一种真空泵氮气流量控制装置及真空泵设备的制作方法

本申请属于真空泵，具体涉及一种真空泵氮气流量控制装置及真空泵设备。

背景技术：

1、真空泵属于常见的抽真空设备，通过机械或化学等方式制造负压，从而进行抽真空操作。其中，干式真空泵(又简称干式机械泵)因为不需要工作介质，可以避免工作介质返流污染容器，也避免反应物反向影响工作介质，使其污染的问题，从而可以提升产品的质量、数量，降低维护成本。

2、目前，干式真空泵已广泛应用于半导体、光伏能源、制药等领域。为避免真空泵腔内腐蚀及粉尘堆积，常见的干式真空泵都需要用到氮气吹扫装置，而在一些没有制氮设备的工厂中氮气需要采购配送，导致使用价格昂贵，故当前主要研究方向之一是如何节约氮气，以达到节约成本的目的。

3、进一步，常用的真空泵自配氮气定量系统不能根据泵组运行环境进行随变流量调节，当泵组所连接腔体处于待机状态、非工艺运行状态，泵组所抽气体无特殊气体、粉尘等含量时，由于泵腔始终还进行吹扫操作，造成了氮气大量浪费，这也是现在主要浪费原因之一。

技术实现思路

1、本申请针对现有技术存在的问题，提供了一种真空泵氮气流量控制装置，改善氮气使用效率。

2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：

3、本申请提供了一种真空泵氮气流量控制装置，用于与真空泵氮气接口连接，包括依次连通的供气管路、调节管路和出气管路；

4、所述调节管路包括至少两条并联的调节支路，所述供气管路进气端用于连接外设的供气设备，所述供气管路出气端与每条所述调节支路进气端连接，

5、每条所述调节支路上均串接有节流阀，且至少一条调节支路上串接有电磁阀；

6、每条所述调节支路出气端与所述出气管路连接，所述出气管路上串接有流量计。这样，通过结构上分路补偿设计和流量计应用，可以对各条支路单独进行流量设定，从而采取单路或多路组合通气以满足不同场景需求，结合电磁阀控制进行自动化调控，一方面实现节气的目的，另一方面可以减少人工投入。

7、优选的，所述供气管路通过多通接头分别连接各连接调节支路；所述供气管路直径大于等于6mm。

8、优选的，各连接调节支路的管径不全相同。通过不同管径搭配可以扩大装置的流量调节范围，提升调控的上限和下限。

9、优选的，所述节流阀为单向节流阀，有效防止不同支路之间的返流现象。

10、优选的，所述电磁阀为两位两通常闭电磁阀，其设置灵活、工艺简单且成本较低，满足控制需求。

11、优选的，至少一条调节支路的流路为常开状态，可以提供低流量常开的吹扫效果，为真空泵持续提供保护氛围。

12、本申请还提供一种真空泵设备，包括真空泵本体和所述的氮气流量控制装置。

13、相对于现有技术，本申请具有以下有益效果：

14、本申请装置通过分路流量补偿方式可对真空泵的氮气流量通过运行环境的变化进行随变控制；在设备处于待机非工艺状态时，降低氮气用量，有效进行节气控制，解决真空泵氮气用量较大的问题，从而降低运行成本。

技术特征：

1.一种真空泵氮气流量控制装置，用于与真空泵氮气接口连接，其特征在于，包括依次连通的供气管路、调节管路和出气管路；

2.根据权利要求1所述的真空泵氮气流量控制装置，其特征在于，所述供气管路通过多通接头分别连接各调节支路；所述供气管路直径大于等于6mm。

3.根据权利要求2所述的真空泵氮气流量控制装置，其特征在于，各调节支路的管径不全相同。

4.根据权利要求3所述的真空泵氮气流量控制装置，其特征在于，所述节流阀为单向节流阀。

5.根据权利要求1所述的真空泵氮气流量控制装置，其特征在于，所述电磁阀为两位两通常闭电磁阀。

6.根据权利要求1所述的真空泵氮气流量控制装置，其特征在于，至少一条调节支路的流路为常开状态。

7.一种真空泵设备，其特征在于，包括真空泵本体和氮气流量控制装置，所述氮气流量控制装置为权利要求1-6中任意一项所述的真空泵氮气流量控制装置。

技术总结
本申请提供了一种真空泵氮气流量控制装置及真空泵设备，真空泵氮气流量控制装置用于与真空泵氮气接口连接，主要包括依次连通的供气管路、调节管路和出气管路。调节管路包括至少两条并联的调节支路，供气管路连接外设的供气设备和调节支路。各调节支路上均串接有节流阀，且至少一条调节支路上串接有电磁阀。每条调节支路与出气管路连接，出气管路上还串接有流量计。本申请通过分路流量补偿方式可对真空泵的氮气流量通过运行环境的变化进行随变控制；在设备处于待机非工艺状态时，降低氮气用量，有效进行节能控制，解决真空泵氮气用量较大的问题，降低运行成本。

技术研发人员：李敖,赵盼亮,范慧斌,陈晨,陶科,杨宝海,闫宝杰,李义升
受保护的技术使用者：营口金辰机械股份有限公司
技术研发日：20230823
技术公布日：2024/5/12