用于多级真空的通径可变的真空阀门的制作方法

1.本实用新型涉及阀门的技术领域，特别是涉及一种用于多级真空的通径可变的真空阀门。


背景技术：

2.真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门主要用于真空设备中腔室与腔室之间的连接，具体地，通过操控真空阀门的开、关状态可以实现两个真空腔室之间的连通和隔离，在阀门处于关闭状态时，两个腔室的气压不会互相影响，保证了各个腔室之间的相互隔离和独立运行；在阀门处于打开状态时，此时腔室之间相互连通，可进行制品传递等工作。
3.质谱仪及其他需要多级真空的体系，各个腔室往往需要不同的真空度，为节省成本，一般是将真空泵连接在需要最高真空度的腔室抽气，其他腔室采用固定通径的多孔形状进行分隔，根据所需的真空差设计不同的通径大小及形状，其不便之处为不易调节，只能以其固有的真空度，即相对固定的梯度差进行工作。


技术实现要素：

4.基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够调节多腔室真空差的用于多级真空的通径可变的真空阀门。
5.一种用于多级真空的通径可变的真空阀门，用于连接两个真空腔，包括阀体、调节盘和调节杆，所述阀体设有隔板，所述隔板上具有多个通孔，所述调节盘转动安装在所述隔板上，所述调节盘上设有蜗轮，且具有多个与所述通孔对应的调节孔；所述调节杆穿插安装在所述阀体上，所述调节杆靠近调节盘的一端设有与所述蜗轮啮合的蜗杆。
6.进一步的，所述隔板设置在所述阀体的中部，所述多个通孔呈圆周阵列等间距分布在所述隔板上。
7.进一步的，所述通孔与调节孔均为长腰型孔。
8.进一步的，所述蜗轮设置在所述调节盘的最外圈。
9.进一步的，所述调节杆穿插阀体的位置密封有o型密封圈。
10.进一步的，所述调节杆露在所述阀体之外的一端设有手轮。
11.进一步的，所述调节盘与所述隔板之间设置有密封垫。
12.进一步的，所述隔板上设有一个转轴，所述调节盘套设在所述转轴上。
13.上述用于多级真空的通径可变的真空阀门，由阀体、调节盘和调节杆组成，阀体连接两个真空腔且设有隔板，隔板上具有多个通孔，调节盘转动安装在隔板上，调节盘上设有蜗轮，且具有多个与通孔对应的调节孔；调节杆穿插安装在阀体上，且靠近调节盘的一端设有与蜗轮啮合的蜗杆。使用时，旋转调节杆，蜗杆带动蜗轮，由于蜗轮的中心限制使其只能绕中心旋转，由此调节盘上的调节孔与隔板上的通孔有了相对运动，从而可以打开连通阀体两侧的通道，调节孔和通孔之间的配合可以改变通径的大小。结构简单易实现，可以任意
调节各腔室的真空差；适用性强，简单改变尺寸就能实现各种真空腔互联的需求且结构可靠，不易发生故障。
附图说明
14.图1为一个实施例中的用于多级真空的通径可变的真空阀门结构示意图；
15.图2为本实施例使用过程中用于多级真空的通径可变的真空阀门打开一定孔径的示意图。
16.图中：100、阀体；110、转轴；200、调节盘；210、蜗轮；220、长腰型孔；300、调节杆；310、手轮；320、蜗杆。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1所示，在一个实施例中，一种用于多级真空的通径可变的真空阀门，包括阀体100、调节盘200和调节杆300，其中阀体100连接两个真空腔，两侧设有安装法兰，阀体100中间设有隔板，隔板上分布有一圈等间隔的长腰型孔，并在中部设有一个转轴110。
19.在本实施例中，转轴110上设有调节盘200，调节盘200与隔板之间设置有密封垫，调节盘200上与隔板对应位置也设有一圈长腰型孔220，调节盘 200的最外圈设有蜗轮210，调节杆300的靠近调节盘200的一端设有蜗杆320，蜗杆320与蜗轮210啮合。
20.在本实施例中，调节杆300穿插安装在阀体100的安装孔内，并由o型密封圈密封，调节杆300露在阀体100之外的一端安装有手轮310。
21.如图2所示，工作时，旋转调节杆300的手轮310，蜗杆320带动蜗轮 210，因为蜗轮210的中心限制，其只能绕中心旋转，由此调节盘200上的长腰型孔220与隔板上的长腰型孔有了相对运动，从而可以打开连通阀体100 两侧的通道，根据旋转角度的大小可以调节两长腰型孔之间形成的通道孔径的大小，并实现通径的可以改变。该结构简单易实现，可以任意调节各腔室间的真空差适用性强，结构可靠，不易发生故障，并且在使用时可实时调节，无需打开真空腔，极为便利。
22.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。


技术特征：
1.一种用于多级真空的通径可变的真空阀门，用于连接两个真空腔，其特征在于，包括阀体、调节盘和调节杆，所述阀体设有隔板，所述隔板上具有多个通孔，所述调节盘转动安装在所述隔板上，所述调节盘上设有蜗轮，且具有多个与所述通孔对应的调节孔；所述调节杆穿插安装在所述阀体上，所述调节杆靠近调节盘的一端设有与所述蜗轮啮合的蜗杆。2.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述隔板设置在所述阀体的中部，所述多个通孔呈圆周阵列等间距分布在所述隔板上。3.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述通孔与调节孔均为长腰型孔。4.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述蜗轮设置在所述调节盘的最外圈。5.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述调节杆穿插阀体的位置密封有o型密封圈。6.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述调节杆露在所述阀体之外的一端设有手轮。7.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述调节盘与所述隔板之间设置有密封垫。8.根据权利要求1所述的用于多级真空的通径可变的真空阀门，其特征在于，所述隔板上设有一个转轴，所述调节盘套设在所述转轴上。

技术总结
本实用新型涉及阀门的技术领域，具体是一种用于多级真空的通径可变的真空阀门，用于连接两个真空腔，包括阀体、调节盘和调节杆，阀体设有隔板，且隔板上具有多个通孔；调节盘转动安装在隔板上，调节盘上设有蜗轮且具有多个与通孔相对应的调节孔；调节杆穿插安装在阀体上且在靠近调节盘的一端设有与蜗轮啮合的蜗杆。工作时，旋转调节杆，蜗杆带动蜗轮，由于蜗轮的中心限制，其只能绕中心旋转，由此调节盘上的调节孔与隔板上的通孔相对运动，调节孔与通孔之间的配合可以改变通径的大小。上述结构简单易实现，可以任意调节各腔室间的真空差，适用性强，不易发生故障，且可实时调节，无需打开真空腔，极为便利。极为便利。极为便利。


技术研发人员：王华 董小鲁 王世立
受保护的技术使用者：翊新诊断技术(苏州)有限公司
技术研发日：2022.03.14
技术公布日：2022/8/11