一种用于晶圆刻蚀机的防震脚的制作方法

1.本实用新型涉及洁净室搬运吊装技术领域，具体是一种用于晶圆刻蚀机的防震脚。


背景技术：

2.半导体制造一般对环境要求都比较高，特别是对地震引起的振动；由于地震的震动会对设备产生水平方向和垂直方向的加速度；由于设备一般情况下是直接安装在地板上，没有对设备的脚进行相应的固定措施，所以当发生地震时，设备会在水平方向和垂直方向受到地震加速度，从而使设备产生水平方向以及垂直方向的移动，从而会损坏设备以及导致设备生产出来的产品的质量受到影响。
3.而半导体制造用的晶圆刻蚀机经常会产生液体渗漏问题，因此常采用在地板上方加设承漏盘的方法进行收集漏液。由于承漏盘的存在，传统的z型、直角型防震脚无法进行安装，需要设计独特的防震脚避开承漏盘实现与设备和地板的连接防震。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。
7.进一步地，所述第一加强筋、第二加强筋、第三加强筋均由不锈钢板制成直角三角形结构。
8.进一步地，所述第一加强筋的两个直角边分别与挡板、横板垂直焊接。
9.进一步地，所述第二加强筋的两个直角边分别与横板、竖板垂直焊接。
10.进一步地，所述第三加强筋的两个直角边分别与竖板、底座垂直焊接。
11.进一步地，所述第一安装孔、第二安装孔均为椭圆形通孔。
12.本实用新型的有益效果为：
13.本实用新型通过一块不锈钢板折弯成型，结构简单，加工方便，并通过设计三块加强筋有效提高了防震脚的强度，提高了防震脚整体的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图。
15.图2为本实用新型使用时安装结构示意图。
16.图中1-挡板，2-横板，3-竖板，4-底座，5-第一加强筋，6-第二加强筋，7-第三加强筋，8-第一安装孔，9-第二安装孔，10-刻蚀机，11-承漏盘，12-高架地板，13-第一螺栓，14-第二螺栓。
具体实施方式
17.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1-2所示，一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板1、横板2、竖板3和底座4，所述挡板1、横板2、竖板3和底座4由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板2与挡板1垂直，所述竖板3与横板2垂直，所述底座4与竖板3垂直，所述挡板1与横板2之间焊接有第一加强筋5，所述横板2与竖板3之间焊接有第二加强筋6，所述竖板3与底座4之间焊接有第三加强筋7，所述挡板1上第一加强筋5两侧分别开设有第一安装孔8，所述底座4上第二加强筋6两侧分别开设有第二安装孔9。
19.所述第一加强筋5、第二加强筋6、第三加强筋7均由不锈钢板制成直角三角形结构。
20.所述第一加强筋5的两个直角边分别与挡板1、横板2垂直焊接。
21.所述第二加强筋6的两个直角边分别与横板2、竖板3垂直焊接。
22.所述第三加强筋7的两个直角边分别与竖板3、底座4垂直焊接。
23.所述第一安装孔8、第二安装孔9均为椭圆形通孔。
24.安装时，承漏盘11安装在高架地板12上方，刻蚀机10安装在承漏盘11上方，然后将防震脚的挡板1通过第一螺栓13穿过第一安装孔8与刻蚀机10栓接固定，将防震脚的底座4通过第二螺栓14穿过第二安装孔9与高架地板12栓接固定。
25.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，其特征在于，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一加强筋、第二加强筋、第三加强筋均由不锈钢板制成直角三角形结构。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一加强筋的两个直角边分别与挡板、横板垂直焊接。4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第二加强筋的两个直角边分别与横板、竖板垂直焊接。5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第三加强筋的两个直角边分别与竖板、底座垂直焊接。6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，其特征在于，所述第一安装孔、第二安装孔均为椭圆形通孔。

技术总结
本实用新型提供了一种用于晶圆刻蚀机的防震脚，包括挡板、横板、竖板和底座，所述挡板、横板、竖板和底座由一块不锈钢板弯折而成的整体结构，所述横板与挡板垂直，所述竖板与横板垂直，所述底座与竖板垂直，所述挡板与横板之间焊接有第一加强筋，所述横板与竖板之间焊接有第二加强筋，所述竖板与底座之间焊接有第三加强筋，所述挡板上第一加强筋两侧分别开设有第一安装孔，所述底座上第二加强筋两侧分别开设有第二安装孔。本实用新型通过一块不锈钢板折弯成型，结构简单，加工方便，并通过设计三块加强筋有效提高了防震脚的强度，提高了防震脚整体的抗折强度，避免防震脚出现折弯等问题，大大提高了防震脚的防震能力。大大提高了防震脚的防震能力。大大提高了防震脚的防震能力。


技术研发人员：马跃 高向东 张厚根
受保护的技术使用者：大连地拓重工有限公司
技术研发日：2022.03.25
技术公布日：2022/7/19