一种双级液环真空泵的制作方法

本技术涉及一种真空泵，具体为双级液环真空泵，属于真空泵领域。

背景技术：

1、随着基础工业的不断发展，真空设备要求要具有更高的稳定性，特别是在高真空阶段具有更高性能、效率以及运行可靠性，真空泵有包括涡轮叶片泵部及拖曳泵部的真空泵，其中所述涡轮叶片泵部包含固定叶片与旋转叶片，所述拖曳泵部设置于较涡轮叶片泵部而言更靠排气下游侧。包括所述真空泵的真空泵系统例如可用作使执行干式蚀刻、或化学气相沉等工艺的工艺腔室内成为高真空；

2、传统真空泵在实际的工作中受制于工作液温度，特别是高真空阶段失去抽气能力，不能处理所有的气体和蒸汽，需要不断的往真空泵工作腔内添加润滑液，大量的润滑液对真空泵内造成污染，严重影响其使用寿命，为此，提出一种双级液环真空泵。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种双级液环真空泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双级液环真空泵，包括主轴，所述主轴上设有一级泵体和二级泵体，所述一级泵体由前泵盖、一级叶轮和一级中间体组成，所述二级泵体由后泵盖、二级中间体和二级叶轮组成，所述一级中间体与二级中间体固定连接，所述主轴上套设有轴套，所述一级中间体和二级中间体与轴套间隙配合，所述一级叶轮的一侧固定连接有排气盘，所述一级叶轮和二级叶轮固定连接与主轴上且贴紧轴套安装，所述一级叶轮和二级叶轮及轴套均与主轴同步转动，所述前泵盖与后泵盖固定连接，所述轴套与一级叶轮和二级叶轮之间固定连接有密封件，所述二级泵体上固定连接有工作液接口。

3、进一步优选的，所述前泵盖上固定连接有压力表接口。

4、进一步优选的，所述一级泵体和二级泵体上固定连接有防止汽蚀的接口、排污接口和排水阀接口。

5、进一步优选的，所述前泵盖上连通并固定有进气口和出气口。

6、进一步优选的，所述前泵盖上固定连接有排气阀接口和排水接口。

7、进一步优选的，所述前泵盖的左侧固定连接有防尘网。

8、进一步优选的，所述前泵盖和后泵盖的底部均固定连接有两个支架。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过工作液接口往后泵盖内不断地补充工作液，以带走气体压缩而产生的热量和补充部分随气体排出的工作液，通过排水接口排出，当一级叶轮和二级叶轮以一定的速度运转时，液环与一级叶轮和二级叶轮的轮縠之间会形成两个月牙形空间，在每个月牙形空间内完成一个吸气、排气过程，一级叶轮和二级叶轮每旋转一周，完成两个吸气和排气过程，可处理几乎所有气体和蒸汽，工作腔内无需润滑，因此无污染，高可靠性，低噪音，几乎无振动。

技术特征：

1.一种双级液环真空泵，包括主轴（1），其特征在于：所述主轴（1）上设有一级泵体（20）和二级泵体（21），所述一级泵体（20）由前泵盖（2）、一级叶轮（5）和一级中间体（4）组成，所述二级泵体（21）由后泵盖（3）、二级中间体（7）和二级叶轮（6）组成，所述一级中间体（4）与二级中间体（7）固定连接，所述主轴（1）上套设有轴套（8），所述一级中间体（4）和二级中间体（7）与轴套（8）间隙配合，所述一级叶轮（5）的一侧固定连接有排气盘（19），所述一级叶轮（5）和二级叶轮（6）固定连接与主轴（1）上且贴紧轴套（8）安装，所述一级叶轮（5）和二级叶轮（6）及轴套（8）均与主轴（1）同步转动，所述前泵盖（2）与后泵盖（3）固定连接，所述轴套（8）与一级叶轮（5）和二级叶轮（6）之间固定连接有密封件（9），所述二级泵体（21）上固定连接有工作液接口（14）。

2.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述前泵盖（2）上固定连接有压力表接口（10）。

3.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述一级泵体（20）和二级泵体（21）上固定连接有防止汽蚀的接口（11）、排污接口（12）和排水阀接口（13）。

4.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述前泵盖（2）上连通并固定有进气口（15）和出气口（16）。

5.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述前泵盖（2）上固定连接有排气阀接口（17）和排水接口（18）。

6.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述前泵盖（2）的左侧固定连接有防尘网（22）。

7.根据权利要求1所述的一种双级液环真空泵，其特征在于：所述前泵盖（2）和后泵盖（3）的底部均固定连接有两个支架（23）。

技术总结
本技术公开了一种双级液环真空泵，包括主轴，所述主轴上设有一级泵体和二级泵体，所述一级泵体由前泵盖、一级叶轮和一级中间体组成，所述二级泵体由后泵盖、二级中间体和二级叶轮组成。本技术通过工作液接口往后泵盖内不断地补充工作液，以带走气体压缩而产生的热量和补充部分随气体排出的工作液，通过排水接口排出，当一级叶轮和二级叶轮以一定的速度运转时，液环与一级叶轮和二级叶轮的轮縠之间会形成两个月牙形空间，在每个月牙形空间内完成一个吸气、排气过程，一级叶轮和二级叶轮每旋转一周，完成两个吸气和排气过程，可处理几乎所有气体和蒸汽，工作腔内无需润滑，因此无污染，高可靠性，低噪音。

技术研发人员：张锦彦,钱光辉,仁德琪,高波,孔桢,马凯,蔡斌斌,蒋方平,支瑛,钱敏,项达林,金昌玉,王祥,孙峻
受保护的技术使用者：福斯流体控制（苏州）有限公司
技术研发日：20221215
技术公布日：2024/1/12