一种分子泵的制作方法

本技术涉及质谱仪设备领域，更具体地，涉及一种分子泵。

背景技术：

1、质谱仪器是一种精密的检测设备，在营造质谱仪的样品检测环境中，真空环境是常见的检测需求。在质谱仪中，通过分子泵进行真空处理的使用非常广泛。随着质谱仪的检测精度需求的提高，对营造高真空环境的部件的要求也越来越严格。分子泵作为必配功能设备，出于对自身的精密需求，具有严格的使用和维护要求。其中，分子泵的运行温度保持和散热要求是分子泵必需控制的重要参数之一。

2、为满足质谱仪的使用，分子泵需要在高速长时间的不间断运转下维持温度的稳定。因而，分子泵需要配备良好的散热设计。目前，常见的分子泵散热设计一般是采用大排量风扇进行风冷散热；受限于质谱仪内部的空间，这种外置风扇缺乏特定的散热通道设计，导致风冷散热的效率低，以至于风扇所需的功率和占用体积大。而且风扇通常需要与分子泵并排式安装，造成空间利用率较低，局限了分子泵在整机中的布放位置。虽然现有利用水冷进行散热的设计，但依然无法改变水冷部件凸出，水冷部件固定在分子泵上时体积大，占用空间多的问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种分子泵，用于解决现有分子泵的散热结构形状凸出，占用体积大，局限了分子泵在整机中布放位置的问题。

2、本实用新型采取的技术方案是，一种分子泵，包括：泵体、泵芯和控制盒，所述泵体的底部设有内凹结构，所述内凹结构上设有与所述内凹结构形状匹配的嵌入式的液冷装置，所述液冷装置的外露表面与所述泵体的表面匹配；所述液冷装置内设有液冷通道，所述液冷装置设有连通所述液冷通道的进液口和出液口。

3、所述泵体底部的截面为圆形，所述内凹结构在所述泵体的底部和侧面形成连通的安装开口，所述内凹结构避让所述泵体底部的中间开口。

4、所述内凹结构的水平截面为扇环，所述扇环的圆心角为45°至120°。

5、所述液冷装置包括中空的散热主体和底板，所述液冷通道设置在所述散热主体内；所述散热主体的顶面、内侧面和两侧面抵接所述内凹结构的内壁，所述散热主体的外侧面与所述泵体下部的侧面共面，所述进液口和出液口设置在所述散热主体的外侧面上。

6、所述液冷通道为所述散热主体底面上凹形成，且在所述散热主体的底面上形成与液冷通道连通的敞开口；所述散热主体与所述底板配合，所述底板封闭所述敞开口。

7、所述液冷装置采用导热金属材料制成，所述底板的底面与所述泵体的底面共面，所述底板的外侧面与所述泵体的下部的侧面和所述散热主体的外侧面共面。

8、所述液冷装置设有若干连接件，所述连接件穿过所述底板与所述散热主体相连，所述连接件围绕所述液冷通道而设。

9、所述连接件包括密封连接件和固定连接件；所述液冷通道包括中间段，以及对称设置在中间段两侧且一端与中间段连通的两侧段；所述中间段的内侧内凹，在所述散热主体上留出与所述密封连接件匹配的第一类连接位；所述中间段和所述两侧段的连接处的外侧内凹，在所述散热主体上留出与所述固定连接件匹配的第二类连接位。

10、所述底板上设有密封孔，所述密封孔匹配所述第一类连接位且一一对应；所述底板的底面上凹形成贯穿所述底板的固定孔，所述固定孔匹配所述第二类连接位且一一对应。

11、所述连接件与所述液冷通道之间设有环形的密封槽，所述密封槽内设有密封件。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：在泵体上设置内凹结构配合嵌入式的液冷装置有助于使分子泵的冷却更快速、散热更高效；而且结构简单、适合小型分子泵的应用，维修方便；液冷装置与分子泵的泵体嵌入为一体，使得分子泵整体的空间利用率高，结构布局更合理、更紧凑。

技术特征：

1.一种分子泵，包括：泵体、泵芯和控制盒，其特征在于，所述泵体的底部设有内凹结构，所述内凹结构上设有与所述内凹结构形状匹配的嵌入式的液冷装置，所述液冷装置的外露表面与所述泵体的表面匹配；所述液冷装置内设有液冷通道，所述液冷装置设有连通所述液冷通道的进液口和出液口。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述泵体底部的截面为圆形，所述内凹结构在所述泵体的底部和侧面形成连通的安装开口，所述内凹结构避让所述泵体底部的中间开口。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述内凹结构的水平截面为扇环，所述扇环的圆心角为45°至120°。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种分子泵，其特征在于，所述液冷装置包括中空的散热主体和底板，所述液冷通道设置在所述散热主体内；所述散热主体的顶面、内侧面和两侧面抵接所述内凹结构的内壁，所述散热主体的外侧面与所述泵体下部的侧面共面，所述进液口和出液口设置在所述散热主体的外侧面上。

5.根据权利要求4所述的一种分子泵，其特征在于，所述液冷通道为所述散热主体底面上凹形成，且在所述散热主体的底面上形成与液冷通道连通的敞开口；所述散热主体与所述底板配合，所述底板封闭所述敞开口。

6.根据权利要求4所述的一种分子泵，其特征在于，所述液冷装置采用导热金属材料制成，所述底板的底面与所述泵体的底面共面，所述底板的外侧面与所述泵体的下部的侧面和所述散热主体的外侧面共面。

7.根据权利要求4所述的一种分子泵，其特征在于，所述液冷装置设有若干连接件，所述连接件穿过所述底板与所述散热主体相连，所述连接件围绕所述液冷通道而设。

8.根据权利要求7所述的一种分子泵，其特征在于，所述连接件包括密封连接件和固定连接件；所述液冷通道包括中间段，以及对称设置在中间段两侧且一端与中间段连通的两侧段；所述中间段的内侧内凹，在所述散热主体上留出与所述密封连接件匹配的第一类连接位；所述中间段和所述两侧段的连接处的外侧内凹，在所述散热主体上留出与所述固定连接件匹配的第二类连接位。

9.根据权利要求8所述的一种分子泵，其特征在于，所述底板上设有密封孔，所述密封孔匹配所述第一类连接位且一一对应；所述底板的底面上凹形成贯穿所述底板的固定孔，所述固定孔匹配所述第二类连接位且一一对应。

10.根据权利要求7所述的一种分子泵，其特征在于，所述连接件与所述液冷通道之间设有环形的密封槽，所述密封槽内设有密封件。

技术总结
本技术涉及质谱仪设备领域，具体是一种分子泵包括：泵体、泵芯和控制盒，所述泵体的底部设有内凹结构，所述内凹结构上设有与所述内凹结构形状匹配的嵌入式的液冷装置，所述液冷装置的外露表面与所述泵体的表面匹配；所述液冷装置内设有液冷通道，所述液冷装置设有连通所述液冷通道的进液口和出液口。在泵体上设置内凹结构配合嵌入式的液冷装置有助于使分子泵的冷却更快速、散热更高效；而且结构简单、适合小型分子泵的应用，维修方便；液冷装置与分子泵的泵体嵌入为一体，使得分子泵整体的空间利用率高，结构布局更合理、更紧凑。

技术研发人员：张志浩,杨俊林,张宏君,许春华,谭国斌
受保护的技术使用者：广州禾信仪器股份有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/13