扭力泵和化学液体供应单元的制作方法

本发明涉及一种泵和包括该泵的化学液体供应设备。

背景技术：

1、为了制造半导体器件或液晶显示器，在基板上执行各种工艺，诸如摄影、蚀刻、灰化、离子注入、薄膜沉积和清洗。其中，在摄影、蚀刻、灰化和清洗过程中，执行将液体供应到基板上的液体处理过程。

2、通常地，液体处理过程是通过从喷嘴排放处理液来对基板进行液体处理的过程。

3、各种泵用于液体处理过程的化学液体供应设备。其中，微型泵(entegris(英特格公司)，滚动膜片法)因其化学液体置换率低且极有可能由停滞的光致抗蚀剂(pr)引起颗粒而难以应用于微工艺设备(arf、euv设备)。

4、另一种ept泵(韩国工业技术研究院与koganei联合开发，管膜片法)需要滚珠丝杠、lm引导件和lm块等，以用于将电机的旋转力转换为上下移动的力，这增加了泵的尺寸。

技术实现思路

1、本发明已致力于提供一种能够提高化学液体置换率的扭力泵和化学液体供应单元。

2、本发明还已致力于提供一种可以减小尺寸的扭力泵和化学液体供应单元。

3、本发明还已致力于提供一种能够根据管的扭转变形来补偿管的长度的扭力泵和化学液体供应单元。

4、本发明要解决的问题不限于上述问题。本领域技术人员根据下面的描述将清楚地理解未提及的问题。

5、本发明的示例性实施方式提供了一种扭力泵，其包括：管，所述管包括与化学液体入口和化学液体出口连通的泵室；以及驱动单元，所述驱动单元用于将旋转力传递到所述管以扭转所述管，其中所述管具有非线性形状。

6、此外，所述管可以具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

7、此外，所述管可以包括：柔性管本体；第一法兰，所述第一法兰设置在所述管本体的一端处；以及第二法兰，所述第二法兰设置在所述管本体的另一端处，并且所述第二法兰连接到所述驱动单元并且被旋转。

8、此外，所述管本体可以被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

9、此外，所述管本体可以设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

10、此外，所述扭力泵可以还包括补偿构件，所述补偿构件被设置到所述第一法兰并且补偿在所述管本体被扭转时的竖直长度变形。

11、此外，所述补偿构件可以是滚动膜片和弹性构件中的任一者。

12、此外，所述驱动单元可以具有连接到所述第二法兰的旋转轴；并且所述旋转轴可以与第二中心轴线定位在同一条线上。

13、本发明的另一个示例性实施方式提供了一种用于供应化学液体的设备，所述设备包括：泵，所述泵用于将化学液体供应到喷嘴，所述喷嘴将所述化学液体排放到基板；捕集罐，所述捕集罐中临时地储存要从所述泵供应到所述喷嘴的化学液体；瓶子，所述瓶子包含储存在所述捕集罐中的化学液体；以及过滤器，所述过滤器设置在供所述化学液体从所述捕集罐向所述泵供应的路径上，其中所述泵包括：管，所述管包括与化学液体入口和化学液体出口连通的泵室并且具有非线性形状；以及驱动单元，所述驱动单元用于将旋转力传递到所述管以扭转所述管。

14、此外，所述管可以具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

15、此外，所述管可以包括：柔性管本体；第一法兰，所述第一法兰设置在所述管本体的一端处；以及第二法兰，所述第二法兰设置在所述管本体的另一端处，并且所述第二法兰可以连接到所述驱动单元。

16、此外，所述管本体可以被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

17、此外，所述管本体可以设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

18、此外，所述扭力泵可以还包括补偿构件，所述补偿构件被设置到所述第一法兰并且补偿在所述管本体被扭转时的竖直长度变形。

19、此外，所述补偿构件可以是滚动膜片和弹性构件中的任一者。

20、此外，所述驱动单元可以具有连接到所述第二法兰的旋转轴；并且所述旋转轴可以与第二中心轴线定位在同一条线上。

21、本发明的又一个示例性实施方式提供了一种扭力泵，其包括：柔性管本体，所述柔性管本体包括泵室；第一法兰，所述第一法兰设置在所述管本体的一端处；以及第二法兰，所述第二法兰设置在所述管本体的另一端处；以及驱动单元，所述驱动单元用于将旋转力传递到所述管本体以扭转所述管本体，其中所述管本体具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

22、此外，所述管本体可以被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

23、此外，所述管本体可以设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

24、此外，所述扭力泵可以还包括补偿构件，所述补偿构件设置在所述第一法兰上并且补偿在所述管本体被扭转时的竖直长度变形，其中所述补偿构件可以是滚动膜片和弹性构件中的任一者。

25、根据本发明的示例性实施方式，可以替换化学液体置换率。

26、根据本发明的示例性实施方式，可以减小泵的尺寸。

27、根据本发明的示例性实施方式，可以稳定地扭转所述管。

28、根据本发明的示例性实施方式，通过根据管的扭转变形来补偿管的长度，可以实现管的稳定扭转操作。

技术特征：

1.一种扭力泵，其包括：

2.根据权利要求1所述的扭力泵，其中所述管具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

3.根据权利要求2所述的扭力泵，其中所述管包括：

4.根据权利要求3所述的扭力泵，其中所述管本体被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

5.根据权利要求3所述的扭力泵，其中所述管本体被设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

6.根据权利要求3所述的扭力泵，其还包括：

7.根据权利要求6所述的扭力泵，其中所述补偿构件是滚动膜片和弹性构件中的任一者。

8.根据权利要求4所述的扭力泵，其中所述驱动单元具有连接到所述第二法兰的旋转轴；并且

9.一种用于供应化学液体的设备，所述设备包括：

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述管具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述管包括：

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述管本体被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

13.根据权利要求11所述的设备，其中所述管本体被设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

14.根据权利要求11所述的设备，其还包括：

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述补偿构件是滚动膜片和弹性构件中的任一者。

16.根据权利要求12所述的设备，其中所述驱动单元具有连接到所述第二法兰的旋转轴；并且

17.一种扭力泵，其包括：

18.根据权利要求17所述的扭力泵，其中所述管本体被设置成使得穿过所述管本体的一端的第一中心轴线和穿过所述管本体的另一端的第二中心轴线在所述弯曲部分处彼此交叉。

19.根据权利要求18所述的扭力泵，其中所述管本体被设置为具有大长宽比的椭圆形或矩形横截面。

20.根据权利要求3所述的扭力泵，其还包括：

技术总结
本发明的示例性实施方式提供了一种用于供应液体的泵。所述泵包括：柔性管本体，所述柔性管本体包括泵室；第一法兰，所述第一法兰设置在所述管本体的一端处；以及第二法兰，所述第二法兰设置在所述管本体的另一端处；以及驱动单元，所述驱动单元用于将旋转力传递到所述管本体以扭转所述管本体，其中所述管本体具有以预定角度弯曲的弯曲部分。

技术研发人员：孙永俊,崔炳斗,尹荣云,李隅滥,郑星哲,郑雨信,严基象
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11