节流阀的制作方法

本发明涉及单晶炉拉晶设备，尤其涉及一种节流阀。

背景技术：

1、晶体的生长过程需要保证在一个密闭的炉腔空间内。炉腔内会不断的通入氩气，炉腔底部连接着排气管道，排气管道的末端连接真空泵进行抽排气。炉腔内需要得到满足拉晶工艺需求的压力，通过排气管道上安装的节流阀进行调节和控制炉内的压力。

2、在重掺砷磷的拉晶工艺中，需要投入大量的掺杂剂来改变拉制晶棒中的电阻率。由于大量掺杂剂的存在，会导致晶体生长过程中产生大量的氧化物粉尘在炉腔内。其中大量的氧化物粉尘会被排气管道抽出，但是氧化物粉尘附着力强，仍然有部分少量的氧化物会因为高温烧结附着在炉压调节节流阀的阀板上和排气管道壁。因节流阀的阀板和管道壁的间隙过小，当氧化物粉尘附着后，阀板很容易被卡住。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供一种节流阀，解决阀板容易被卡住的问题。

2、为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；

3、所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。

4、可选的，沿着所述第一方向，所述阀板包括靠近所述排气口设置的第一侧面，所述第一侧面为斜面，所述阀板在垂直于所述第一方向上的截面的形状为梯形。

5、可选的，所述阀板靠近所述排气口的一面的面积大于所述阀板远离所述排气口的一面的面积。

6、可选的，所述阀板的形状与所述排气口的形状相符。

7、可选的，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内。

8、可选的，所述第一容纳腔在所述第一方向上的一端设置有用于排出杂质的出口，所述出口处封盖有盖板。

9、可选的，所述升降结构包括：

10、与所述阀板连接的升降杆，所述升降杆沿所述第一方向延伸设置；

11、丝杠，通过一连接杆与所述升降杆连接；

12、驱动电机，用于控制丝杠转动，以控制所述阀板在所述第一方向上往复运动。

13、可选的，还包括在所述第一方向上间隔设置的第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到第一位置时，使得所述排气口的开度为100％时，控制所述驱动电机停止工作；所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到第一位置时，使得所述排气口的开度为0％时，控制所述驱动电机停止工作。

14、可选的，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，以及位于所述第一容纳腔的一侧的第二容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内，所述升降结构设置于所述第二容纳腔内，所述第一容纳腔和所述第二容纳腔之间设置连接孔，以使得所述升降杆的一端穿过所述连接孔以与所述阀板连接，所述连接孔处设置有密封圈。

15、本发明的有益效果是：通过阀板的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处附着的氧化物的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。

技术特征：

1.一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，其特征在于，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；

2.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，沿着所述第一方向，所述阀板包括靠近所述排气口设置的第一侧面，所述第一侧面为斜面，所述阀板在垂直于所述第一方向上的截面的形状为梯形。

3.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀板靠近所述排气口的一面的面积大于所述阀板远离所述排气口的一面的面积。

4.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀板的形状与所述排气口的形状相符。

5.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内。

6.根据权利要求5所述的节流阀，其特征在于，所述第一容纳腔在所述第一方向上的一端设置有用于排出杂质的出口，所述出口处封盖有盖板。

7.根据权利要求1所述的节流阀，其特征在于，所述升降结构包括：

8.根据权利要求7所述的节流阀，其特征在于，还包括在所述第一方向上间隔设置的第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到第一位置时，使得所述排气口的开度为100％时，控制所述驱动电机停止工作；所述第一限位传感器用于在所述阀板移动到所述第一位置时，使得所述排气口的开度为0％时，控制所述驱动电机停止工作。

9.根据权利要求7所述的节流阀，其特征在于，所述阀体包括沿所述第一方向设置的第一容纳腔，以及位于所述第一容纳腔的一侧的第二容纳腔，所述阀板可移动的设置于所述第一容纳腔内，所述升降结构设置于所述第二容纳腔内，所述第一容纳腔和所述第二容纳腔之间设置连接孔，以使得所述升降杆的一端穿过所述连接孔以与所述阀板连接，所述连接孔处设置有密封圈。

技术总结
本发明涉及一种节流阀，应用于单晶炉的排气管道上，用于调节单晶炉内的炉压，包括阀体，所述阀体包括阀板和升降结构；所述升降结构用于控制所述阀板在与所述排气管道的排气口的径向方向相平行的第一方向往复移动，以控制所述排气口的开度。通过阀板的上下滑动来改变排气管的截面积来控制流量，阀板上下刮擦可以起到清除排气管的排气口处的氧化物附着的作用，降低动作阻力，很好的避免了阀板与管道壁出现因氧化物粉尘附着导致卡死的问题。

技术研发人员：王阳
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11