一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀的制作方法

本技术属于真空镀膜，具体涉及到一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀。

背景技术：

1、流量调节阀是通过改变节流截面或节流长度以控制流体流量的阀门，同时也可对气体进行节流控制和管路关闭控制。在进行聚对二甲苯真空镀膜时，流量调节阀安装在与真空室相连接的管道上，通过流量调节阀能够控制容器和工艺管道内部的真空状态，从而能够提高镀膜产品的膜层品质。聚对二甲苯真空镀膜是通过真空气相沉积方法制备膜层，在镀膜过程中，聚对二甲苯小分子在常温下会沉积在流量调节阀内部，经过长时间积累会造成阀门堵塞，影响流量调节效果，并且很难进行清理。

2、传统方法是通过对流量调节阀的阀芯进行人工物理清除，或者增加外部加热装置给阀门加热至一定温度，减少材料在阀门中的沉积污染。但是人工物理清除非常容易造成阀门损毁，而外加热方法对阀门关键部位加热不够充分，仍然会有少量的材料沉积，同时加热装置的安装和拆卸也非常麻烦，不利于真空镀膜设备的长期使用。

技术实现思路

1、为了解决目前聚对二甲苯真空镀膜设备中流量调节阀的堵塞问题，本实用新型提出一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，该流量调节阀采用阀芯内置加热器的流量调节阀结构，通过加热器对阀头和内部接管直接加热，使加热效率更高且直接可控，此外结构设计也相对简单，方便安装与拆卸，同时节省了零件成本。

2、本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

3、一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，包括阀座、阀头、进口法兰、出口法兰、内部接管、波纹管、调节柄、阀壳、第一密封胶圈、第二密封胶圈、第三密封胶圈、加热器以及温度控制器；

4、阀座内部设有一个气流通道，气流通道的一端连接进口法兰，另一端连接出口法兰，并且气流通道上设有一个形状与阀头相吻合的缺口，阀头上安装有用于在闭合状态下与缺口侧壁密封的第一密封胶圈和第三密封胶圈，阀头的内部预留一个由上至下的中间通道；

5、内部接管与中间通道对准后底端与阀头固定连接，内部接管的顶端通过上法兰与调节柄的底端固定连接，调节柄与阀壳顶部的穿出孔上下滑动配合；

6、套设在内部接管外的波纹管一端与上法兰固定连接，另一端通过下法兰与阀座固定连接，并且下法兰与阀座之间设有第二密封胶圈，波纹管的口径大于阀头的最大直径；

7、加热器位于阀头的中间通道和内部接管的内部，加热器的接线穿过调节柄的中心孔后与温度控制器连接。

8、本实用新型具有以下有益效果：

9、(1)本实用新型采用内置加热器，使加热效率得到了提高，同时整个阀门的受热也更加均匀充分，有效避免了聚对二甲苯对阀门内部的污染；

10、(2)本实用新型结构设计简单，没有复杂的配合机构，便于加工、装配与维修；

11、(3)本实用新型采用柔性波纹管连接结构，既起到了密封作用，也能够满足阀头的移动距离；

12、(4)本实用新型应用于聚对二甲苯真空镀膜设备，解决了流量调节阀由于聚堆二甲苯小分子污染造成堵塞和失灵的问题，提高了聚对二甲苯真空镀膜设备的稳定性和易维护性。

技术特征：

1.一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，其特征在于，包括阀座(1)、阀头(2)、进口法兰(3)、出口法兰(4)、内部接管(5)、波纹管(6)、调节柄(7)、阀壳(8)、第一密封胶圈(9)、第二密封胶圈(10)、第三密封胶圈(11)、加热器(12)以及温度控制器；

2.一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，其特征在于，进口法兰(3)和出口法兰(4)均为kf法兰。

技术总结
本技术公开了一种用于聚对二甲苯真空镀膜设备的流量调节阀，包括阀座、阀头、内部接管、调节柄、加热器以及温度控制器等；阀座内部设有一个气流通道，气流通道上设有一个形状与阀头相吻合的缺口，阀头的内部预留一个由上至下的中间通道；内部接管与中间通道对准后底端与阀头固定连接，内部接管的顶端与调节柄的底端固定连接，调节柄与阀壳顶部的穿出孔上下滑动配合；加热器位于中间通道和内部接管的内部，加热器的接线穿过调节柄的中心孔后与温度控制器连接。本技术采用内置加热器，使加热效率得到了提高，同时整个阀门的受热也更加均匀充分，有效避免了聚对二甲苯对阀门内部的污染，提高了聚对二甲苯真空镀膜设备的稳定性和易维护性。

技术研发人员：李志胜,王成祥,李志安
受保护的技术使用者：秦皇岛精和智能装备有限公司
技术研发日：20220915
技术公布日：2024/1/11