一种用于精密仪器的弹簧基座的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的弹簧基座。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备这种精密仪器对精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.传统钢结构形式的基座，主要是考虑设备的承重以及设备对微震的要求；但是部分精密仪器设备本身在运转时，设备在垂直方向上的一定范围内上下移动，在水平方向尽可能限制在小的位移或者没有位移，所以常规形式的基座是不能满足此类设备的技术要求。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的弹簧基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种用于精密仪器的弹簧基座， 包括顶板、连接柱、支撑板、弹簧组件、底座和支撑结构，所述顶板下部与连接柱顶部栓接固定，所述连接柱底部与支撑板栓接固定，所述支撑板底部与弹簧组件焊接固定，所述弹簧组件底部与底座焊接固定，所述支撑结构焊接固定在底座上方两侧。
7.进一步地，所述顶板上固设有防振脚配件。
8.进一步地，所述顶板上开设有定位孔，所述定位孔为内螺纹孔，并栓接固定有定位螺栓。
9.进一步地，所述支撑结构内部安装有拉杆，所述拉杆与定位螺栓滑动连接。
10.进一步地，所述拉杆底部与底座通过固定螺栓连接。
11.进一步地，所述顶板由不锈钢板制成，所述连接柱由圆钢制成，所述底座由不锈钢板制成。
12.进一步地，所述支撑结构由方钢或槽钢制成。
13.本实用新型的有益效果为：
14.本实用新型基座通过弹簧和拉杆的设计实现机台在垂直方向上的被动隔振，在水平方向上基座自身刚性较大，固有频率低，隔振效果显著，安装灵活性大，稳定性好，适用范围广。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图。
16.图2为本实用新型截面a-a部的剖视图。
17.图中1-顶板，101-防振脚配件，102-定位孔，2-连接柱，3-支撑板，4-弹簧组件，5-底座，6-支撑结构，7-定位螺栓，8-拉杆，9-固定螺栓。
具体实施方式
18.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.如图1-2所示， 一种用于精密仪器的弹簧基座， 包括顶板1、连接柱2、支撑板3、弹簧组件4、底座5和支撑结构6，所述顶板1下部与连接柱2顶部栓接固定，所述连接柱2底部与支撑板3栓接固定，所述支撑板3底部与弹簧组件4焊接固定，所述弹簧组件4底部与底座5焊接固定，所述支撑结构6焊接固定在底座5上方两侧。
20.所述顶板1上固设有防振脚配件101。
21.所述顶板1上开设有定位孔102，所述定位孔102为内螺纹孔，并栓接固定有定位螺栓7。
22.所述支撑结构6内部安装有拉杆8，所述拉杆8与定位螺栓7滑动连接。
23.所述拉杆8底部与底座5通过固定螺栓9连接。
24.所述顶板1由不锈钢板制成，所述连接柱2由圆钢制成，所述底座5由不锈钢板制成。
25.所述支撑结构6由方钢或槽钢制成。
26.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于精密仪器的弹簧基座，包括顶板、连接柱、支撑板、弹簧组件、底座和支撑结构，其特征在于，所述顶板下部与连接柱顶部栓接固定，所述连接柱底部与支撑板栓接固定，所述支撑板底部与弹簧组件焊接固定，所述弹簧组件底部与底座焊接固定，所述支撑结构焊接固定在底座上方两侧。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述顶板上固设有防振脚配件。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述顶板上开设有定位孔，所述定位孔为内螺纹孔，并栓接固定有定位螺栓。4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述支撑结构内部安装有拉杆，所述拉杆与定位螺栓滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述拉杆底部与底座通过固定螺栓连接。6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成，所述连接柱由圆钢制成，所述底座由不锈钢板制成。7.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的弹簧基座，其特征在于，所述支撑结构由方钢或槽钢制成。

技术总结
本实用新型提供一种用于精密仪器的弹簧基座，包括顶板、连接柱、支撑板、弹簧组件、底座和支撑结构，所述顶板下部与连接柱顶部栓接固定，所述连接柱底部与支撑板栓接固定，所述支撑板底部与弹簧组件焊接固定，所述弹簧组件底部与底座焊接固定，所述支撑结构焊接固定在底座上方两侧。本实用新型基座通过弹簧和拉杆的设计实现机台在垂直方向上的被动隔振，在水平方向上基座自身刚性较大，固有频率低，隔振效果显著，安装灵活性大，稳定性好，适用范围广。适用范围广。适用范围广。


技术研发人员：尤健 赵小江 孙乐
受保护的技术使用者：大连地拓电子工程技术有限公司
技术研发日：2022.01.11
技术公布日：2022/5/24