一种新型磁悬浮复合分子泵的制作方法

本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备，具体而言，涉及一种新型磁悬浮复合分子泵。

背景技术：

1、磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、可靠、节能的实验室和工业的稳定流量控制的一种全新的分子泵技术。它是一种分子泵，可以输送液体和气体；它将电机、变频器和线性滑动马达等相结合，实现压力、流量调节，建立完整的闭环控制系统，从而有效控制利稳定流量，磁悬浮分子泵是一种通过连续的高速运转以获取真空环境的重要设备。由于其工作状态为持续高速旋转，因此磁悬浮分子泵泵体上必设有水冷却系统。

2、申请号为202020865280.3公开了一种磁悬浮分子泵水冷却装置，其背景技术中提出的问题为；现有的水冷却系统通常为在泵体的底座上开槽将冷却水管安装其内并用整体式压环固定或者采用铸件形式的泵体底座将冷却水管铸在体内。这两种形式的冷却水管的进出水方向均已经固定，不能调整方向。这样就需要要求磁悬浮分子泵在使用场所下的水路安装方向了，这种情况下就需要考虑外供冷却水水管的干涉，给磁悬浮分子泵的安装和使用造成不便。另外，磁悬浮分子泵使用环境冷却系统所需的冷却水也未必都是纯净水，会存在高沉淀水或含有腐蚀的水质，分子泵在使用一段时间后，冷却系统中冷却水管就有腐蚀坏的情况，现场更换冷却水管就非常不方便，而将冷却水管铸在泵体内的分子泵是无法更换的，只能更换全新的分子泵，维护成本会很高，但是其存在以下问题；

3、其通过冷却管缠绕在磁悬浮分子泵的外壁，并通过压环固定冷却管，导致磁悬浮分子泵与冷却管内的冷却液之间的阻碍较多，影响冷却液的冷却效果，存在一定的不足，为解决上述问题，提出一种新型磁悬浮复合分子泵。

技术实现思路

1、本发明的目的在于一种新型磁悬浮复合分子泵，为了克服上述现有技术的不足，本发明通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作，且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，并在冷却板内通过导流孔输送冷却液，从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔，提高散热效果。

2、本发明的上述目的是这样实现的：

3、一种新型磁悬浮复合分子泵，包括磁悬浮分子泵主体和底座，所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部，底座的底部设置有安装组件，磁悬浮分子泵主体的正面设有排水管，排水管的排水端设置有辅助组件，磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件；

4、所述冷却组件包括第一冷却板、第二冷却板、第一安装孔、第一螺孔、第二螺孔、进水管、出水管、第一固定板、第二固定板、安装槽、安装块、连接件和导流孔，安装块和安装槽均设有两个，两个安装块分别固定设在第一冷却板的两端，两个安装槽分别开设在第二冷却板的两端，两个安装块的侧壁分别与两个安装槽的内壁相适配，导流孔开设在安装块、第一冷却板和第二冷却板内。

5、进一步，所述导流孔呈螺旋形设计，所述进水管和出水管均固定设在第二冷却板的凸面处，且进水管和排水管均延伸至导流孔内。

6、进一步，所述第一冷却板和第二冷却板均呈弧形设计，且第一冷却板和第二冷却板均位于磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，第一冷却板和第二冷却板相适配。

7、进一步，所述一固定板和第二固定板均设有两个，两个第一固定板分别固定设在第一冷却板的两侧，两个第二固定板分别固定设在第二冷却板的两侧，第一螺孔矩形阵列开设在第一固定板的一侧，且第一螺孔贯穿至第二固定板远离第一固定板的一侧。

8、进一步，所述连接件和第一安装孔均设有两个，两个连接件分别固定设在位于磁悬浮分子泵一侧的第一固定板和第二固定板的底部，两个第一安装孔分别开设在两个连接件的顶部，所述第二螺孔呈环形阵列开设在磁悬浮分子泵的侧壁，第二螺孔与第一安装孔相适配。

9、进一步，所述辅助组件包括导水管、第一限位圈、第二限位圈、固定圈、固定槽、密封圈和密封槽，第一限位圈的内壁固定设在排水管的外壁，第二限位圈的内壁固定设在导水管的外壁，固定圈固定设在第一限位圈靠近第二限位圈的一侧，固定槽开设在第二限位圈靠近第一限位圈的一侧，固定圈的侧壁与固定槽的内壁相适配。

10、进一步，所述密封槽呈矩形阵列开设在固定圈的外壁，所述密封圈呈矩形阵列分别固定套设在密封槽内。

11、进一步，所述第一限位圈和第二限位圈相适配，且第一限位圈和第二限位圈通过螺栓固定连接，所述导水管呈u形设计。

12、进一步，所述安装组件包括第三螺孔、第二安装孔和螺杆，第三螺孔开设在底座的底部，且第三螺孔延伸至磁悬浮分子泵主体内，第二安装孔开设在底座的底部，且第二安装孔位于第三螺孔的外侧，螺杆的侧壁与第三螺孔的内壁相适配。

13、进一步，所述螺杆采用内六角螺杆，所述螺杆的螺杆头部与第二安装孔的内壁相适配。

14、与现有技术相比，本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵，具备以下有益效果：

15、1、该装置通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作，且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，并在冷却板内通过导流孔输送冷却液，从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔，提高散热效果，且通过第二螺孔和第一安装孔等结构，便于调整进水管和出水管的角度位置，便于实际使用。

16、2、该装置通过辅助组件使排水管在与用水位置是相反位置时，通过导水管进行排水，且通过导水管呈u形设计，保证水流在导水管与排水管的连接处流动的流畅性，并便于调整与排水管反向导流的方向，通过调整导水管的方向与排水管相反的排水角度，便于实际使用。

17、3、该装置通过安装组件便于调整磁悬浮分子泵主体在底座顶部的角度位置，从而便于根据实际使用情况调整磁悬浮分子泵主体的安装位置，便于实际使用，且可调整排水管的角度，从而适用于磁悬浮分子泵主体的不同排水方向。

技术特征：

1.一种新型磁悬浮复合分子泵，包括磁悬浮分子泵主体(1)和底座(5)，其特征在于：所述底座(5)设置在所述磁悬浮分子泵主体(1)的底部，底座(5)的底部设置有安装组件(6)，磁悬浮分子泵主体(1)的正面设有排水管(4)，排水管(4)的排水端设置有辅助组件(3)，磁悬浮分子泵主体(1)的外壁设置有冷却组件(2)；

2.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述导流孔(2012)呈螺旋形设计，所述进水管(207)和出水管(206)均固定设在第二冷却板(208)的凸面处，且进水管(207)和排水管(4)均延伸至导流孔(2012)内。

3.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述第一冷却板(202)和第二冷却板(208)均呈弧形设计，且第一冷却板(202)和第二冷却板(208)均位于磁悬浮分子泵主体(1)的磁悬浮电机总成的底座(5)的外壁，第一冷却板(202)和第二冷却板(208)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述一固定板和第二固定板(2013)均设有两个，两个第一固定板(204)分别固定设在第一冷却板(202)的两侧，两个第二固定板(2013)分别固定设在第二冷却板(208)的两侧，第一螺孔(205)矩形阵列开设在第一固定板(204)的一侧，且第一螺孔(205)贯穿至第二固定板(2013)远离第一固定板(204)的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述连接件(203)和第一安装孔(2010)均设有两个，两个连接件(203)分别固定设在位于磁悬浮分子泵一侧的第一固定板(204)和第二固定板(2013)的底部，两个第一安装孔(2010)分别开设在两个连接件(203)的顶部，所述第二螺孔(201)呈环形阵列开设在磁悬浮分子泵的侧壁，第二螺孔(201)与第一安装孔(2010)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述辅助组件(3)包括导水管(301)、第一限位圈(302)、第二限位圈(307)、固定圈(304)、固定槽(306)、密封圈(305)和密封槽(303)，第一限位圈(302)的内壁固定设在排水管(4)的外壁，第二限位圈(307)的内壁固定设在导水管(301)的外壁，固定圈(304)固定设在第一限位圈(302)靠近第二限位圈(307)的一侧，固定槽(306)开设在第二限位圈(307)靠近第一限位圈(302)的一侧，固定圈(304)的侧壁与固定槽(306)的内壁相适配。

7.根据权利要求6所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述密封槽(303)呈矩形阵列开设在固定圈(304)的外壁，所述密封圈(305)呈矩形阵列分别固定套设在密封槽(303)内。

8.根据权利要求6所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述第一限位圈(302)和第二限位圈(307)相适配，且第一限位圈(302)和第二限位圈(307)通过螺栓固定连接，所述导水管(301)呈u形设计。

9.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述安装组件(6)包括第三螺孔(601)、第二安装孔(603)和螺杆(602)，第三螺孔(601)开设在底座(5)的底部，且第三螺孔(601)延伸至磁悬浮分子泵主体(1)内，第二安装孔(603)开设在底座(5)的底部，且第二安装孔(603)位于第三螺孔(601)的外侧，螺杆(602)的侧壁与第三螺孔(601)的内壁相适配。

10.根据权利要求9所述的一种新型磁悬浮复合分子泵，其特征在于：所述螺杆(602)采用内六角螺杆(602)，所述螺杆(602)的螺杆(602)头部与第二安装孔(603)的内壁相适配。

技术总结
本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备技术领域，且公开了一种新型磁悬浮复合分子泵，包括磁悬浮分子泵主体和底座，所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部，磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件，该装置通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作，且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁，并在冷却板内通过导流孔输送冷却液，从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温，且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔，提高散热效果，且通过第二螺孔和第一安装孔等结构，便于调整进水管和出水管的角度位置，便于实际使用。

技术研发人员：董欣,马艳武,杨铭,刘静静
受保护的技术使用者：合肥昱驰真空技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14