流体控制装置的制作方法

本发明涉及具备泵和内含泵的壳体的流体控制装置。

背景技术：

1、在专利文献1中，记载了具备泵部、阀部以及外壳体的压电鼓风机。泵部与阀部连通。由泵部和阀部构成的部分配置在外壳体内。由泵部和阀部构成的构造体固定于外壳体。

2、由泵部和阀部构成的构造体将外壳体的内部空间分成泵侧的空间和阀侧的空间。在外壳体上形成有使泵侧的空间与外部空间连通的贯通孔、以及使阀侧的空间与外部空间连通的贯通孔。

3、泵部具备压电元件。通过对压电元件施加驱动电压信号，泵部输送流体。阀部进行控制，以将流体向规定方向输送。

4、在该结构中，流体被从外壳体的外部经过外壳体的内部空间中泵侧的空间吸入泵部。从泵部排出的流体经过阀部、外壳体的内部空间中阀侧的空间向外壳体的外部排出。

5、专利文献1：国际公开第2017/038565号

6、然而，在专利文献1所示的现有结构中，若持续驱动，则泵部(泵室)、外壳体的内部空间的温度变高。

7、另外，由于在泵部升了温的流体流入，外壳体的内部空间中阀侧的空间的温度变高。因此，容易出现的是，阀侧的空间与泵侧的空间之间的温度差变大，由温度差形成的应力施加于外壳体，例如外壳体产生应变。

8、这样，在现有的结构中，压电元件、泵部成为高温，另外，由温度差形成的应力施加于外壳体，因此作为流体控制装置的特性容易劣化。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制特性的劣化的流体控制装置。

2、本发明的流体控制装置具备：流体输送元件；外壳体，内含流体输送元件；以及支承部件，将流体输送元件固定于外壳体。流体输送元件具备：第一平板，具有流体的吸入孔；第二平板，具有流体的排出孔；以及压电元件，用于将流体从吸入孔向排出孔输送。外壳体具有由流体输送元件及支承部件区隔出的第一内部空间及第二内部空间。外壳体具备：第一外壁，形成成为第一平板侧的第一内部空间，并具有使第一内部空间与外部空间连通的第一贯通孔；和第二外壁，形成成为第二平板侧的第二内部空间，并具有使第二内部空间与外部空间连通的第二贯通孔。第二外壁具备：第二外壁主板，具有与第二平板对置的主面；和第二侧板，与第二外壁主板连接。第二外壁主板具有在从与该第二外壁主板的主面正交的方向平面观察时与排出孔重叠的部分。第二外壁主板的与排出孔重叠的部分的导热性比第一外壁的导热性高。

3、在该结构中，第二内部空间的流体比第一内部空间的流体容易散热。由此，流入第二内部空间的流体被散热，并且流入第二内部空间的流体的温度与第一内部空间的流体的温度之间的温度差变小。

4、根据本发明，能够抑制作为流体控制装置的特性劣化。

技术特征：

1.一种流体控制装置，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其中，

4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的流体控制装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的流体控制装置，其中，

技术总结
本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备由泵(20)及阀(60)构成的流体输送元件、和内含流体输送元件的外壳体(40)。外壳体(40)具备：第一外壁，形成泵(20)侧的内部空间(101)；和第二外壁，形成阀(60)侧的内部空间(102)。第二外壁具备外壁主板(42)，该外壁主板(42)具有在平面观察时与阀(60)的排出孔亦即贯通孔(TH61)重叠的部分。外壁主板(42)的与排出孔重叠的部分的导热性比第一外壁的导热性高。

技术研发人员：田中伸拓,川端友德,阿知波宽基
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13