辅助捕集板4设降低其温度的冷却构件5，所述冷却构件5可以是冷却水套或冷却管道。再者，所述锯齿或波纹走向垂直于泵ロ，如此便于清除废旧钛膜。其中，于所述电弧钛泵的泵ロ处设兼作气体辅助捕集板的挡尘板6。所述挡尘板6优选为由多个叶片61构成的百叶窗式挡尘板，所述百叶窗式挡尘板可以竖直安装，也可以水平安装。所述叶片61的宽度优选为相邻叶片间距的O. 8 2倍，叶片的倾角以3(Γ60°为佳，如此使粉尘难以进入真空室。当然，对粉尘污染较敏感的场合(例如光学镀膜)，可采用双层，或多层挡尘板。本电弧钛泵设多层挡尘板时，相邻挡尘板的叶片倾斜方向相反。另外，为提升挡尘板6对气体分子的吸附几率，于所述挡尘板6处设冷却构件5，例如冷却水套或冷却管道。实施例ニ与实施例一不同的是，本发明实施例提供的电弧钛泵包括两组阴极弧源7和两块气体主捕集板8，该两块气体主捕集板8设于相対的两组阴极弧源7之间，如图3所示。此处所述阴极弧源7与气体主捕集板8 一一对应，且两者间的距离要足够大，以20(T400mm为佳，这样气体主捕集板8上沉积的钛膜均匀，利于增大钛膜的吸附几率。因増加了一组阴极弧源7及与之配套的气体主捕集板8，与相同尺寸的传统电弧钛泵相比，本电弧钛泵的抽速提高了约40%。为进ー步提升本电弧钛泵的抽速，将所述电弧钛泵的壳体内壁3作为气体辅助捕集板。此时，所述气体主捕集板8的表面可为平面，亦可为非平面，例如为锯齿表面或波纹表面，如此即可更进ー步提升本电弧钛泵的抽速。另外，可于两块气体主捕集板8之间设冷却管道10，以提升两捕集板对气体分子的吸附几率。实施例三与实施例ニ不同的是，本发明实施例中气体主捕集板15由多片相互平行的子板
16倾斜排列而成，如图4所示。其中，所述子板16的宽度与相邻子板间距之比以I. Γ3倍为佳，子板16的倾斜角度以4(Γ75°为佳。 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.ー种抽气系统，包括电弧钛泵及真空室，其特征在于，所述电弧钛泵直接与真空室连通。
2.如权利要求I所述的抽气系统，其特征在于，所述电弧钛泵包括至少ー组阴极弧源以及位于所述阴极弧源正前方的气体主捕集板。
3.如权利要求2所述的抽气系统，其特征在于，所述阴极弧源包括冷却构件、磁性构件以及设于所述电磁构件前方的板状钛靶，所述气体主捕集板平行于钛靶。
4.如权利要求3所述的抽气系统，其特征在于，所述阴极弧源为ー组，所述气体主捕集板设于与所述钛靶相対的钛泵壳体内壁，其余钛泵壳体内壁作为气体辅助捕集板。
5.如权利要求3所述的抽气系统，其特征在于，所述阴极弧源为两组；所述气体主捕集板设于相对的两组阴极弧源之间。
6.如权利要求5所述的抽气系统，其特征在于，所述抽气系统的壳体内壁作为气体辅助捕集板。
7.如权利要求2飞中任ー项所述的抽气系统，其特征在于，所述气体主捕集板和/或气体辅助捕集板的表面为平面、锯齿状或波纹状。
8.如权利要求5所述的抽气系统，其特征在于，所述气体主捕集板由多片相互平行的子板倾斜排列而成。
9.一种应用于如权利要求广8中任一项所述抽气系统的抽气エ艺，其特征在于，所述电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使所述电弧钛泵的钛靶冷却一段时间。
10.如权利要求9所述的抽气エ艺，其特征在于，所述钛靶由电弧钛泵的冷却构件进行冷却，冷却时间为I(Γ300秒。
全文摘要
本发明适用于真空获得技术领域，提供了一种抽气系统及工艺，所述抽气系统包括电弧钛泵及真空室，所述电弧钛泵直接与真空室连通。如此即可省却电弧钛泵与真空室间的高真空阀，结构简单，极大地降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的，于电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使钛靶冷却一段时间，从而降低钛靶表面的氧化损耗，提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。
文档编号F04B37/14GK102691640SQ20121017007
公开日2012年9月26日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者储昕, 储琦 申请人:储昕, 储琦