一种大抽速罗茨泵的密封结构的制作方法

本技术涉及大抽速罗茨泵，具体一种大抽速罗茨泵的密封结构。

背景技术：

1、罗茨泵是一种变容积真空泵，靠泵腔内一对8字形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气。通常压缩比很低，固需配前级泵使用。随着工业的发展需求，现在越来越多的罗茨真空泵随前级泵一起广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。根据不同行业生产工艺的要求，对罗茨真空泵的密封要求越来越高。

2、现有罗茨泵密封结构虽然能满足简单工况使用，但对于恶劣工况或要求较高的场合都会出现使用寿命短、密封不彻底、容易漏油等现象，从而失去了所谓干密封的原本意义。

技术实现思路

1、本实用新型旨在克服上述不足，提供一种结构简单、可靠、使用寿命长、密封性好的罗茨真空泵密封结构。

2、本实用新型提供的一种罗茨真空泵的密封结构由o型圈、毛毡、唇封、旋封、隔套和旋封外盘组成；

3、其中，密封结构安装在隔板的中心，通过隔板的螺纹孔与密封结构旋封固定。

4、其中，隔套隔开轴，然后毛毡套附在所述隔套上，o型圈套在旋封伸出来的台阶上，唇封安装在毛毡与旋封之间，旋封通过螺钉固定在隔板上，旋封外面装有旋封外盘。

5、在密封结构的安装固定过程中，o型圈通过挤压变型有效隔断真空泵油由此处泄漏至工作腔室，另一处轴隙处通过旋封与唇封有效隔断真空泵油泄露至工作腔室。因此，密封结构由o型圈、唇封、旋封一起对工作腔室起到良好的密封效果。

6、所述密封结构是用于密封工作腔室，防止真空泵油泄漏到工作腔室。其中，密封结构安装在隔板的中心；隔板为平板式结构，隔板的一侧连接真空泵腔(工作腔室)，另一侧连接油箱；隔板的中心设置有四个与密封结构相配套的螺纹孔；密封结构中的旋封通过这四个螺纹孔连接，这样就可将旋封固定在隔板上。密封结构采用旋封的方式固定在隔板上；密封结构与隔板整体形成一个隔断密封，一侧为真空泵腔，另一侧为油箱。

7、其中，所述隔套是用来隔开密封结构与轴的，一是用于轴向的结构定位，二是用于支撑毛毡与唇封，保护轴。

8、其中，所述毛毡可防止被抽介质中的粉尘等颗粒物进入密封结构，起到防尘的作用；从而提高密封结构的密封效果与使用寿命。

9、其中，所述o型圈为静密封，用于有效隔断o型圈两边介质，从而防止润滑油从此处进入工作腔，污染抽气介质。

10、其中，旋封与旋封外盘，通过旋封外盘与轴一起旋转，起到推赶介质的作用，再结合后面的唇封密封，从而有效阻止润滑油从此处进入工作腔。

11、其中，采用内六角螺钉，用于连接旋封与隔板的，安装在这两个件的四个螺纹孔处，o型圈套在旋封伸出来的那个台阶上，不与毛毡、唇封接触。

12、本实用新型提及的轴即为泵的轴，与泵的转子是一体的。整体的隔板+密封结构安装在轴的台阶处，挨着转子。齿轮和轴配套连接，齿轮用于两个转子的动力传输的，即一个转子轴通过电机带动，而另一个转子则通过这个齿轮副同步带动。在此处把齿轮与密封结构一起进行轴向定位。

13、本实用新型提及的轴承是用于支撑转子结构，通过轴承内圈与密封结构、齿轮一起由锁紧螺钉锁紧固定在轴上。锁紧螺钉是用来将轴上所有部件固定在轴上的，起轴向定位锁紧的作用。

技术特征：

1.一种大抽速罗茨泵的密封结构，其特征在于，由o型圈(3)、毛毡(4)、唇封(6)、旋封(7)、隔套(8)和旋封外盘(9)组成；所述密封结构安装在隔板(1)的中心，通过隔板的螺纹孔与密封结构旋封固定；

2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述螺钉为内六角螺钉。

3.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述螺纹孔与内六角螺钉相适配；所述内六角螺钉的数量为4个。

4.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述o型圈(3)套在所述旋封(7)伸出来的台阶上；所述o型圈(3)与毛毡(4)、唇封(6)都不接触。

技术总结
本技术涉及一种大抽速罗茨泵的密封结构，所述密封结构由由O型圈(3)、毛毡(4)、唇封(6)、旋封(7)、隔套(8)和旋封外盘(9)组成；所述密封结构安装在隔板(1)的中心，通过隔板的螺纹孔与密封结构旋封固定；其中，所述隔套(8)隔开轴，毛毡(4)套附在所述隔套(8)上，O型圈(3)套在旋封(7)伸出来的台阶上，唇封(6)安装在毛毡(4)与旋封(7)之间，旋封(7)通过螺钉固定在隔板(1)上；旋封(7)外面装有旋封外盘(9)。本技术的密封结构除了密封效果好外，整体结构简单，可靠的。在密封结构安装时，与外部部件可进一步形成良好的定位和密封。

技术研发人员：刘三华,王国梁
受保护的技术使用者：北京北仪优成真空技术有限公司
技术研发日：20230107
技术公布日：2024/1/12