一种多级干式真空泵的外壳定位结构的制作方法

本技术涉及干式真空泵，特别涉及一种多级干式真空泵的外壳定位结构。

背景技术：

1、干式真空泵广泛应用于半导体、光伏、航空航天、面板制造、各种科研仪器等设备上。主流的干式真空泵有螺杆真空泵、多级爪式真空泵、多级爪式-罗茨复合真空泵、多级罗茨真空泵、螺杆罗茨复合真空泵等。其中螺杆真空泵结构简单，但螺杆转子形状复杂，它的制造需要高精密度的设备，且加工效率比较低。多级爪式真空泵、多级爪式-罗茨复合真空泵、多级罗茨真空泵(以下统称为多级干式真空泵)的壳体和转子形状相对简单，精密度稍好点的立式加工中心就可以加工外壳和转子部件，但由于外壳是逐级叠装在一起的，累计误差会导致设备稳定性差，要使累计误差在设计值范围内，对加工设备的精度要求会提高非常多，从而大大增加生产成本。

2、现有的外壳安装定位使用较短的定位销，安装在需要精密安装的面加工的定位销孔内，与另一个配对零件平面上的销孔配合。一般一个面需要2个定位销用于定位。这种方式下，对于多级干式真空泵，逐级叠加安装的外壳除两端外，中间部分外壳都需要在两个面上打定位销孔用于与相邻的外壳定位安装。而两侧的定位销孔由于需要翻面加工，存在二次定位误差和机床本身误差两种误差，这使得一方面加工难度提高，另一方面增加了累计误差。

3、以目前市场上的五级干式罗茨真空泵为例说明，如图3所示，对于此种干泵，需要在安装时用短定位销16定位的外壳有：现有低压端板21、现有一级壳体22、现有二级壳体23、现有三级壳体24、现有四级壳体25、现有五级壳体26、现有高压端板27、现有电机端盖28。其中低压端板只需一面定位，现有一级壳体22、现有二级壳体23、现有三级壳体24、现有四级壳体25、现有五级壳体26、现有高压端板27及现有电机端盖28都需要利用短定位销29两面定位，两侧都需要加工第二定位销孔30。下面分析累计误差：不考虑销孔本身尺寸误差及其他尺寸误差情况下，假设每个零件每侧销孔的位置度误差为0.01mm且两侧为不同方向，即两侧销孔位置度误差为0.02mm(低压端板和高压端板基准为轴承孔，一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体、五级壳体基准为工作腔，电机端盖基准为电机定位法兰)。以电机端盖为基准零件，则低压端板轴承孔相对于电机端盖电机定位法兰的误差为0.14mm，这个误差足以影响机器的正常运行。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种多级干式真空泵的外壳定位结构，可以减少误差的产生，保证机器正常运行。

2、为此，本实用新型的技术方案是：一种多级干式真空泵的外壳定位结构，包括依次设置的低压端板、多级中间壳体、高压端板和电机端盖；所述低压端板、中间壳体、高压端板和电机端盖上均设有直通的定位销孔，长定位销依次贯穿所有定位销孔。

3、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述低压端板、中间壳体、高压端板和电机端盖上均设有两个直通的定位销孔，两个定位销孔上下分布，形成两排定位通道，每个定位通道内贯穿一长定位销。每个壳体都被上下两个长定位销定位，方便后续安装。

4、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述长定位销的长径比为8～30。长定位销直径比普通定位销大，使得长定位销不易变形。

5、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述长定位销由淬火钢或硬质合金制成。长定位销材质使用钢材时，需进行热处理，使之具有较高的硬度、刚性，具有抗变形能力；或者长定位销可以直接由硬质合金制成，具有较高的硬度和刚性。

6、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体和三级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。三级干式罗茨真空泵上可以采用这种定位结构。

7、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体、三级壳体和四级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。四级干式罗茨真空泵上可以采用这种定位结构。

8、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体和五级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体、五级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。五级干式罗茨真空泵上可以采用这种定位结构。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：以长定位销作为定位基准安装，所有的外壳零件相当于安装在两根长定位销上；低压端板、多级中间壳体、高压端板及电机端盖上只有直通的两个定位销孔，不存在翻面加工误差，大大降低了外壳零件的整体误差，提高干式真空泵的安装精度，保证机器正常运行。

技术特征：

1.一种多级干式真空泵的外壳定位结构，包括依次设置的低压端板、多级中间壳体、高压端板和电机端盖；其特征在于：所述低压端板、中间壳体、高压端板和电机端盖上均设有直通的定位销孔，长定位销依次贯穿所有定位销孔。

2.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述低压端板、中间壳体、高压端板和电机端盖上均设有两个直通的定位销孔，两个定位销孔上下分布，形成两排定位通道，每个定位通道内贯穿一长定位销。

3.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述长定位销的长径比为8～30。

4.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述长定位销由淬火钢或硬质合金制成。

5.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体和三级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。

6.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体、三级壳体和四级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。

7.如权利要求1所述的一种多级干式真空泵的外壳定位结构，其特征在于：所述中间壳体包括一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体和五级壳体，长定位销依次贯穿低压端板、一级壳体、二级壳体、三级壳体、四级壳体、五级壳体、高压端板和电机端盖上的定位销孔。

技术总结
本技术公开了一种多级干式真空泵的外壳定位结构，包括依次设置的低压端板、多级中间壳体、高压端板和电机端盖；所述低压端板、中间壳体、高压端板和电机端盖上均设有直通的定位销孔，长定位销依次贯穿所有定位销孔。本技术以长定位销作为定位基准安装，所有的外壳零件相当于安装在两根长定位销上，不存在翻面加工误差，大大降低了外壳零件的整体误差，提高干式真空泵的安装精度，保证机器正常运行。

技术研发人员：宋月坤
受保护的技术使用者：图库真空技术（嘉兴）有限公司
技术研发日：20230220
技术公布日：2024/1/12