一种中空直线导入器的制作方法

1.本实用新型超高真空领域的真空运动导入器，尤其涉及一种中空直线导入器。


背景技术：

2.真空运动导入器是真空系统的构成之一，实现了对真空环境中的狭缝、样品传递、操纵以及温控等。真空导入器要求真空密封性高、驱动顺畅、驱动重复性高以及使用寿命长。
3.在真空直线导入器的密封方式上，传统的做法是采用橡胶密封或者依靠金属波纹管形变伸缩的设计方式。这种方式获得真空可靠、真空度高、安装方便、成本低的特点，名称为《超高真空直线导入器》(专利号zl200920011032.6)、《超高真空直线推动导入器》(专利号zl200920011033.0)以及《精密重载真空直线导入装置》(专利号zl200920014985.8)专利文献，采用的均是设置波纹管维系真空的方式，即让轴置于波纹管内并利用法兰与真空设备相连，因此轴可处在真空环境中实施直线位移。上述现有技术集中存在以下缺陷和不足：
4.1、不是中空结构，无法直接对样品表面导入气体；
5.2、外部以扭矩的方式提供动力并经过联轴器、丝杆、丝杆螺母和滑座连接之类的传动机构传递并转化为直线运动，机械传动结构复杂，生产成本高；
6.3、外部旋转动作的提供的扭矩转化为直线运动，零部件加工及装配难以实现同轴度要求，为调试增加了难度；
7.4、丝杆、螺母结构、旋转部件的轴承以及连接部件的联轴器在推进或者回程运动时均有间隙，精度难以保证。


技术实现要素：

8.根据上述提出的技术问题，而提供一种中空直线导入器。本实用新型采用的技术手段如下：
9.一种中空直线导入器，包括波纹管和连接在波纹管两端的螺孔法兰和特制通孔法兰短管，所述特制通孔法兰短管的外侧固定有外螺纹套，所述外螺纹套的外侧螺纹连接有内螺纹外罩，所述特制通孔法兰短管用于与各种导入要素连接，所述内螺纹外罩能够带动特制通孔法兰短管端的各种导入要素移动。
10.进一步地，所述特制通孔法兰短管包括通孔法兰、短管和转接台，所述短管的两端分别焊接在转接台和通孔法兰上，转接台与波纹管连接，外螺纹套固定在转接台上。
11.进一步地，所述外镙纹套靠近螺孔法兰侧设有凸台，所述凸台上下分别通过压环和固定环与滚珠连接，所述固定环跟螺孔法兰连接，所述滚珠设置在凸台和内螺纹外罩之间。
12.进一步地，所述外螺纹套的外表面刻有刻度线。
13.本实用新型具有以下优点：
14.1、中空直线导入器是中空结构，物体可以通过和螺孔法兰的密封连接，实现向真
空中导入并作直线运动。螺孔法兰和带有喷嘴的气体微调阀连接，可在最合适的距离直接向样品表面导入气体。
15.2、直线导入器调节精准度高，装配精度高，稳定性好，结构简单。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型中空直线导入器的结构示意图。
18.图2是中空直线导入器的剖视图。
19.图中：1、外螺纹套；2、内螺纹外罩；3、固定环；4、滚珠；5、波纹管；6、螺孔法兰；7、压环；8、特制通孔法兰短管。
具体实施方式
20.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1、图2所示，本申请公开了一种中空直线导入器，包括波纹管5和连接在波纹管5两端的螺孔法兰6和特制通孔法兰短管8，所述特制通孔法兰短管8的外侧固定有外螺纹套1，所述外螺纹套1的外侧螺纹连接有内螺纹外罩2，所述特制通孔法兰短管8用于与各种导入要素连接，所述内螺纹外罩2能够带动特制通孔法兰短管8端的各种导入要素移动。所述螺孔法兰6固定在真空系统上。
22.所述特制通孔法兰短管包括通孔法兰、短管和转接台，所述短管的两端分别焊接在转接台和通孔法兰上，转接台与波纹管连接，外螺纹套固定在转接台上。
23.所述外镙纹套靠近螺孔法兰侧设有凸台，所述凸台上下分别通过压环7和固定环3与滚珠4连接，所述固定环跟螺孔法兰连接，所述滚珠设置在凸台和内螺纹外罩之间，具体地，压环和内螺纹外罩有一串滚珠，固定环和内螺纹外罩也有一串滚珠。
24.所述外螺纹套的外表面刻有刻度线。
25.本实用新型选用的材料为sus304，可耐220℃的高温烘烤。
26.和直线驱动器相比，中空直线驱动器最大的特点是“中空”。物体可以通过和螺孔法兰的密封连接，实现向真空中导入并作直线运动。螺孔法兰和带有喷嘴的气体微调阀连接，可在最合适的距离直接向样品表面导入气体。螺孔法兰和石英膜厚监控仪连接，则可检测真空中不同位置的薄膜生长速度。
27.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部
技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。


技术特征：
1.一种中空直线导入器，其特征在于，包括波纹管和连接在波纹管两端的螺孔法兰和特制通孔法兰短管，所述特制通孔法兰短管的外侧固定有外螺纹套，所述外螺纹套的外侧螺纹连接有内螺纹外罩，所述特制通孔法兰短管用于与各种导入要素连接，所述内螺纹外罩能够带动特制通孔法兰短管端的各种导入要素移动。2.根据权利要求1所述的中空直线导入器，其特征在于，所述特制通孔法兰短管包括通孔法兰、短管和转接台，所述短管的两端分别焊接在转接台和通孔法兰上，转接台与波纹管连接，外螺纹套固定在转接台上。3.根据权利要求1或2所述的中空直线导入器，其特征在于，所述外螺纹套靠近螺孔法兰侧设有凸台，所述凸台上下分别通过压环和固定环与滚珠连接，所述固定环跟螺孔法兰连接，所述滚珠设置在凸台和内螺纹外罩之间。4.根据权利要求1所述的中空直线导入器，其特征在于，所述外螺纹套的外表面刻有刻度线。

技术总结
本实用新型提供一种中空直线导入器。本实用新型包括波纹管和连接在波纹管两端的螺孔法兰和特制通孔法兰短管，所述特制通孔法兰短管的外侧固定有外螺纹套，所述外螺纹套的外侧螺纹连接有内螺纹外罩，所述特制通孔法兰短管用于与各种导入要素连接，所述内螺纹外罩能够带动特制通孔法兰短管端的各种导入要素移动。本申请是是中空结构，物体可以通过和螺孔法兰的密封连接，实现向真空中导入并作直线运动。螺孔法兰和带有喷嘴的气体微调阀连接，可在最合适的距离直接向样品表面导入气体。合适的距离直接向样品表面导入气体。合适的距离直接向样品表面导入气体。


技术研发人员：郭方准 石晓倩
受保护的技术使用者：大连齐维科技发展有限公司
技术研发日：2022.03.01
技术公布日：2022/8/2