一种提高制程物容纳能力的真空泵组件的制作方法

本技术涉及真空泵，尤其涉及一种提高制程物容纳能力的真空泵组件。

背景技术：

1、真空泵的用途是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。主要应用在制药和化工、真空镀膜、真空干燥、表面处理、真空冶炼、陶瓷制造、食品包装、挤奶、饮料等行业。

2、真空泵的转子两轴线互相平行，转子由叶轮与轴组合而成，叶轮之间、叶轮与机壳及墙板之间具有微小间隙，以避免相互接触。两转子由电动机通过一对同步齿轮驱动，做方向相反的等速旋转。借助于两叶轮的相互啮合，泵进、排气口不直接相通，叶轮与机壳及墙板围成封闭的基元容积，随着叶轮的持续转动，基元容积一直处于吸气—压缩—输送—排气的循环状态，不断将腔内空气、粉尘排出到泵外、以达到工艺要求。

3、市场上干式真空泵种类有很多。使用工艺不同，需要泵的类型也不同。例如现有技术cn110741165a公开了一种双轴真空泵，包括：两个协作的转子，其被构造成绕平行的旋转轴线沿相反方向旋转；定子，其包括定子孔，所述转子被安装在该定子孔中以进行旋转。定子孔包括在两条旋转轴线之间的中心部分以及在两条轴线外部的外部部分，所述转子被构造成具有与定子孔协作的尺寸，使得当在外部部分的至少一部分中旋转时，每个转子的远离另一转子的外边缘与定子孔密封。流体入口被设置在定子孔中，该流体入口的至少一部分在所述定子孔的位于旋转轴线之间的中心部分中。流体出口被设置在定子孔的相对表面中，该流体出口在定子孔的中心部分中。流体入口和流体出口布置成使得在所述转子旋转时，所述转子各自在流体入口和流体出口之间移动泵送室；其中，流体入口的至少一部分布置成延伸超过定子孔的中心部分。但是现有技术的真空泵在高制程物的应用环境下，其泵内制程物容纳能力明显不足，工作时，制程物粉尘会随着排气排出泵外，但是当泵停止运转时，制程物粉尘会附着在转子、壳体表面，由于转子、壳体间隙很小(最小为0.02mm），附着的制程物会占用转子、壳体之间间隙空间导致干式真空泵磨损，更严重会导致“卡死”，降低了真空泵使用寿命，极大的提高泵的运行及维护成本。

4、因此，如何克服上述现有技术方案的不足, 提高真空泵的制程物容纳能力，避免制程物粉尘附着造成的泵卡死、磨损，成为本技术领域亟待解决的课题。

技术实现思路

1、为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种提高制程物容纳能力的真空泵组件。本实用新型具体采用如下技术方案。

2、一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，所述真空泵组件包括：前轴承板、上壳体、下壳体、长转子、短转子、后轴承板；

3、所述长转子、短转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述长转子、短转子的旋转轴的轴线互相平行设置；

4、所述长转子、短转子各自分别包括多级转子，所述多级转子在所述长转子、短转子各自的旋转轴的轴线方向上间隔排列；

5、所述长转子、短转子的多级转子对应地彼此啮合，并且在转子相互啮合的非关键面设置有贮尘槽。

6、进一步，所述真空泵组件包括：

7、所述长转子、短转子的多级转子中的每一级垂直于旋转轴线的剖面呈y字三叶形轮廓，所述长转子、短转子旋转时，每级一个转子的远离该级另一转子的叶顶端与所述上壳体、下壳体的内侧壁形成密封；

8、所述转子相互啮合的非关键面，具体是指所述多级转子中的每一级不与所述上壳体、下壳体的内侧壁形成密封的部分以及转子之间的非叶峰、叶谷相互啮合的部位。

9、进一步，所述长转子、短转子的多级转子中的每级转子，延所述旋转轴线方向的轴向，从进气到排气方向，长度逐级递减。

10、进一步，所述长转子上设置的所述贮尘槽数量为多个，所述贮尘槽设置在每个转子的啮合面上，并且与每个转子朝向进气方向的端面连通，与每个转子朝向排气方向的端面不连通。

11、进一步，所述短转子上设置的所述贮尘槽数量为多个，所述贮尘槽设置在每个转子的啮合面上，并且与每个转子朝向进气方向的端面不连通，与每个转子朝向排气方向的端面连通。

12、进一步，所述长转子、短转子的多级转子彼此啮合时，所述长转子上设置的所述贮尘槽与所述短转子上设置的所述贮尘槽不重叠。

13、进一步，所述上壳体、下壳体分别包括与多级转子对应的多级工作腔，所述多级工作腔在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列。

14、进一步，所述上壳体与所述前轴承板、后轴承板相对的两端，分别设置有上壳体侧面贮尘槽。

15、进一步，所述下壳体的上表面设置多个级板贮尘槽，所述级板贮尘槽具体设置在多级工作腔之间的隔板上表面。

16、进一步，所述下壳体与所述前轴承板、后轴承板相对的两端，分别设置有下壳体侧面贮尘槽。

17、本实用新型在转子以及壳体非关键部位增加贮尘槽，提高了制程物的容纳能力，有效的避免因制程物附着造成的泵卡死、磨损现象。

技术特征：

1.一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述真空泵组件包括：前轴承板（1）、上壳体（2）、下壳体（3）、长转子（4）、短转子（5）、后轴承板（6）；

2.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述真空泵组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述长转子（4）、短转子（5）的多级转子中的每级转子，延所述旋转轴线方向的轴向，从进气到排气方向，长度逐级递减。

4.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述长转子（4）上设置的所述贮尘槽数量为多个，所述贮尘槽设置在每个转子的啮合面上，并且与每个转子朝向进气方向的端面连通，与每个转子朝向排气方向的端面不连通。

5.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述短转子（5）上设置的所述贮尘槽数量为多个，所述贮尘槽设置在每个转子的啮合面上，并且与每个转子朝向进气方向的端面不连通，与每个转子朝向排气方向的端面连通。

6.根据权利要求4或5所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述长转子（4）、短转子（5）的多级转子彼此啮合时，所述长转子（4）上设置的所述贮尘槽与所述短转子（5）上设置的所述贮尘槽不重叠。

7.根据权利要求1所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述上壳体（2）、下壳体（3）分别包括与多级转子对应的多级工作腔，所述多级工作腔在所述旋转轴的轴线方向上间隔排列。

8.根据权利要求7所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述上壳体（2）与所述前轴承板（1）、后轴承板（6）相对的两端，分别设置有上壳体侧面贮尘槽。

9.根据权利要求7所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述下壳体（3）的上表面设置多个级板贮尘槽，所述级板贮尘槽具体设置在多级工作腔之间的隔板上表面。

10.根据权利要求8所述的一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，其特征在于，所述下壳体（3）与所述前轴承板（1）、后轴承板（6）相对的两端，分别设置有下壳体侧面贮尘槽。

技术总结
本技术涉及一种提高制程物容纳能力的真空泵组件，包括前轴承板、上壳体、下壳体、长转子、短转子、后轴承板；所述长转子、短转子分别绕各自的旋转轴沿相反方向旋转，所述长转子、短转子的旋转轴的轴线互相平行设置；所述长转子、短转子各自分别包括多级转子，所述多级转子在所述长转子、短转子各自的旋转轴的轴线方向上间隔排列；所述长转子、短转子的多级转子对应地彼此啮合，并且在转子相互啮合的非关键面设置有贮尘槽。本技术提高了制程物的容纳能力，有效的避免因制程物附着造成的泵卡死、磨损现象。

技术研发人员：魏民,雷晓宏,雷晓波,彭冲
受保护的技术使用者：北京通嘉宏瑞科技有限公司
技术研发日：20230323
技术公布日：2024/1/15