真空分子泵抽速调节器的制作方法

本技术涉及真空分子泵抽速调节器领域，更具体地说，涉及真空分子泵抽速调节器。

背景技术：

1、通常来说，通过调节分子泵转速，来调节气体的抽速，从而改变工艺压力；但是分子泵转速调节因分子泵的特性不同，调节范围有一定的限制；

2、cn 212959151 u公开了一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体、连接座、连接支架、驱动电机、驱动丝杆、螺纹圈、调节盖板、滑套、滑柱，所述的连接座为圆环形，连接座固接在分子泵壳体进气口的端口内侧；

3、其上述专利中，在使用时，采用内置电机驱动盖板上下移动分离，但是分离后盖板还是挡在气流经过处阻隔，且小流量抽吸调节时，气流经过范围大，不便于小流量调节，抽吸调节不便。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供真空分子泵抽速调节器，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量。

2、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

3、真空分子泵抽速调节器，包括壳体，所述壳体的侧面设置进气口，所述壳体内侧表面盖接有盖板，所述盖板的表面设置凸形圆口，所述壳体内侧设置锥形凸起，所述壳体的表面固定上盖，所述上盖表面固定电机，所述电机的驱动轴处外表面通过螺纹连接在盖板的内侧表面，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量。

4、进一步的，所述上盖的下表面固定定位杆，定位杆穿插在盖板的内侧表面。

5、进一步的，所述壳体采用凸形壳结构。

6、进一步的，所述盖板的凸形圆口处盖接在锥形凸起的外表面。

7、进一步的，所述上盖通过螺丝固定在壳体的表面。

8、进一步的，所述盖板的外表面覆有橡胶层。

9、进一步的，所述锥形凸起均匀分布在壳体的内侧表面一圈。

10、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

11、(1)通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量。

技术特征：

1.真空分子泵抽速调节器，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的侧面设置进气口(100)，所述壳体(1)内侧表面盖接有盖板(3)，所述盖板(3)的表面设置凸形圆口(30)，所述壳体(1)内侧设置锥形凸起(2)，所述壳体(1)的表面固定上盖(4)，所述上盖(4)表面固定电机(5)，所述电机(5)的驱动轴(6)处外表面通过螺纹连接在盖板(3)的内侧表面。

2.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述上盖(4)的下表面固定定位杆(7)，定位杆(7)穿插在盖板(3)的内侧表面。

3.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述壳体(1)采用凸形壳结构。

4.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述盖板(3)的凸形圆口(30)处盖接在锥形凸起(2)的外表面。

5.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述上盖(4)通过螺丝(40)固定在壳体(1)的表面。

6.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述盖板(3)的外表面覆有橡胶层。

7.根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述锥形凸起(2)均匀分布在壳体(1)的内侧表面一圈。

技术总结
本技术公开了真空分子泵抽速调节器，包括壳体，所述壳体的侧面设置进气口，所述壳体内侧表面盖接有盖板，所述盖板的表面设置凸形圆口，所述壳体内侧设置锥形凸起，所述壳体的表面固定上盖，所述上盖表面固定电机，所述电机的驱动轴处外表面通过螺纹连接在盖板的内侧表面，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量。

技术研发人员：王志强,孙玉峰,杨宏芳,徐辉,唐林,冯建军,韩玉宾
受保护的技术使用者：山东世纪安泰真空设备有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/1/15