一种涡轮分子泵的制作方法

本申请涉及机械设备，尤其是涉及一种涡轮分子泵。

背景技术：

1、在集成电路芯片制造的生产设备中，蚀刻、离子植入、化学气相沉积等工艺中，会使用具有腐蚀性的特殊气体。在此类工艺中所使用的涡轮分子泵，必须具备较强的抗腐蚀能力。涡轮分子泵在常压和极限真空之间来回摆动时，内部空腔中的压力会发生变化，这会导致具有腐蚀性的特殊气体渗入到涡轮分子泵内的空腔中。有少量的气体停滞于此位置，若此气体有腐蚀性，势必造成内部线路和传感器等部件的腐蚀等技术问题。因此，必须提高此位置处的抗腐蚀能力。

技术实现思路

1、本申请提供一种涡轮分子泵，通过提供惰性气体主动保护的方式来避免空腔内部的线路和传感器等部件出现腐蚀，有助于得到更长的使用寿命。

2、本申请的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、本申请提供了一种涡轮分子泵，包括：

4、泵体；

5、连接通孔，设在泵体上靠近主轴尾端处并与泵体内的腔体连通；

6、底壳，设在泵体上，底壳上具有空腔和注入端，空腔与连接通孔连通，注入端与空腔连通；

7、电子调压杆，设在底壳上，电子调压杆的活塞伸入到空腔内；以及

8、压力传感器，设在底壳上，压力传感器的检测端伸入到空腔内；

9、其中，压力传感器的检测端与电子调压杆的控制端电连接。

10、在本申请的一种可能的实现方式中，连接通孔的数量为多个，多个连接通孔围绕主轴轴线均匀设置。

11、在本申请的一种可能的实现方式中，电子调压杆包括：

12、支架，设在底壳上；

13、活塞，一端伸入到底壳内；

14、驱动器，设在支架上并与活塞连接；以及

15、控制器，与驱动器和压力传感器电连接。

16、在本申请的一种可能的实现方式中，还包括与电子调压杆连接的报警器，报警器配置为电子调压杆达到设定行程后发出警报。

17、在本申请的一种可能的实现方式中，报警器包括声音报警器和/或灯光报警器。

18、在本申请的一种可能的实现方式中，报警器包括与电子调压杆电连接的通讯模块。

19、在本申请的一种可能的实现方式中，电子调压杆的设定行程小于电子调压杆的最大行程。

20、在本申请的一种可能的实现方式中，底壳，设在泵体的底部。

21、在本申请的一种可能的实现方式中，底壳，设在泵体的侧边。

22、本实用新型的有益效果在于：通过提供惰性气体主动保护的结构来避免空腔内部的线路和传感器等部件出现腐蚀，有助于得到更长的使用寿命。

技术特征：

1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，连接通孔(2)的数量为多个，多个连接通孔(2)围绕主轴轴线均匀设置。

3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，电子调压杆(4)包括：

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，还包括与电子调压杆(4)连接的报警器(6)，报警器(6)配置为电子调压杆(4)达到设定行程后发出警报。

5.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于，报警器(6)包括声音报警器(61)和/或灯光报警器(62)。

6.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于，报警器(6)包括与电子调压杆(4)电连接的通讯模块(63)。

7.根据权利要求5所述的涡轮分子泵，其特征在于，报警器(6)还包括与电子调压杆(4)电连接的通讯模块(63)。

8.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于，电子调压杆(4)的设定行程小于电子调压杆(4)的最大行程。

9.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，底壳(3)，设在泵体(1)的底部。

10.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，底壳(3)，设在泵体(1)的侧边。

技术总结
本申请涉及一种涡轮分子泵。该涡轮分子泵包括泵体、设在泵体上靠近主轴尾端处并与泵体内的腔体连通的连接通孔、设在泵体上的底壳、设在底壳上并与连接通孔连通的空腔、设在底壳上并与空腔连通的注入端、设在底壳上的电子调压杆以及设在底壳上的压力传感器，电子调压杆的活塞伸入到空腔内，压力传感器的检测端伸入到空腔内，压力传感器的检测端与电子调压杆的控制端电连接。本申请公开的涡轮分子泵，通过提供惰性气体主动保护的方式来避免空腔内部的线路和传感器等部件出现腐蚀，有助于得到更长的使用寿命。

技术研发人员：安辉,赖向荣,王海平
受保护的技术使用者：上海帕乇真空技术有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/15