炉口密封装置及热炉的制作方法

本技术涉及半导体材料制备，尤其涉及炉口密封装置及热炉。

背景技术：

1、热炉是半导体制造技术领域常见的设备，在热炉工作过程中热炉的炉体内部应当是相对密闭的状态，因此炉口密封装置的作用就显得尤为重要。如图1所示，现有的炉体密封装置是由外法兰1’、内法兰2’、法兰调节螺栓3’、法兰安装板4’和密封件5’等零件组成，具体来说是将内法兰2’固定在法兰调节螺栓上3’，而法兰调节螺栓3’固定在法兰安装板4’上，法兰安装板4’安装在炉体的炉壳6’上，然后利用外法兰1’与内法兰2’通过螺栓连接，使外法兰1’挤压密封件5’使其产生形变，同时与外法兰1’、内法兰2’及炉体的石英管8’接触从而达到密封效果。

2、但是安装在外法兰1’上的缓冲条7’与石英管8’及内法兰2’之间存在间隙，使得外法兰1’处于浮动状态，由于工艺时石英管8’需要保持在抽真空状态，外法兰1’处会有炉门对其进行挤压密封，经过长时间的往复工艺以及外法兰1’和内法兰2’之间连接存在螺纹间隙，会导致外法兰1’和内法兰2’的连接出现松动，从而使外法兰1’发生位移，影响整个炉口密封装置的气密性。

技术实现思路

1、本实用新型的第一个目的在于提出一种炉口密封装置，该炉口密封装置的外法兰的稳定性较好，有效避免了因炉门密封产生的外法兰松动问题，减缓了密封件的老化速度，提高了密封件的寿命，提升了炉口密封装置的气密性。

2、本实用新型的第二个目的在于提出一种热炉，该热炉的炉口密封装置的气密性较好，延长了密封件的使用寿命，延长了热炉的维护周期，降低了热炉的工作成本。

3、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

4、本实用新型公开了一种炉口密封装置，所述炉口密封装置包括外法兰、内法兰和密封件，所述密封件夹设在所述外法兰和所述内法兰之间；所述外法兰通过法兰固定组件限位连接于炉管的一端；所述内法兰通过调节组件可活动设置于炉管的外周以挤压所述密封件。

5、在一些实施例中，所述外法兰通过连接件连接于所述法兰固定组件。

6、在一些具体的实施例中，所述外法兰上设有固定通孔，所述法兰固定组件上设有与所述固定通孔对应设置的固定螺纹孔，所述连接件为固定螺栓，所述固定螺栓穿设于所述固定通孔且与所述固定螺纹孔螺纹连接。

7、在一些实施例中，所述外法兰上设有调节通孔，所述内法兰上设有与所述调节通孔对应设置的调节螺纹孔，所述调节组件包括调节螺栓，所述调节螺栓穿设于所述调节通孔且与所述调节螺纹孔螺纹连接。

8、在一些更具体的实施例中，所述调节通孔包括第一孔段和第二孔段，所述第一孔段的直径大于所述第二孔段，所述第一孔段用于容纳所述调节螺栓的螺栓头。

9、在一些实施例中，所述调节组件包括导柱和套设在所述导柱上的弹性件，所述导柱的一端连接于所述法兰固定组件，另一端连接于所述内法兰，所述弹性件的两端分别抵接于所述法兰固定组件和所述内法兰。

10、在一些具体的实施例中，所述调节组件还包括锁紧件，所述锁紧件穿设于所述内法兰且与所述导柱相连以锁紧所述导柱及所述内法兰。

11、在一些实施例中，所述法兰固定组件包括法兰固定板和法兰连接件，所述法兰连接件的一端与所述法兰固定板连接，另一端与所述外法兰相连。

12、在一些实施例中，所述炉口密封装置还包括缓冲条，所述外法兰朝向所述炉管的一侧设有配合槽，所述缓冲条配合在所述配合槽内。

13、本实用新型还公开了一种热炉，包括前文所述的炉口密封装置以及炉体。

14、本实用新型的炉口密封装置的有益效果：由于外法兰通过法兰固定组件限位连接于炉管的一端，外法兰的位置相对炉管固定，避免了外法兰在受到炉门的反复挤压出现水平窜动，而内法兰通过调节组件可活动设置于炉管的外周以挤压密封件，从而确保密封件处于被挤压的状态，这样就能够较好地确保外法兰和内法兰之间的密封性，从而有效避免了因炉门密封产生的外法兰松动问题，减缓了密封件的老化速度，提高了密封件的寿命，提升了炉口密封装置的气密性。

15、本实用新型的热炉的有益效果：由于具有前文所述的炉口密封装置，使得与炉门抵接的外法兰的稳定性较好，有效避免了因炉门密封产生的外法兰松动问题，减缓了密封件的老化速度，提高了密封件的寿命，延长了热炉的维护周期，降低了热炉的工作成本。

16、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.炉口密封装置，所述炉口密封装置包括外法兰(2)、内法兰(3)和密封件(4)，所述密封件(4)夹设在所述外法兰(2)和所述内法兰(3)之间，其特征在于，所述外法兰(2)通过法兰固定组件(1)限位连接于炉管(8)的一端；所述内法兰(3)通过调节组件(5)可活动设置于所述炉管(8)的外周以挤压所述密封件(4)。

2.根据权利要求1所述的炉口密封装置，其特征在于，所述外法兰(2)通过连接件连接于所述法兰固定组件(1)。

3.根据权利要求2所述的炉口密封装置，其特征在于，所述外法兰(2)上设有固定通孔(21)，所述法兰固定组件(1)上设有与所述固定通孔(21)对应设置的固定螺纹孔(121)，所述连接件为固定螺栓(9)，所述固定螺栓(9)穿设于所述固定通孔(21)且与所述固定螺纹孔(121)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的炉口密封装置，其特征在于，所述外法兰(2)上设有调节通孔(22)，所述内法兰(3)上设有与所述调节通孔(22)对应设置的调节螺纹孔(31)，所述调节组件(5)包括调节螺栓，所述调节螺栓穿设于所述调节通孔(22)且与所述调节螺纹孔(31)螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的炉口密封装置，其特征在于，所述调节通孔(22)包括第一孔段(221)和第二孔段(222)，所述第一孔段(221)的直径大于所述第二孔段(222)，所述第一孔段(221)用于容纳所述调节螺栓的螺栓头。

6.根据权利要求1所述的炉口密封装置，其特征在于，所述调节组件(5)包括导柱(51)和套设在所述导柱(51)上的弹性件(52)，所述导柱(51)的一端连接于所述法兰固定组件(1)，另一端连接于所述内法兰(3)，所述弹性件(52)的两端分别抵接于所述法兰固定组件(1)和所述内法兰(3)。

7.根据权利要求6所述的炉口密封装置，其特征在于，所述调节组件(5)还包括锁紧件，所述锁紧件穿设于所述内法兰(3)且与所述导柱(51)相连以锁紧所述导柱(51)及所述内法兰(3)。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的炉口密封装置，其特征在于，所述法兰固定组件(1)包括法兰固定板(11)和法兰连接件(12)，所述法兰连接件(12)的一端与所述法兰固定板(11)连接，另一端与所述外法兰(2)相连。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的炉口密封装置，其特征在于，所述炉口密封装置还包括缓冲条(6)，所述外法兰(2)朝向所述炉管(8)的一侧设有配合槽，所述缓冲条(6)配合在所述配合槽内。

10.热炉，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的炉口密封装置以及炉体。

技术总结
本技术公开了一种炉口密封装置及热炉，炉口密封装置包括法兰固定组件、外法兰、内法兰和密封件，密封件夹设在外法兰和内法兰之间，外法兰通过法兰固定组件限位连接于炉管的一端；内法兰通过调节组件可活动设置于炉管的外周以挤压所述密封件。该炉口密封装置的外法兰的稳定性较好，有效避免了因炉门密封产生的外法兰松动问题，减缓了密封件的老化速度，提高了密封件的寿命，提升了炉口密封装置的气密性。

技术研发人员：林佳继,朱太荣,张武,董雪迪
受保护的技术使用者：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
技术研发日：20221229
技术公布日：2024/1/12