一种线网监控装置及设有该监控装置的监控系统的制作方法

本发明属于晶棒切片加工，尤其是涉及一种线网监控装置及设有该监控装置的监控系统。

背景技术：

1、线网状态是晶片加工成功与否的主要条件之一，因线网线弓的影响，会导致在切片过程中出现跳线或并线等异常情况，而线网跳线或并线都会造成线网断线。若仅仅是在切片停机时对线网状态进行监控，则会导致线网异常的状态扩大化，等到线网断线时才能获知线网异常状态，会导致有更多的废片产生、更多线网废线的产生以及更长时间的停机。还有，在切片加工时，切片室内是密闭的暗光状态，水雾较大，不易对线网状态做持续地跟踪监控。

技术实现思路

1、本发明提供一种线网监控装置及设有该监控装置的监控系统，解决了现有技术中无法在切片状态下持续地对线网状态进行监控的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题，本发明采用的技术方案是：

3、一种线网监控装置，包括用于监控线网的监控器，所述监控器的信号路线沿线网旋转方向朝靠近工件一侧的线网进行监控，且所述监控器的信号路线与线网和槽轮的切面交叉设置。

4、进一步的，所述监控器的信号路线与线网和槽轮的切面的夹角角度不大于90°且不小于20°。

5、优选地，所述监控器的信号路线与线网和槽轮的切面的夹角的角度不大于45°。

6、进一步的，所述监控器被配置在工件的两侧并相对设置；并分别对其相应侧的线网的状态进行监控。

7、进一步的，还包括壳体和调位杆，其中，

8、所述监控器内置于所述壳体中且与所述壳体连接；

9、所述调位杆外置于所述壳体上并与所述壳体铰接。

10、进一步的，至少所述监控器发射口朝向的所述壳体被设置为透明面；

11、优选地，所述透明面相对于所述线网与槽轮的切面垂直设置。

12、进一步的，所述调位杆悬设于所述壳体的顶部，并位于所述壳体中远离所述透明面一侧。

13、进一步的，所述调位杆下端与构置在所述壳体顶部的凸台连接，所述调位杆与所述凸台连接的一端被构造为圆弧面结构。

14、进一步的，所述凸台上设有上下相对设置的圆弧孔，所述圆弧孔的弧度与所述调位杆的圆弧面的弧度相适配。

15、一种监控系统，设有如上任一项所述的线网监控装置。

16、采用本发明设计的一种线网监控装置，可直接对切片过程中的线网状态进行监控，且监控器的发射口的朝向与线网旋转的方向同向，从而可高效、精准且持续地对线网状态进行实时监控，可全面获取线网异常基础数据，及时进行干预处理，避免出现质量事故产生。本发明还提出一种设有该监控装置的监控系统。

技术特征：

1.一种线网监控装置，其特征在于，包括用于监控线网的监控器，所述监控器的信号路线沿线网旋转方向朝靠近工件一侧的线网进行监控，且所述监控器的信号路线与线网与工件的接触面交叉设置。

2.根据权利要求1所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述监控器的信号路线与线网和槽轮的切面的夹角角度不大于90°且不小于20°。

3.根据权利要求2所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述监控器的信号路线与线网和槽轮的切面的夹角的角度不大于45°。

4.根据权利要求1所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述监控器被配置在工件的两侧并相对设置；并分别对其相应侧的线网的状态进行监控。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种线网监控装置，其特征在于，还包括壳体和调位杆，其中，

6.根据权利要求5所述的一种线网监控装置，其特征在于，至少所述监控器发射口朝向的所述壳体被设置为透明面；

7.根据权利要求6所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述调位杆悬设于所述壳体的顶部，并位于所述壳体中远离所述透明面一侧。

8.根据权利要求6或7所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述调位杆下端与构置在所述壳体顶部的凸台连接，所述调位杆与所述凸台连接的一端被构造为圆弧面结构。

9.根据权利要求8所述的一种线网监控装置，其特征在于，所述凸台上设有上下相对设置的圆弧孔，所述圆弧孔的弧度与所述调位杆的圆弧面的弧度相适配。

10.一种监控系统，其特征在于，设有如权利要求1-9任一项所述的线网监控装置。

技术总结
本发明提供一种线网监控装置，包括用于监控线网的监控器，所述监控器的信号路线沿线网旋转方向朝靠近工件一侧的线网进行监控，且所述监控器的信号路线与线网与工件的接触面交叉设置。本发明一种线网监控装置，可直接对切片过程中的线网状态进行监控，且监控器的发射口的朝向与线网旋转的方向同向，从而可高效、精准且持续地对线网状态进行实时监控，可全面获取线网异常基础数据，及时进行干预处理，避免出现质量事故产生。本发明还提出一种设有该监控装置的监控系统。

技术研发人员：杨旭洲,张昊铭,武瑞,危晨,赵朋占
受保护的技术使用者：天津市环智新能源技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12