一种分子泵转子内部压力平衡机构的制作方法

本发明涉及分子泵，具体为一种分子泵转子内部压力平衡机构。

背景技术：

1、分子泵是一种常用的真空获得设备，其内部成型有腔室，在腔室中安装有高转速马达，工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩，并将压缩的气体获得定向速度至排气口排出，其中分子泵的转子是将气体分子压缩的重要部件。

2、目前，现有的分子泵的转子中部开设有空腔与加工件进行连通，其作用是使得转子的内部与转子的外部压力处于平衡状态，同时将加工件在加工时出于真空状态，一旦分子泵的转子的内部压力小于转子的外部压力时，分子泵的转子在压力作用下在转动的过程中会存在抖动的现象，同时造成转子与转轴之间的碰撞磨损，减小分子泵中转子的使用寿命，但是，由于分子泵的转子空腔连接工件的空腔，使得后续分子泵在工作过程中，转子空腔中的微粒可能会在空气流动下回流至工件的空腔中，影响工件加工的质量，鉴于此，我们提出一种分子泵转子内部压力平衡机构。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种分子泵转子内部压力平衡机构，能够解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提出的分子泵转子内部压力平衡机构，包括泵壳体，所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有输气装置，所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件，所述输气装置的内部设置有抬升装置，所述防护通气组件包括：

3、防护盖，所述防护盖设置在输气装置的顶部；

4、环形防尘网，所述环形防尘网固定连接在防护盖的下侧；

5、及限位环，所述限位环固定连接在环形防尘网远离防护盖的一侧。

6、优选的，所述输气装置包括转轴，所述转轴固定连接在电机的输出轴上，所述转轴的外壁上设置有密封圈，所述转轴远离电机的输出轴一端可拆卸连接有转子，所述转子的外壁上固定连接有动叶片，通过电机的输出轴转动，带动转轴进行转动，使转子带动动叶片进行转动，实现空气的压缩排出，同时通过密封圈的使用，防止空气中的杂质通过转轴进入到电机中。

7、优选的，所述转轴远离防护盖的一端开设有安装孔，所述安装孔的直径与转轴的直径相匹配，通过转轴与安装孔的使用，能够实现转轴的安装。

8、优选的，所述转子的内壁中开设有内槽，所述限位环滑动连接在内槽中，所述内槽壁上转动连接有斜杆，所述斜杆远离内槽壁的一端固定连接有弹性球，通过斜杆与弹性球的使用，使斜杆带动弹性球与内槽壁敲击时，达到转子的内壁进行机械震动的效果。

9、优选的，所述斜杆与内槽壁通过支撑弹簧弹性连接，所述转子的外壁上开设有通口，通过支撑弹簧的使用，能够对斜杆进行支撑，通过通口的使用，能够排出附着在环形防尘网上的微粒杂质。

10、优选的，所述抬升装置包括定杆，所述定杆固定连接在转子的内壁上，所述定杆的外壁上固定连接有固定套，所述固定套的内壁上滑动连接有滑环，所述固定套的内壁上滑动连接有滚球，通过转子带动定杆进行转动，在离心力的作用下，能够使滚球挤压滑环。

11、优选的，所述滑环远离滚球的一侧固定连接有横杆，所述横杆远离滑环的一端铰接有铰接杆，所述铰接杆远离横杆的一端铰接有顶杆，且顶杆的顶端固定连接在防护盖的下侧外壁上，通过横杆向顶杆的方向移动，能够使顶杆带动防护盖上升，使转子外部的空气能够与转子内部的空气进行流通，同时防止空气中的微粒杂质进入到转子的内腔中。

12、优选的，所述顶杆的下端固定连接有限位滑块，所述限位滑块滑动连接在限位滑槽中，所述限位滑槽开设在转子的内壁上。

13、优选的，所述泵壳体的内壁上固定连接有定子，所述泵壳体的外壁上连通有出气口。

14、有益效果

15、本发明提供了一种分子泵转子内部压力平衡机构。具备以下有益效果：

16、(1)、该分子泵转子内部压力平衡机构通过抬升装置与防护通气组件的使用，使电机的输出轴在带动转轴进行转动时，能够带动转子进行转动，进而使定杆进行转动，在离心力的作用下，能够使滚球挤压滑环，带动横杆向顶杆的方向移动，能够使顶杆带动防护盖上升，使转子外部的空气能够与转子内部的空气进行流通，同时防止空气中的微粒杂质进入到转子的内腔中，使分子泵能够将泵壳体中空气的微粒杂质排出，不会影响工作加工的质量。

17、(2)、该分子泵转子内部压力平衡机构通过抬升装置与防护通气组件的使用，使转子在不工作时，转子逐渐停止，这时在防护盖的重力作用下，使顶杆带动限位滑块向下滑动，在铰接杆的作用下，使横杆带动滑环进行复位，进而使环形防尘网重新收缩，使空气中的杂质不会附着在环形防尘网上，并且环形防尘网上的微粒杂质能够被刮至通口中排出。

18、(3)、该分子泵转子内部压力平衡机构通过斜杆与弹性球的使用，使限位环上升带动斜杆转动拉升支撑弹簧，在限位环下降滑落时，在支撑弹簧的复位作用下，使弹性球与转子的内壁进行敲击，使转子的内壁进行机械震动，提高通口中微粒杂质排出的效果。

技术特征：

1.一种分子泵转子内部压力平衡机构，包括泵壳体(1)，其特征在于：所述泵壳体(1)的内部可拆卸连接有电机(2)，所述电机(2)的输出轴上固定连接有输气装置(3)，所述输气装置(3)的顶部固定连接有防护通气组件(4)，所述输气装置(3)的内部设置有抬升装置(5)，所述防护通气组件(4)包括：

2.根据权利要求1所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述输气装置(3)包括转轴(31)，所述转轴(31)固定连接在电机(2)的输出轴上，所述转轴(31)的外壁上设置有密封圈(32)，所述转轴(31)远离电机(2)的输出轴一端可拆卸连接有转子(33)，所述转子(33)的外壁上固定连接有动叶片(34)。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述转轴(31)远离防护盖(41)的一端开设有安装孔(331)，所述安装孔(331)的直径与转轴(31)的直径相匹配。

4.根据权利要求2所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述转子(33)的内壁中开设有内槽(332)，所述限位环(43)滑动连接在内槽(332)中，所述内槽(332)壁上转动连接有斜杆(333)，所述斜杆(333)远离内槽(332)壁的一端固定连接有弹性球(334)。

5.根据权利要求4所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述斜杆(333)与内槽(332)壁通过支撑弹簧弹性连接，所述转子(33)的外壁上开设有通口(335)。

6.根据权利要求2所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述抬升装置(5)包括定杆(51)，所述定杆(51)固定连接在转子(33)的内壁上，所述定杆(51)的外壁上固定连接有固定套(52)，所述固定套(52)的内壁上滑动连接有滑环(53)，所述固定套(52)的内壁上滑动连接有滚球(54)。

7.根据权利要求6所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述滑环(53)远离滚球(54)的一侧固定连接有横杆(55)，所述横杆(55)远离滑环(53)的一端铰接有铰接杆(56)，所述铰接杆(56)远离横杆(55)的一端铰接有顶杆(57)，且顶杆(57)的顶端固定连接在防护盖(41)的下侧外壁上。

8.根据权利要求7所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述顶杆(57)的下端固定连接有限位滑块(58)，所述限位滑块(58)滑动连接在限位滑槽(59)中，所述限位滑槽(59)开设在转子(33)的内壁上。

9.根据权利要求1所述的一种分子泵转子内部压力平衡机构，其特征在于：所述泵壳体(1)的内壁上固定连接有定子(101)，所述泵壳体(1)的外壁上连通有出气口(102)。

技术总结
本发明属于分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵转子内部压力平衡机构，包括泵壳体，所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有输气装置，所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件，所述输气装置的内部设置有抬升装置。该分子泵转子内部压力平衡机构通过抬升装置与防护通气组件的使用，使电机的输出轴在带动转轴进行转动时，能够带动转子进行转动，进而使定杆进行转动，在离心力的作用下，能够使滚球挤压滑环，带动横杆向顶杆的方向移动，能够使顶杆带动防护盖上升，使转子外部的空气能够与转子内部的空气进行流通，同时防止空气中的微粒杂质进入到转子的内腔中，使分子泵能够将泵壳体中空气的微粒杂质排出。

技术研发人员：王占杰
受保护的技术使用者：上海富玖帕精密设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15