一种晶圆台旋转机构的制作方法

1.本实用新型应用于半导体晶圆检测技术领域，特别涉及一种晶圆台旋转机构。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的半导体产品。而在晶圆的制作过程中，为了保证其生产质量，需要对其进行检测，检测过程中需将晶圆放置在旋转机构上，通过旋转式作业从而便于对晶圆实行全方位的检测。以往的旋转机构由机座、电机、同步带、主动齿轮、从动齿轮以及旋转台组成，主、从动齿轮均与同步带相啮合，旋转台与从动齿轮相连，电机驱动主动齿轮后，便能够带动旋转台上的晶圆进行旋转，但是这种旋转机构的结构比较复杂，成本比较高，空间配置比较大。如能设计出一种结构简单、成本低廉并且空间占用率比较小的晶圆台旋转机构，则能够很好地解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、成本低廉并且空间占用率比较小的晶圆台旋转机构。
4.本实用新型所采用的技术方案是：本实用新型包括底座、晶圆台、电缸以及连接组件，所述电缸设置在所述底座上，所述连接组件与所述电缸传动连接后滑动配合在所述底座上，所述晶圆台与所述连接组件相连，所述晶圆台转动配合在所述底座上。
5.由上述方案可见，通过所述电缸的驱动，所述连接组件滑动配合在所述底座上，从而带动所述晶圆台进行旋转。因此，与传统的旋转机构相对比，本实用新型不仅结构简单，成本低廉，空间占有率小，而且还能够将直线运动转化为旋转运动，便于检测机构对晶圆台上的晶圆进行全面检测。
6.进一步地，所述连接组件包括连接块、卡块以及销钉，所述连接块滑动配合在所述底座上，所述卡块设置在所述晶圆台上，所述卡块上设有长凹槽，所述销钉穿过所述长凹槽后竖直设置在所述连接块上。由此可见，通过所述电缸的驱动，所述连接块滑动配合在所述底座上，而所述连接块上的销钉会推动所述卡块，从而带动所述晶圆台进行小角度的旋转。
7.进一步地，所述底座上环绕设置有四个导轮，四个所述导轮均转动配合在所述底座上，所述晶圆台的四角位置上均设置有弧形凸起，四个所述导轮上均设有环形凹槽，所述弧形凸起与所述环形凹槽相适配。由此可见，所述导轮不仅可以作为所述晶圆台的稳定支撑点，而且所述导轮转动配合在所述底座上，能够大大减小所述晶圆台在旋转时的摩擦力。
8.进一步地，所述连接块通过滑轨组件滑动配合在所述底座上，所述滑轨组件包括滑块和滑轨，所述滑轨设置在所述底座上，所述滑块设置在所述连接块上，所述滑块滑动配合在所述滑轨上。
附图说明
9.图1是本实用新型的立体图；
10.图2是图1中a处的放大图；
11.图3是图1中b处的放大图。
具体实施方式
12.如图1至图3所示，在本实施例中，本实用新型包括底座1、晶圆台2、电缸3以及连接组件，所述电缸3设置在所述底座1上，所述连接组件与所述电缸3传动连接后滑动配合在所述底座1上，所述晶圆台2与所述连接组件相连，所述晶圆台2转动配合在所述底座1上。
13.在本实施例中，所述连接组件包括连接块4、卡块5以及销钉6，所述连接块4滑动配合在所述底座1上，所述卡块5设置在所述晶圆台2上，所述卡块5上设有长凹槽12，所述销钉6穿过所述长凹槽12后竖直设置在所述连接块4上。
14.在本实施例中，所述底座1上环绕设置有四个导轮7，四个所述导轮7均转动配合在所述底座1上，所述晶圆台2的四角位置上均设置有弧形凸起8，四个所述导轮7上均设有环形凹槽9，所述弧形凸起8与所述环形凹槽9相适配。
15.在本实施例中，所述连接块4通过滑轨组件滑动配合在所述底座1上，所述滑轨组件包括滑块10和滑轨11，所述滑轨11设置在所述底座1上，所述滑块10设置在所述连接块4上，所述滑块10滑动配合在所述滑轨11上。
16.在本实施例中，通过所述电缸3的驱动，所述连接块4滑动配合在所述底座1上，而所述连接块4上的销钉6会推动所述卡块5，从而带动所述晶圆台2进行小角度的旋转。


技术特征：
1.一种晶圆台旋转机构，其特征在于：它包括底座（1）、晶圆台（2）、电缸（3）以及连接组件，所述电缸（3）设置在所述底座（1）上，所述连接组件与所述电缸（3）传动连接后滑动配合在所述底座（1）上，所述晶圆台（2）与所述连接组件相连，所述晶圆台（2）转动配合在所述底座（1）上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆台旋转机构，其特征在于：所述连接组件包括连接块（4）、卡块（5）以及销钉（6），所述连接块（4）滑动配合在所述底座（1）上，所述卡块（5）设置在所述晶圆台（2）上，所述卡块（5）上设有长凹槽（12），所述销钉（6）穿过所述长凹槽（12）后竖直设置在所述连接块（4）上。3.根据权利要求1所述的一种晶圆台旋转机构，其特征在于：所述底座（1）上环绕设置有四个导轮（7），四个所述导轮（7）均转动配合在所述底座（1）上，所述晶圆台（2）的四角位置上均设置有弧形凸起（8），四个所述导轮（7）上均设有环形凹槽（9），所述弧形凸起（8）与所述环形凹槽（9）相适配。4.根据权利要求2所述的一种晶圆台旋转机构，其特征在于：所述连接块（4）通过滑轨组件滑动配合在所述底座（1）上，所述滑轨组件包括滑块（10）和滑轨（11），所述滑轨（11）设置在所述底座（1）上，所述滑块（10）设置在所述连接块（4）上，所述滑块（10）滑动配合在所述滑轨（11）上。

技术总结
本实用新型旨在提供一种结构简单、成本低廉并且空间占用率比较小的晶圆台旋转机构。本实用新型包括底座、晶圆台、电缸以及连接组件，所述电缸设置在所述底座上，所述连接组件与所述电缸传动连接后滑动配合在所述底座上，所述晶圆台与所述连接组件相连，所述晶圆台转动配合在所述底座上。本实用新型应用于半导体晶圆检测技术领域。检测技术领域。检测技术领域。


技术研发人员：颜智德 蔡奇陵
受保护的技术使用者：长园半导体设备（珠海）有限公司
技术研发日：2021.03.30
技术公布日：2021/12/30