一种应用于半导体低温泵电机调节装置的制作方法

1.本实用新型涉及低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵电机调节装置。


背景技术：

2.低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面,现有技术当中半导体低温泵设备不居中，导致电机无法达到稳定状态，因此需要研发一种应用于半导体低温泵电机调节装置。


技术实现要素：

3.本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。
4.为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：
5.一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其包括：安装板，所述安装板顶部右前端水平设置有第一安装座，两个所述第一安装座设置有第一圆形通孔，所述安装板顶部设置有第一安装槽口，所述安装板顶部后左端水平设置有第二安装座，两个第二安装座设置有第二圆形通孔，所述安装板顶部设置有第二安装槽口。
6.作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有两个连接槽口。
7.作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有第一输出槽口，所述第一输出槽口位于第一安装座旁。
8.作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述安装板顶部设置有第二输出槽口，所述第二输出槽口位于第二安装座旁。
9.作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述第一安装槽口位于两个第一安装座内腔底部。
10.作为本实用新型所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置的一种优选方案，其中：所述第二安装槽口位于两个第二安装座内腔底部。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：两个水平对称的第一安装座和两个水平对称的第二安装座之间对电机起到平衡力矩的作用，防止电机不居中，两个水平对称的安装座在低温泵运行中，对电机轴动起到稳定作用，防止电机轴转动时对电机发生晃动。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本实用新型进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为本实用新型俯视结构示意图；
15.图3为本实用新型侧俯视结构示意图。
16.图中：安装板100、连接槽口110、第一安装座120、第一圆形通孔130、第一安装槽口140、第二安装座150、第二圆形通孔160、第二安装槽口170、第一输出槽口180、第二输出槽口190。
具体实施方式
17.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
18.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施方式的限制。
19.其次，本实用新型结合示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
20.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的实施方式作进一步地详细描述。
21.请参阅图1-图3,本实施方式的一种应用于半导体低温泵电机调节装置,其包括：安装板100，所述安装板100顶部设置有两个连接槽口110，所述安装板100顶部右前端水平设置有第一安装座120，两个所述第一安装座120设置有第一圆形通孔130，所述安装板100顶部设置有第一安装槽口140，所述第一安装槽口140位于两个第一安装座120内腔底部，所述安装板100顶部后左端水平设置有第二安装座150，两个第二安装座150设置有第二圆形通孔160，所述安装板100顶部设置有第二安装槽口170，所述第二安装槽口170位于两个第二安装座150内腔底部，所述安装板100顶部设置有第一输出槽口180，所述第一输出槽口180位于第一安装座120旁，所述安装板100顶部设置有第二输出槽口190，所述第二输出槽口190位于第二安装座150旁。
22.在具体的使用过程中，当需要本实用新型在使用的过程中，在低温泵运行前，安装板100通过连接槽口110安装在指定位置，通过两个对称第一安装座120内部的第一圆形通孔130与第一安装槽口140，两个对称的第二安装座150内部的第二圆形通孔160与第二安装槽口170对低温泵起到平衡力矩的作用，对低温泵达到居中的效果，第一安装座120内腔对称的第一圆形通孔130与第二安装座150内腔对称的第二圆形通孔160对低温泵电机轴转动时防止电机抖动，对低温泵达到稳定的效果。
23.虽然在上文中已经参考实施方式对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施方式，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。


技术特征：
1.一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于，包括：安装板(100)，所述安装板(100)顶部右前端水平设置有第一安装座(120)，两个所述第一安装座(120)设置有第一圆形通孔(130)，所述安装板(100)顶部设置有第一安装槽口(140)，所述安装板(100)顶部后左端水平设置有第二安装座(150)，两个第二安装座(150)设置有第二圆形通孔(160)，所述安装板(100)顶部设置有第二安装槽口(170)。2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于：所述安装板(100)顶部设置有两个连接槽口(110)。3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于：所述安装板(100)顶部设置有第一输出槽口(180)，所述第一输出槽口(180)位于第一安装座(120)旁。4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于：所述安装板(100)顶部设置有第二输出槽口(190)，所述第二输出槽口(190)位于第二安装座(150)旁。5.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于：所述第一安装槽口(140)位于两个第一安装座(120)内腔底部。6.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵电机调节装置，其特征在于：所述第二安装槽口(170)位于两个第二安装座(150)内腔底部。

技术总结
本实用新型公开的属于低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵电机调节装置，包括安装板，所述安装板顶部右前端水平设置有第一安装座，两个所述第一安装座设置有第一圆形通孔，所述安装板顶部设置有第一安装槽口，所述安装板顶部后左端水平设置有第二安装座，两个第二安装座设置有第二圆形通孔，所述安装板顶部设置有第二安装槽口，所述安装板顶部设置有两个连接槽口，所述安装板顶部设置有第一输出槽口，该实用新型，两个水平对称的第一安装座和两个水平对称的第二安装座之间对电机起到平衡力矩的作用，防止电机不居中，两个水平对称的安装座在低温泵运行中，对电机轴动起到稳定作用，防止电机轴转动时对电机发生晃动。防止电机轴转动时对电机发生晃动。防止电机轴转动时对电机发生晃动。


技术研发人员：崔汉博
受保护的技术使用者：上海优尊真空设备有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2023/1/13