一种用于半导体制备的气体切换装置的制作方法

本发明涉及半导体设备，尤其涉及一种用于半导体制备的气体切换装置。

背景技术：

1、在半导体材料的制备中，需要进行多步反应，不同的反应需要不同的气体，需要通过半导体设备的流体输送系统传输。

2、为了保证半导体材料的精度和结晶质量，不同反应过程中，需要保证反应环境中不存在能够发生副反应的其他气体，因此，在不同反应需要切换气体介质时，需要先通入不参与反应的无关气体，将设备内的前道气体排出。

3、目前，在切换不同的气体时，需要将不同气源分别与半导体设备的流体输送系统的进气口连通或拆离，较为费时费力，且容易使空气进入，导致二次污染，影响半导体制备的质量。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种用于半导体制备的气体切换装置，用于在半导体材料的制备过程中，需要切换不同的气体时，省时省力，且能够防止空气进入影响半导体制备的质量。

2、为了实现上述目的，本发明提供了一种用于半导体制备的气体切换装置，包括：

3、出气组件，出气组件包括出气流道，出气组件用于与半导体制备设备的流体输送系统连通；

4、第一三通阀，第一三通阀包括第一进气口、第二进气口和第一出气口，第一进气口用于与第一气体介质气源连通，第一出气口与出气流道连通；

5、第二三通阀，第二三通阀包括第三进气口、第四进气口和第二出气口，第三进气口用于与第二气体介质气源连通，第四进气口用于与保护气体介质气源连通，第二出气口与第一三通阀的第二进气口连通；

6、控制系统，控制系统与第一三通阀和第二三通阀控制连接，用于控制第一三通阀的第一出气口与第一进气口或第二进气口连通，控制系统还用于控制第二三通阀的第二出气口与第三进气口或第四进气口连通。

7、相对现有技术，本发明提供的一种半导体制备的气体切换装置包括第一三通阀和第二三通阀，控制系统能够切换第一三通阀的第一出气口与第一进气口或第二进气口的连通状态，同时能够切换第二三通阀的第二出气口与第三进气口或第四进气口的连通状态，当第一三通阀的第一进气口与第一出气口连通即第二进气口与第一出气口阻断时，只有第一气体介质能够通过第一三通阀、出气组件进入流体输送系统；当第一三通阀的第二进气口与第一出气口连通即第一进气口与第一出气口阻断，第二三通阀的第四进气口与第二出气口连通即第三进气口与第二出气口阻断时，只有保护气能够通过第二三通阀、第一三通阀、出气组件进入流体输送系统，此时能够通过保护气将装置内的无关气体或者第一气体介质排出；当第一三通阀的第二进气口与第一出气口连通即第一进气口与第一出气口阻断，第二三通阀的第三进气口与第二出气口连通即第四进气口与第二出气口阻断时，只有第二气体介质能够通过第二三通阀、第一三通阀、出气组件进入流体输送系统。基于此，本发明提供的一种半导体制备的气体切换装置能够在不需要对不同气源分别与半导体设备的流体输送系统的进气口多次拆离和安装，即可实现气路切换，省时省力，且能避免不同气源的切换拆装过程中有空气进入而影响半导体制备的质量；另外，通过保护气将装置内的无关气体排出，保证在第二气体介质进入半导体制备设备时，装置内不存在第一气体介质，以满足半导体制备需求。

8、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，半导体制备的气体切换装置还包括：

9、第一进气接头，第一进气接头的一端与第一三通阀固定连接，且与第一进气口连通，第一进气接头的另一端用于与第一气体介质气源连通。

10、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，半导体制备的气体切换装置还包括：

11、第二进气接头，第二进气接头的一端与第二三通阀固定连接，且与第三进气口连通，第二进气接头的另一端用于与第二气体介质气源连通。

12、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，半导体制备的气体切换装置还包括：

13、连通组件，连通组件上设置有连通流道，第一三通阀的第二进气口和第二三通阀的第二出气口通过连通流道连通。

14、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，连通组件包括：

15、保险阀，保险阀设置于连通流道上，用于控制连通流道的连通或阻断。

16、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，半导体制备的气体切换装置还包括：

17、保护气进气组件，保护气进气组件上设置有保护气流道，保护气体介质气源和第二三通阀的第四进气口通过保护气流道连通。

18、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，保护气进气组件包括：

19、保护气进气接头，保护气进气接头的一端用于与保护气体介质气源连通，另一端通过保护气流道与第二三通阀的第四进气口连通。

20、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，保护气进气组件还包括：

21、第三阀，第三阀设置于保护气流道上，用于控制保护气流道的连通或阻断。

22、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，出气组件包括：

23、出气接头，出气接头的一端用于与半导体制备设备的流体输送系统连通，另一端通过出气流道与第一三通阀的第一出气口连通。

24、可选地，上述的半导体制备的气体切换装置中，出气组件还包括：

25、出气阀，出气阀设置于出气流道上，用于控制出气流道的连通或阻断。

技术特征：

1.一种用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述半导体制备的气体切换装置还包括：

3.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述半导体制备的气体切换装置还包括：

4.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述半导体制备的气体切换装置还包括：

5.根据权利要求4所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述连通组件包括：

6.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述半导体制备的气体切换装置还包括：

7.根据权利要求6所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述保护气进气组件包括：

8.根据权利要求7所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述保护气进气组件还包括：

9.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述出气组件包括：

10.根据权利要求1所述的用于半导体制备的气体切换装置，其特征在于，所述出气组件还包括：

技术总结
本发明公开一种用于半导体制备的气体切换装置，涉及半导体设备技术领域，以解决将不同气源与半导体设备的流体输送系统的进气口拆装费时费力的问题。所述用于半导体制备的气体切换装置包括出气组件、第一三通阀、第二三通阀和控制系统，第一三通阀包括第一进气口、第二进气口和第一出气口，第一进气口与第一气体介质气源连通，第一出气口与出气组件连通；第二三通阀包括第三进气口、第四进气口和第二出气口，第三进气口与第二气体介质气源连通，第四进气口与保护气体介质气源连通，第二出气口与第一三通阀的第二进气口连通；控制系统与第一三通阀和第二三通阀控制连接。发明提供的用于半导体制备的气体切换装置在切换不同的气体时，省时省力。

技术研发人员：张博,耿德占,郭砚钊
受保护的技术使用者：中科艾尔（北京）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12