一种双级真空泵、真空箱及激光加工设备的制作方法

本技术涉及真空加工，具体而言，涉及一种双级真空泵、真空箱及激光加工设备。

背景技术：

1、现有的双级真空控制装置一般采用两种不同型号的泵体进行真空控制，因泵体之间所能承受的功率不同，且两个泵体处于分离状态，泵体与泵体之间需要管路连接，导致装置占用空间大，功率达到极限后泵体容易损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种双级真空泵、真空箱及激光加工设备，其结构合理，占用空间小，能够实现双级真空一体化控制，保证真空度的稳定。

2、一种双级真空泵，包括：泵体，所述泵体内设有相互连通的第一泵腔和第二泵腔，所述泵体设有与第一泵腔连通的进气口、以及分别与所述第一泵腔和第二泵腔连通的第一出气口和第二出气口；以及两个泵组，所述泵组包括驱动件和真空转子，两个所述泵组的真空转子分别可转动地设于所述第一泵腔和第二泵腔，所述驱动件的输出端与所述真空转子连接。

3、在上述技术方案中，泵体设有相互连通的第一泵腔和第二泵腔，两个泵腔对应设有两个泵组，工作时，可先通过单一泵组将目标件例如真空箱抽至低真空状态，再同时启用两个驱动件驱使两个真空转子同时工作，将目标件抽至高真空状态，从而平稳地使目标件达到所需真空状态，实现双级真空的稳定控制。泵体采用一体式结构，无需通过额外的管道进行连接，有效节省空间，降低安装难度。

4、进一步的，所述真空转子包括传动组件和导向组件，所述传动组件与所述驱动件的输出端连接，所述导向组件设于所述传动组件的外周。

5、在上述技术方案中，驱动件能够与传动组件连接，并通过传动组件驱使导向组件转动，导向组件将泵腔分为两个腔体，随着导向组件的转动，两个腔体的大小交替改变，从而使泵腔与外界形成压强差实现吸气和排气的功能。

6、进一步的，所述导向组件包括第一活动件、第二活动件、以及若干导向柱，所述第一活动件和第二活动件相对设置，所述导向柱的两端分别与所述第一活动件和第二活动件滑动连接，所述第一活动件和第二活动件可沿所述导向柱相互靠近或远离。

7、在上述技术方案中，第一活动件和第二活动件通过导向柱连接，使得第一活动件和第二活动件可沿导向柱相互靠近或远离，当传动组件转动时，第一活动件和第二活动件与泵腔的内壁抵接且能够随转动角度的变化而伸缩，从而使气腔与外界形成压强差。

8、进一步的，所述传动组件包括连接件和若干弹性件，所述连接件设有用于连接所述驱动件的连接孔，所述连接孔径向的两侧分别设有若干安装孔，所述弹性件穿设于所述安装孔。

9、在上述技术方案中，弹性件能够对第一活动件和第二活动件形成一持续向外的弹力，使第一活动件和第二活动件保持贴紧泵腔的内壁，保证泵腔的密闭性。

10、进一步的，所述第一活动件和第二活动件朝向传动组件的一侧设有若干定位槽，所述弹性件远离所述连接件的一端插设于所述定位槽。

11、在上述技术方案中，定位槽能够保持弹性件位置的稳定，避免弹性件在转动过程中发生偏位。

12、进一步的，所述第一活动件和第二活动件背离所述传动组件的表面形成为弧面。

13、在上述技术方案中，第一活动件和第二活动件的表面形成为弧面，能够与泵腔的内壁形状相匹配，使第一活动件和第二活动件更加贴合内壁，提高抽气效果。

14、进一步的，所述第一出气口和第二出气口分别设有第一阀门和第二阀门。

15、在上述技术方案中，通过第一阀门和第二阀门能够分别控制第一出气口和第二出气口的开闭，以实现双级真空的控制，结构简单，易于实现。

16、进一步的，还包括泵盖，所述泵盖连接于所述泵体且遮挡所述第一泵腔和第二泵腔。

17、在上述技术方案中，泵盖能够遮挡第一泵腔和第二泵腔，使两者与外部隔离，保证抽真空的效果，且泵盖与泵体可拆卸连接，便于对泵腔及内部的真空转子进行维护和更换。

18、本方案还提供一种真空箱，包括上述的双级真空泵、连接管、以及箱体，所述双级真空泵通过所述连接管与所述箱体的内部连通。

19、在上述技术方案中，双级真空泵能够通过连接管对箱体进行抽真空，如前述，双级真空泵能够平稳地使真空腔达到所需的真空状态，实现双级真空的稳定控制。

20、本方案还提供一种激光加工设备，包括上述的真空箱、以及激光加工组件，所述激光加工组件设于所述箱体内。

21、在上述技术方案中，激光加工组件设置真空箱内，通过线路与外界相连，不仅减少了空间占用率，真空箱还可以在整个加工过程中提供恒定的真空度，避免激光加工组件在加工过程中出现泄气的情况。

22、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：泵体设有相互连通的第一泵腔和第二泵腔，并对应设置两个泵组，工作时，可先通过单一泵组将目标件例如真空箱抽至低真空状态，再同时启用两个驱动件驱使两个真空转子同时工作，将目标件抽至高真空状态，从而平稳地使目标件达到所需真空状态，实现双级真空的稳定控制。泵体采用一体式结构，无需通过额外的管道进行连接，有效节省空间，降低安装难度。

技术特征：

1.一种双级真空泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双级真空泵，其特征在于，所述真空转子（22）包括传动组件（221）和导向组件（224），所述传动组件（221）与所述驱动件（21）的输出端连接，所述导向组件（224）设于所述传动组件（221）的外周。

3.根据权利要求2所述的双级真空泵，其特征在于，所述导向组件（224）包括第一活动件（225）、第二活动件（226）、以及若干导向柱（227），所述第一活动件（225）和第二活动件（226）相对设置，所述导向柱（227）的两端分别与所述第一活动件（225）和第二活动件（226）滑动连接，所述第一活动件（225）和第二活动件（226）可沿所述导向柱（227）相互靠近或远离。

4.根据权利要求3所述的双级真空泵，其特征在于，所述传动组件（221）包括连接件（222）和若干弹性件（223），所述连接件（222）设有用于连接所述驱动件（21）的连接孔（2221），所述连接孔（2221）径向的两侧分别设有若干安装孔（2222），所述弹性件（223）穿设于所述安装孔（2222）。

5.根据权利要求4所述的双级真空泵，其特征在于，所述第一活动件（225）和第二活动件（226）朝向传动组件（221）的一侧设有若干定位槽（228），所述弹性件（223）远离所述连接件（222）的一端插设于所述定位槽（228）。

6.根据权利要求3所述的双级真空泵，其特征在于，所述第一活动件（225）和第二活动件（226）背离所述传动组件（221）的表面形成为弧面。

7.根据权利要求1所述的双级真空泵，其特征在于，所述第一出气口（14）和第二出气口（15）分别设有第一阀门（16）和第二阀门（17）。

8.根据权利要求1所述的双级真空泵，其特征在于，还包括泵盖（3），所述泵盖（3）连接于所述泵体（1）且遮挡所述第一泵腔（11）和第二泵腔（12）。

9.一种真空箱，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的双级真空泵（4）、连接管（5）、以及箱体（6），所述双级真空泵（4）通过所述连接管（5）与所述箱体（6）的内部连通。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的真空箱、以及激光加工组件（7），所述激光加工组件（7）设于所述箱体（6）内。

技术总结
本技术涉及一种双级真空泵、真空箱及激光加工设备，其中双级真空泵包括：泵体，所述泵体内设有相互连通的第一泵腔和第二泵腔，所述泵体设有与第一泵腔连通的进气口、以及分别与所述第一泵腔和第二泵腔连通的第一出气口和第二出气口；以及两个泵组，所述泵组包括驱动件和真空转子，两个所述泵组的真空转子分别可转动地设于所述第一泵腔和第二泵腔，所述驱动件的输出端与所述真空转子连接。本技术结构合理，占用空间小，能够实现双级真空一体化控制，保证真空度的稳定。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：广东舜元激光科技有限公司
技术研发日：20230509
技术公布日：2024/1/15