一种活塞环镀膜机抽真空装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种活塞环镀膜机抽真空装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
3.目前现有的真空镀膜机，结构简单，在真空镀膜机在工作时由于其配备的真空泵会进行运转工作，从而使得真空泵处于震动的状态，在长时间震动工作中，容易使真空镀膜机发生位置偏移，导致活塞环上方存留的镀膜液被甩出，导致镀膜不均匀，次品率较高的问题，故需要针对以上的问题进行相应的改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种活塞环镀膜机抽真空装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种活塞环镀膜机抽真空装置，包括底座，所述底座的顶端靠一侧的位置安装有活塞环镀膜机本体，且底座的顶端靠另一侧的位置安装有真空泵，所述底座的顶端靠真空泵两侧的位置均开设有滑槽，且两组滑槽的内部均滑动设置有滑块，两组所述滑块的顶端均安装有限位板，其中一组所述限位板的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定杆，且另一组所述限位板的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定筒，两组所述限位板的内侧均安装靠顶端和底端的位置均安装有三组缓冲柱，且对应缓冲柱的对应一端分别与对应弧形板的对应一侧相固定。
6.优选的，所述真空泵的顶端连通设置有抽空管，且抽空管的另一端与活塞环镀膜机本体的内部相连通设置。
7.优选的，两组所述限位板均为弧形设置，且两组限位板的外侧均安装有握把。
8.优选的，两组所述弧形板的内侧均开设有若干组放置槽，且对应若干组放置槽的内壁均安装有橡胶条。
9.优选的，对应若干组所述橡胶条的大小相等，且对应若干组橡胶条的外表面分别与真空泵的外表面对应位置相贴合设置。
10.优选的，所述固定杆的数量为四组，四组所述固定杆的外径大小与对应固定筒的内径大小相适配，且对应固定杆与对应固定筒呈同一水平高度设置。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.通过对应缓冲柱，对应弧形板以及对应若干组橡胶条的设置，可对真空泵进行有效的缓冲作用，从而可有效解决空泵处于震动的状态，在长时间震动工作中，容易使真空镀膜机发生位置偏移，导致活塞环上方存留的镀膜液被甩出，导致镀膜不均匀，次品率较高的
问题。
附图说明
13.图1为本实用新型的主体的结构立体示意图。
14.图2为图1中a处放大示意图。
15.图3为图1中b处放大示意图。
16.图中：1、底座；11、滑槽；2、活塞环镀膜机本体；3、真空泵；31、抽空管；4、限位板；40、握把；41、滑块；42、固定杆；43、固定筒；44、缓冲柱；45、弧形板；46、放置槽；47、橡胶条。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种活塞环镀膜机抽真空装置，包括底座1，底座1的顶端靠一侧的位置安装有活塞环镀膜机本体2，且底座1的顶端靠另一侧的位置安装有真空泵3，真空泵3的顶端连通设置有抽空管31，且抽空管31的另一端与活塞环镀膜机本体2的内部相连通设置，底座1的顶端靠真空泵3两侧的位置均开设有滑槽11，且两组滑槽11的内部均滑动设置有滑块41。
19.两组滑块41的顶端均安装有限位板4，两组限位板4均为弧形设置，且两组限位板4的外侧均安装有握把40，其中一组限位板4的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定杆42，且另一组限位板4的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定筒43，固定杆42的数量为四组，四组固定杆42的外径大小与对应固定筒43的内径大小相适配，且对应固定杆42与对应固定筒43呈同一水平高度设置，两组限位板4的内侧均安装靠顶端和底端的位置均安装有三组缓冲柱44，且对应缓冲柱44的对应一端分别与对应弧形板45的对应一侧相固定，两组弧形板45的内侧均开设有若干组放置槽46，且对应若干组放置槽46的内壁均安装有橡胶条47，对应若干组橡胶条47的大小相等，且对应若干组橡胶条47的外表面分别与真空泵3的外表面对应位置相贴合设置。
20.在使用时，使用人员可分别通过对应握把40将对应限位板4向真空泵3的对应一侧进行移动，从而使得对应滑块41能够在对应滑槽11的内部中进行相应的滑动，进而使得对应限位板4在移动时更加稳定且不易发生晃动，当对应固定杆42的一端移动至对应固定筒43的内部时，由于对应固定筒43的对应一侧内壁设置有磁铁块，对应固定杆42为铁制品，故两者之间便可进行相应的固定，从而使得两组限位板4之间可进行相应的固定，同时对应弧形板45以及对应若干组橡胶条47会分别与真空泵3的外表面对应位置相贴合设置，从而在一定程度上起到缓冲的作用，此时，使用人员便可启动活塞环镀膜机本体2和真空泵3，从而使得整个装置能够进行正常运转，此时真空泵3进行运转产生振动时，对应缓冲柱44，对应弧形板45以及对应若干组橡胶条47可对真空泵3进行有效的缓冲作用，从而可有效解决空泵处于震动的状态，在长时间震动工作中，容易使真空镀膜机发生位置偏移，导致活塞环上方存留的镀膜液被甩出，导致镀膜不均匀，次品率较高的问题。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通的技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种活塞环镀膜机抽真空装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶端靠一侧的位置安装有活塞环镀膜机本体(2)，且底座(1)的顶端靠另一侧的位置安装有真空泵(3)，所述底座(1)的顶端靠真空泵(3)两侧的位置均开设有滑槽(11)，且两组滑槽(11)的内部均滑动设置有滑块(41)，两组所述滑块(41)的顶端均安装有限位板(4)，其中一组所述限位板(4)的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定杆(42)，且另一组所述限位板(4)的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定筒(43)，两组所述限位板(4)的内侧均安装靠顶端和底端的位置均安装有三组缓冲柱(44)，且对应缓冲柱(44)的对应一端分别与对应弧形板(45)的对应一侧相固定。2.根据权利要求1所述的一种活塞环镀膜机抽真空装置，其特征在于：所述真空泵(3)的顶端连通设置有抽空管(31)，且抽空管(31)的另一端与活塞环镀膜机本体(2)的内部相连通设置。3.根据权利要求1所述的一种活塞环镀膜机抽真空装置，其特征在于：两组所述限位板(4)均为弧形设置，且两组限位板(4)的外侧均安装有握把(40)。4.根据权利要求1所述的一种活塞环镀膜机抽真空装置，其特征在于：两组所述弧形板(45)的内侧均开设有若干组放置槽(46)，且对应若干组放置槽(46)的内壁均安装有橡胶条(47)。5.根据权利要求4所述的一种活塞环镀膜机抽真空装置，其特征在于：对应若干组所述橡胶条(47)的大小相等，且对应若干组橡胶条(47)的外表面分别与真空泵(3)的外表面对应位置相贴合设置。6.根据权利要求1所述的一种活塞环镀膜机抽真空装置，其特征在于：所述固定杆(42)的数量为四组，四组所述固定杆(42)的外径大小与对应固定筒(43)的内径大小相适配，且对应固定杆(42)与对应固定筒(43)呈同一水平高度设置。

技术总结
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种活塞环镀膜机抽真空装置，包括底座，底座的顶端靠一侧的位置安装有活塞环镀膜机本体，且底座的顶端靠另一侧的位置安装有真空泵，底座的顶端靠真空泵两侧的位置均开设有滑槽，且两组滑槽的内部均滑动设置有滑块，两组滑块的顶端均安装有限位板，其中一组限位板的两端靠顶端和底端的位置均安装有固定杆。通过对应缓冲柱，对应弧形板以及对应若干组橡胶条的设置，可对真空泵进行有效的缓冲作用，从而可有效解决空泵处于震动的状态，在长时间震动工作中，容易使真空镀膜机发生位置偏移，导致活塞环上方存留的镀膜液被甩出，导致镀膜不均匀，次品率较高的问题。次品率较高的问题。次品率较高的问题。


技术研发人员：杜超 周鹏 曹孔林 张捷
受保护的技术使用者：仪征纳环科技有限公司
技术研发日：2022.11.03
技术公布日：2023/3/7