管道防护装置和光阻供应装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了管道防护装置和光阻供应装置。管道防护装置，用于保护光阻输出管道，所述管道防护装置包括：螺旋状防护套和紧固件；所述紧固件通过插接与所述螺旋状防护套固定；其中，所述紧固件具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套连通。在本实用新型提供的管道防护装置中，所述管道防护装置采用中空的结构使得光阻输出管道能够插入其中，同时所述管道防护装置通过紧固件与光阻瓶盖固定，从而保护所述光阻瓶盖附近的光阻输出管道免受外力，避免弯折。
【专利说明】管道防护装置和光阻供应装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种管道防护装置和采用所述管道防护装置的光阻供应装置。
【背景技术】
[0002]光阻(Photo Resist，PR)，亦称为光阻剂或光刻胶，一种应用于多种工业制程上的光敏材料。在半导体制造过程中，光阻通常应用于光刻工艺，在光刻工艺中利用光阻的光化学反应将所需要的微细图形从掩模版转移至待加工的硅片或玻璃上。光阻是半导体制造工艺中非常关键的化工材料，对产品的质量影响非常大。光阻通常以液态形式放置于光阻瓶中，当光阻用完时，需要补充新的光阻或者将空的光阻瓶换下，换上新的光阻瓶。
[0003]请参考图1，其为现有技术的光阻供应装置的结构示意图。如图1所示，光阻供应装置100包括:光阻瓶10和光阻输出管道12，其中，光阻瓶10上设置有用于密封的光阻瓶盖11，所述光阻输出管道12贯穿所述光阻瓶盖11并伸入所述光阻瓶10中，为了控制光阻的使用量，所述光阻输出管道12的直径一般在6_左右，使用时通过所述光阻输出管道12抽取光阻瓶10内的光阻，直至光阻瓶10内的光阻用完。光阻瓶10内的光阻用完之后，通常需要补充光阻或更换新的光阻瓶。为此，操作人员需要将光阻瓶盖11和光阻输出管道12同时拔出，之后重新插入光阻瓶10或者插入新的光阻瓶中。
[0004]补充光阻或更换新的光阻瓶都依赖人工作业，若作业不当位于所述光阻瓶盖11附近的光阻输出管道12非常容易因受力而弯折。而且光阻的日消耗量非常大，更换光阻的频率也比较频繁，无法完全避免人为作业失误。光阻输出管道12—旦出现弯折，就无法输出光阻或者造成输出的光阻量不足，无论是光阻无法输出还是输出的量不足都会造成的产品报废。由于检查滞后于生产，发现问题时通常已经有几十个批次的产品受到影响了。可见，一旦光阻输出管道12出现弯折，造成的损失非常大。
[0005]因此，如何解决现有技术的光阻供应装置在输出光阻时存在无法输出或输出不足的问题成为当前亟需解决的技术问题。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种管道防护装置和光阻供应装置，以解决现有的光阻供应装置在输出光阻时存在无法输出或输出不足的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种管道防护装置，用于保护光阻输出管道，所述管道防护装置包括:螺旋状防护套和紧固件；
[0008]所述紧固件通过插接与所述螺旋状防护套固定；
[0009]其中，所述紧固件具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套连通。
[0010]优选的，在所述的管道防护装置中，所述紧固件包括插头、螺杆及螺母；
[0011]所述螺杆的一端与所述插头固定，所述螺杆的另一端与所述螺母匹配。
[0012]优选的，在所述的管道防护装置中，所述插头包括垫圈和多个叶片；[0013]所述垫圈的形状为圆环形，所述多个叶片环绕于所述垫圈并与所述螺杆的一端固定;
[0014]每个叶片相对于所述螺杆的底面均是倾斜的，所述多个叶片的倾斜方向相交于同一点。
[0015]优选的，在所述的管道防护装置中，所述螺杆包括依次连接的第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆的横截面均为圆环形，
[0016]所述第一螺杆和第二螺杆的横截面的圆心均在同一条直线上。
[0017]优选的，在所述的管道防护装置中，所述多个叶片均匀分布且倾斜方向均相交于所述直线上的同一点。
[0018]优选的，在所述的管道防护装置中，所述垫圈、第一螺杆和第二螺杆的内径均大于所述光阻输出管道的外径。
[0019]优选的，在所述的管道防护装置中，所述紧固件还包括一防滑圈，所述防滑圈的内径与所述第二螺杆的外径相匹配并设置于所述第二螺杆的外侧。
[0020]优选的，在所述的管道防护装置中，所述螺旋状防护套的横截面为圆环形，所述螺旋状防护套的最小内径大于所述光阻输出管道的外径；
[0021 ] 所述螺旋状防护套的一端设置有插口，所述插口的外形尺寸与所述插头的外形尺寸相适配。
[0022]优选的，在所述的管道防护装置中，所述螺旋状防护套的形状为圆锥形。
[0023]本实用新型还提供一种光阻供应装置，所述光阻供应装置包括:光阻瓶、光阻输出管道和如上所述的管道防护装置；
[0024]所述光阻瓶具有一光阻瓶盖，所述光阻瓶盖上设置有一输出通孔；
[0025]所述管道防护装置包括螺旋状防护套和紧固件，所述紧固件的一端通过插接与所述螺旋状防护套固定，所述紧固件的另一端穿过所述输出通孔并与所述光阻瓶盖固定；
[0026]所述光阻输出管道穿过所述螺旋状防护套和紧固件伸入所述光阻瓶中。
[0027]在本实用新型提供的管道防护装置和光阻供应装置中，所述管道防护装置采用中空的结构使得光阻输出管道能够插入其中，同时所述管道防护装置通过紧固件与光阻瓶盖固定，从而保护所述光阻瓶盖附近的光阻输出管道免受外力，避免弯折。
【专利附图】
【附图说明】
[0028]图1是现有技术的光阻供应装置的结构示意图；
[0029]图2是本实用新型实施例的管道防护装置的组装示意图；
[0030]图3是本实用新型实施例中紧固件的螺杆的结构示意图；
[0031]图4是本实用新型实施例中紧固件的插头的结构示意图；
[0032]图5是本实用新型实施例的光阻供应装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0033]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的管道防护装置和光阻供应装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0034]请参考图2，其为本实用新型实施例的管道防护装置的组装示意图。如图2所示，所述管道防护装置30用于防护光阻输出管道，所述管道防护装置30包括:螺旋状防护套40和紧固件50 ;所述紧固件50通过插接与所述螺旋状防护套40固定；其中，所述紧固件50具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套40连通。
[0035]具体的，所述紧固件50包括插头51、螺杆52及螺母53，所述螺杆52的一端与所述插头51固定，所述螺杆52的另一端与所述螺母53匹配。所述紧固件50通过所述插头51与所述螺旋状防护套40固定，由此所述紧固件50的管道通孔与所述螺旋状防护套40连通。优选的，所述紧固件50的管道通孔的中轴线与所述螺旋状防护套40的中轴线在同一条直线上。
[0036]请参考图3，其为本实用新型实施例中紧固件的螺杆的结构示意图。如图3所示，所述螺杆52包括依次连接的第一螺杆56和第二螺杆57，所述第一螺杆56具有第一通孔，所述第二螺杆57具有第二通孔，所述第一通孔和第二通孔连成一线。所述螺杆52具有第一底面52a和第二底面52b,所述第一底面52a位于第一螺杆56远离第二螺杆57的一侧，所述第二底面52b位于第二螺杆57远离第一螺杆56的一侧，所述第一底面52a和第二底面52b相互平行。其中，所述第二螺杆57的外形尺寸与螺母53的外形尺寸相匹配。同时，所述螺母53的外径尺寸小于光阻瓶盖的高度。
[0037]本实施例中，所述第一螺杆56的外径尺寸大于所述第二螺杆57的外径尺寸，所述第一螺杆56和第二螺杆57的横截面均为圆环形，所述第一螺杆56和第二螺杆57的横截面的圆心均在同一条直线AA’上。
[0038]请参考图4，其为本实用新型实施例中紧固件的插头的结构示意图。如图4所示，所述插头51包括垫圈54和多个叶片55，所述垫圈54的形状为圆环形，所述多个叶片55环绕于所述垫圈54并与所述螺杆52的第一底面52a固定，而且每个叶片55相对于所述螺杆52的第一底面52a或第二底面52b均是倾斜的。可见，所述垫圈54设置于所述叶片55包围的空间内，所述插头34是中空的结构。优选的，所述多个叶片55均匀分布且倾斜方向均相交于同一点。请结合参考图2，所述同一点位于所述直线AA’上。
[0039]由此可见，所述紧固件50包括插头51和螺杆52都是中空的结构，中空的结构部分形成管道通孔。圆环形的垫圈54、第一螺杆56和第二螺杆57的内径均大于所述光阻输出管道的外径，因此所述光阻输出管道能够穿过所述紧固件50。
[0040]所述紧固件50还包括一防滑圈58以方便拧紧或旋开紧固件50，所述防滑圈58的内径与所述第二螺杆57的外径相匹配并设置于所述第二螺杆57的外侧。
[0041]请继续参考图2，螺旋状防护套40的横截面为圆环形，所述螺旋状防护套40由于采用螺旋结构能够实现一定的伸展和收缩功能，所述螺旋状防护套40的一端设置有插口41，所述插口 41的外形尺寸与所述插头51的外形尺寸相适配。所述插头51能够刚好插入所述插口 41中。为了便于所述插头51插入所述插口 41中，所述插口 41的内侧是光滑的。所述螺旋状防护套40的最小内径大于所述光阻输出管道的外径，所述最小内径一般在7mm以上。因此，光阻输出管道能够穿过所述螺旋状防护套40。
[0042]优选的，螺旋状防护套40的形状为圆锥形，所述螺旋状管道40的管径沿着远离所述插口 41的方向逐渐缩小。[0043]优选的，所述螺旋状防护套40的长度在60mm以上，螺纹周数一般为6周或7周。
[0044]本实施例中，所述螺旋状防护套40、螺杆52和螺母53采用的材料均为塑料，例如聚四氟乙烯树脂，俗称特氟龙(Teflon)。所述垫圈为橡胶垫圈，所述橡胶垫圈采用的材料为硫化型硅橡胶(RTV)。所述防滑圈58的材料采用耐磨型硬塑料。
[0045]另外，本实用新型还提供一种光阻供应装置200。
[0046]请参考图5，其为本实用新型实施例的光阻供应装置的结构示意图。如图5所示，所述光阻供应装置200包括:光阻瓶20、光阻输出管道22和如上所述的管道防护装置30 ；所述光阻瓶20具有一光阻瓶盖21，所述光阻瓶盖21上设置有输出通孔23 ;所述管道防护装置30包括螺旋状防护套40和紧固件50，所述紧固件50的一端通过插接与所述螺旋状防护套40固定，所述紧固件50的另一端穿过所述输出通孔23并与所述光阻瓶盖21固定；所述光阻输出管道22穿过所述螺旋状防护套40和紧固件50伸入所述光阻瓶20中。
[0047]具体的，请结合参考图2和图5，所述螺旋状防护套40具有插口 41，所述紧固件50包括插头51、螺杆52及螺母53，所述紧固件50通过所述插头51和插口 41连接而与所述螺旋状防护套40固定。所述紧固件50通过所述螺母53与所述光阻瓶盖21固定。
[0048]使用管道防护装置30保护所述光阻输出管道22时，首先将所述光阻输出管道22依次穿过螺旋状防护套40、插头51、螺杆52、所述光阻瓶盖21上的输出通孔23和螺母53，之后将紧固件50的插头51插入所述螺旋状防护套40的插口 41中并拧紧，接着将螺母53与螺杆52拧紧从而将紧固件50固定在所述光阻瓶盖21上。由此，管道防护装置30套在邻近所述光阻瓶盖21的光阻输出管道22上避免所述光阻输出管道22发生弯折。
[0049]综上，在本实用新型实施例提供的管道防护装置和光阻供应装置，所述管道防护装置采用中空的结构使得光阻输出管道能够插入其中，同时所述管道防护装置具有紧固件能够与光阻瓶盖固定，由此所述光阻瓶盖附近的光阻输出管道在人工作业时能够免受外力，避免弯折。
[0050]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【权利要求】
1.一种管道防护装置，用于保护光阻输出管道，其特征在于，包括:螺旋状防护套和紧固件； 所述紧固件通过插接与所述螺旋状防护套固定； 其中，所述紧固件具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套连通。
2.如权利要求1所述的管道防护装置，其特征在于，所述紧固件包括插头、螺杆及螺母; 所述螺杆的一端与所述插头固定，所述螺杆的另一端与所述螺母匹配。
3.如权利要求2所述的管道防护装置，其特征在于，所述插头包括垫圈和多个叶片； 所述垫圈的形状为圆环形，所述多个叶片环绕于所述垫圈并与所述螺杆的一端固定； 每个叶片相对于所述螺杆的底面均是倾斜的，所述多个叶片的倾斜方向相交于同一点。
4.如权利要求2所述的管道防护装置，其特征在于，所述螺杆包括依次连接的第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆的横截面均为圆环形， 所述第一螺杆和第二螺杆的横截面的圆心均在同一条直线上。
5.如权利要求4所述的管道防护装置，其特征在于，所述多个叶片均匀分布且倾斜方向均相交于所述直线上的同一点。
6.如权利要求4所述的管道防护装置，其特征在于，所述垫圈、第一螺杆和第二螺杆的内径均大于所述光阻输出管道的外径。
7.如权利要求4所述的管道防护装置，其特征在于，所述紧固件还包括一防滑圈，所述防滑圈的内径与所述第二螺杆的外径相匹配并设置于所述第二螺杆的外侧。
8.如权利要求2所述的管道防护装置，其特征在于，所述螺旋状防护套的横截面为圆环形，所述螺旋状防护套的最小内径大于所述光阻输出管道的外径； 所述螺旋状防护套的一端设置有插口，所述插口的外形尺寸与所述插头的外形尺寸相适配。
9.如权利要求8所述的管道防护装置，其特征在于，所述螺旋状防护套的形状为圆锥形。
10.一种光阻供应装置，其特征在于，包括:光阻瓶、光阻输出管道和如权利要求1至9中任一项所述的管道防护装置； 所述光阻瓶具有一光阻瓶盖，所述光阻瓶盖上设置有一输出通孔； 所述管道防护装置包括螺旋状防护套和紧固件，所述紧固件的一端通过插接与所述螺旋状防护套固定，所述紧固件的另一端穿过所述输出通孔并与所述光阻瓶盖固定； 所述光阻输出管道穿过所述螺旋状防护套和紧固件伸入所述光阻瓶中。
【文档编号】F16L7/00GK203770946SQ201420102221
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2014年3月7日
【发明者】顾烨 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司