一种分子泵出气端的安装结构的制作方法

本技术涉及分子泵领域，具体为一种分子泵出气端的安装结构。

背景技术：

1、分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。

2、部分分子泵都是安装在半导体制备设备下方的机柜中，在对其进行安装或维护时，维修人员需要呈蹲式或卧式才能便于安装，而且还要保障分子泵与管道之间的密封性能，目前针对分子泵上连接出气管的方式一般为法兰配合螺栓连接，虽能达到密封安装的效果，但一般螺栓较为拧紧，在安装与拆卸时需要依次拧紧或拆卸多个螺栓，费时费力，且还需要在法兰之间敷贴密封垫，容易造成工作人员肢体麻木和酸痛，降低了安装效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种分子泵出气端的安装结构，通过采用连接管的方式实现横向与轴向的双重密封，并使得结构的拆卸相较于螺栓固定的法兰盘更方便。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体，所述分子泵主体的侧壁上设置有出气管，所述出气管通过螺套与连接管的一端相连接；所述螺套与所述连接管侧壁螺纹连接；所述出气管的侧壁开设有密封槽，所述密封槽内对应设置有密封圈；所述连接管的一端上设置有环形挡板；所述出气管还通过固定组件与螺套连接，所述固定组件包括固定板，所述固定板呈u形设置，所述固定板的一端通过设置在螺套上的螺栓与螺套连接，所述固定板的另一端上设置有顶板，所述顶板与所述出气管的端面相抵。

3、优选地，所述连接管表面螺纹的底面与连接管的管体形成夹角。

4、优选地，所述出气管的侧壁上还开设有环形槽，所述顶板上设置有定位板，所述定位板与所述环形槽相互匹配。

5、优选地，所述螺套的侧壁开设有若干个圆孔，所述圆孔与所述螺栓15为螺纹连接。

6、优选地，所述螺套的端面开设有凹槽，所述固定板的一端位于所述凹槽内，所述螺栓均与所述固定板的一端为螺纹连接。

7、优选地，所述连接管的另一端转动连接有安装管，所述安装管呈z形结构。

8、进一步优选地，所述安装管的一端固定连接有密封块，所述连接管的另一端开设有卡槽，所述密封块截面呈t形结构，所述密封块与卡槽相互匹配。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于采用的密封方式可以从横向与轴向提供双重的密封效果，且装配简单，仅需要拧紧或松开螺套即可，拆卸快速方案，密封性能好。

技术特征：

1.一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体(1)，所述分子泵主体(1)的侧壁上设置有出气管(2)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：所述螺套(5)的端面开设有凹槽(16)，所述固定板(6)的一端位于所述凹槽(16)内，所述螺栓(15)均与所述固定板(6)的一端为螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：所述安装管(4)的一端固定连接有密封块(13)，所述连接管(3)的另一端开设有卡槽(14)，所述密封块(13)截面呈t形结构，所述密封块(13)与卡槽(14)相互匹配。

技术总结
本技术公开了一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体，分子泵主体的侧壁上设置有出气管，出气管通过螺套与连接管的一端相连接；螺套与连接管侧壁螺纹连接；出气管的侧壁开设有密封槽，密封槽内对应设置有密封圈；连接管的一端上设置有环形挡板；出气管还通过固定组件与螺套连接，固定组件包括固定板，固定板呈U形设置，固定板的一端通过设置在螺套上的螺栓与螺套连接，固定板的另一端上设置有顶板，顶板与出气管的端面相抵。与现有技术相比，本技术的有益效果在于采用的密封方式可以从横向与轴向提供双重的密封效果，且装配简单，仅需要拧紧或松开螺套即可，拆卸快速方案，密封性能好。

技术研发人员：玉基赫,朴俊哲
受保护的技术使用者：上海檀启电子科技有限公司
技术研发日：20230608
技术公布日：2024/1/15