一种新型源瓶的制作方法

本技术涉及半导体芯片，具体为一种新型源瓶。

背景技术：

1、在目前半导体行业mocvd量产芯片过程中，对各种参与反应的原材料mo源的实际消耗量要求精度很高，mo源的消耗量会直接影响到产出的良率、性能等重要参数，mo源物理状况分为液态、固态等状态，其中mocvd生产过程中mo源固态源是通过源瓶进行反应的，源瓶包括为一个钢瓶瓶体，顶端连通一个长管和一个短管，长管用于进气，短管用于出气，mo源位于瓶体内，在通气后，气体与mo源在钢瓶内反应，反应初期气体与mo源接触面积较大，源效率高，但是反应较长时间后，内部的mo源及气体分布受到短管出气的影响，接触位置表面倾斜，降低了气体与mo源的接触面积，这就导致了源利用率下降的现象，随着使用时间的推移，固态源的接触面积会越来越小，目前的解决方式是让其进出口可以对调，改变载气流向，从而获得最大的接触面积，提高源效率。

2、但是这种改变气流进入的方式需要调节源瓶方向，较为麻烦，并且在改变时还需要暂停通气，也会影响效率。

3、为此我们提出一种新型源瓶用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种新型源瓶，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型源瓶，包括第一源瓶、第二源瓶及多个支撑台，所述第一源瓶顶端分别固接第一长管及第一短管，所述第二源瓶顶面固接第二长管及第二短管，所述第一长管、第一短管、第二长管及第二短管上连通管路部件，所述管路部件包括进气组件、出气组件、第一辅助组件、第二辅助组件及连接组件；

3、所述进气组件连通第一长管，所述出气组件连通第二短管，所述连接组件两端分别连通第一短管及第二长管，所述第一辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件，所述第二辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件。

4、优选的，所述进气组件包括进气管，所述进气管一端插接并连通第一双通速接头，所述第一双通速接头插接并连通第一长管，所述进气管上连通第一三通速接头及第二三通速接头，所述第二三通速接头位于第一三通速接头与第一双通速接头之间位置，所述进气管上位于第一三通速接头与第二三通速接头之间位置固接第一阀门，所述进气管靠近第一双通速接头位置固接第一启闭阀。

5、优选的，所述出气组件包括出气管，所述出气管一端插接并连通第二双通速接头，所述第二双通速接头插接并连通第二短管端部，所述出气管上连通第三三通速接头及第四三通速接头，所述第四三通速接头位于第三三通速接头与第二双通速接头之间位置，所述出气管上位于第三三通速接头与第四三通速接头之间位置固接第二阀门，所述出气管靠近第二双通速接头位置固接第二启闭阀。

6、优选的，所述第一辅助组件包括第一l型管、第二l型管及第一软管，所述第一软管两端分别插接并连通两个第三双通速接头，两个所述第三双通速接头分别插接并连通第一l型管及第二l型管一端，所述第一l型管另一端插接并连通第二三通速接头，所述第二l型管另一端插接并连通第三三通速接头，所述第一l型管上固接第三阀门。

7、优选的，所述第二辅助组件包括第三l型管、第四l型管及第二软管，所述第二软管两端分别插接并连通两个第四双通速接头，两个所述第四双通速接头分别插接并连通第三l型管及第四l型管一端，所述第三l型管另一端插接并连通第一三通速接头，所述第四l型管另一端插接并连通第四三通速接头，所述第三l型管上固接第四阀门。

8、优选的，所述连接组件包括连接u型管，所述连接u型管两端分别插接并连通两个第五双通速接头，两个所述第五双通速接头分别插接并连通第一短管及第二长管，所述连接u型管靠近两个第五双通速接头位置分别固接两个第三启闭阀。

9、优选的，所述支撑台包括立杆，所述立杆底端固接底座、顶端固接托板，所述托板接触管路部件。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、本实用新型可以通过启闭多个阀门的方式改变气体在源瓶内的流量，在不同阶段保证mo源与气体的接触面积，保证源效率，并且无需调整进气位置即可实现，操作更加简便，也更加效率。

技术特征：

1.一种新型源瓶，包括第一源瓶（1）、第二源瓶（2）及多个支撑台（9），所述第一源瓶（1）顶端分别固接第一长管（11）及第一短管（12），所述第二源瓶（2）顶面固接第二长管（21）及第二短管（22），其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述进气组件（4）包括进气管（41），所述进气管（41）一端插接并连通第一双通速接头（42），所述第一双通速接头（42）插接并连通第一长管（11），所述进气管（41）上连通第一三通速接头（43）及第二三通速接头（44），所述第二三通速接头（44）位于第一三通速接头（43）与第一双通速接头（42）之间位置，所述进气管（41）上位于第一三通速接头（43）与第二三通速接头（44）之间位置固接第一阀门（45），所述进气管（41）靠近第一双通速接头（42）位置固接第一启闭阀（46）。

3.根据权利要求2所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述出气组件（5）包括出气管（51），所述出气管（51）一端插接并连通第二双通速接头（52），所述第二双通速接头（52）插接并连通第二短管（22）端部，所述出气管（51）上连通第三三通速接头（53）及第四三通速接头（54），所述第四三通速接头（54）位于第三三通速接头（53）与第二双通速接头（52）之间位置，所述出气管（51）上位于第三三通速接头（53）与第四三通速接头（54）之间位置固接第二阀门（55），所述出气管（51）靠近第二双通速接头（52）位置固接第二启闭阀（56）。

4.根据权利要求3所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述第一辅助组件（6）包括第一l型管（61）、第二l型管（62）及第一软管（63），所述第一软管（63）两端分别插接并连通两个第三双通速接头（64），两个所述第三双通速接头（64）分别插接并连通第一l型管（61）及第二l型管（62）一端，所述第一l型管（61）另一端插接并连通第二三通速接头（44），所述第二l型管（62）另一端插接并连通第三三通速接头（53），所述第一l型管（61）上固接第三阀门（65）。

5.根据权利要求3所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述第二辅助组件（7）包括第三l型管（71）、第四l型管（72）及第二软管（73），所述第二软管（73）两端分别插接并连通两个第四双通速接头（74），两个所述第四双通速接头（74）分别插接并连通第三l型管（71）及第四l型管（72）一端，所述第三l型管（71）另一端插接并连通第一三通速接头（43），所述第四l型管（72）另一端插接并连通第四三通速接头（54），所述第三l型管（71）上固接第四阀门（75）。

6.根据权利要求1所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述连接组件（8）包括连接u型管（81），所述连接u型管（81）两端分别插接并连通两个第五双通速接头（82），两个所述第五双通速接头（82）分别插接并连通第一短管（12）及第二长管（21），所述连接u型管（81）靠近两个第五双通速接头（82）位置分别固接两个第三启闭阀（83）。

7.根据权利要求1所述的一种新型源瓶，其特征在于：所述支撑台（9）包括立杆（91），所述立杆（91）底端固接底座（92）、顶端固接托板（94），所述托板（94）接触管路部件（3）。

技术总结
本技术公开了一种新型源瓶，包括第一源瓶、第二源瓶及多个支撑台，所述第一源瓶顶端分别固接第一长管及第一短管，所述第二源瓶顶面固接第二长管及第二短管，所述第一长管、第一短管、第二长管及第二短管上连通管路部件，所述管路部件包括进气组件、出气组件、第一辅助组件、第二辅助组件及连接组件，所述进气组件连通第一长管，所述出气组件连通第二短管，所述连接组件两端分别连通第一短管及第二长管，所述第一辅助组件两端分别连通进气组件及出气组件。本技术可以通过启闭多个阀门的方式改变气体在源瓶内的流量和方向，在不同阶段保证mo源与气体的接触面积，保证源效率，并且无需调整进气位置即可实现，操作更加简便，也更加效率。

技术研发人员：徐志军,刘勇,蒲健,谢陶,李本功
受保护的技术使用者：聚灿光电科技（宿迁）有限公司
技术研发日：20221208
技术公布日：2024/1/12