一种进气法兰、尾气处理装置的制作方法

本发明涉及尾气处理，尤其涉及一种进气法兰、尾气处理装置。

背景技术：

1、由于社会经济快速发展，泛半导体产业例如半导体、太阳能光伏、平板显示和led为代表的产品在生产过程中会产生大量的尾气。这些尾气普遍具有易燃、有毒、高温室效应等性质，处理不当会产生严重的安全事故，造成重大经济损失，也会对人和环境造成严重威胁，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去。

2、无害化处理方法通常是将废气在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放。

3、相关技术中，废气在反应腔氧化时与空气混合不匀，且容易在反应腔内壁积尘。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种进气法兰、尾气处理装置，以解决废气反应腔混气不匀且易积尘的技术问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、第一方面，本发明实施例提供一种进气法兰，用于为尾气处理的反应腔导入空气，所述法兰内具有环形的腔体，沿着所述法兰的外圆周面，所述法兰具有至少一个通孔；

4、所述腔体通过所述至少一个通孔与供气设备连通，所述腔体通过所述法兰的气流通道连通至所述反应腔；

5、所述气流通道为环形的通道，沿着所述反应腔中尾气气流的方向，所述气流通道向靠近所述法兰中心轴的方向倾斜。

6、根据本发明的至少一个实施方式，所述腔体具有与所述至少一个通孔相对的第一壁面，沿着所述反应腔中尾气气流的方向，所述第一壁面向靠近所述法兰中心轴的方向倾斜；

7、所述气流通道形成在所述腔体靠近所述第一壁面的部位。

8、根据本发明的至少一个实施方式，所述法兰靠近所述法兰的内圆周面的部位具有第一凸缘，所述气流通道形成在所述第一凸缘内。

9、根据本发明的至少一个实施方式，所述气流通道的中心轴线与所述法兰的中心轴线之间的夹角为10°～60°；和/或，

10、所述气流通道的宽度为3mm～10mm。

11、根据本发明的至少一个实施方式，所述腔体具有与所述第一壁面相邻的第二壁面，所述腔体的第二壁面具有环形的凸台，沿着所述至少一个通孔到第一壁面的方向，所述凸台位于所述腔体靠近中间的部位；

12、所述腔体还具有与所述第二壁面相对的第三壁面，所述凸台背离所述第二壁面的端面与所述第三壁面之间形成供所述空气通过的狭缝。

13、根据本发明的至少一个实施方式，所述狭缝的高度小于所述腔体高度的一半，所述狭缝的高度与所述腔体的高度之比为(1～2)：5，所述狭缝的高度方向、所述腔体的高度方向均为：所述法兰的中心轴线方向。

14、根据本发明的至少一个实施方式，每个所述通孔与所述凸台的外圆周面相对。

15、根据本发明的至少一个实施方式，每个所述通孔靠近所述法兰外圆周面的部位还具有沉孔，所述沉孔用于与所述供气设备连接。

16、根据本发明的至少一个实施方式，所述通孔的数量为四个，各个所述通孔沿着所述法兰的外圆周面均匀分布。

17、本发明示例性实施例中提供的一个或多个技术方案中，至少可实现如下有益效果之一。

18、(1)进气法兰用于为反应腔导入空气，使得反应腔的尾气与空气充分均匀混合以发生氧化反应进行无害化处理。法兰的内部具有环形的腔体，腔体通过一个或多个通孔与法兰的外圆周面连通，从而可以将外部供气设备的空气导入至腔体中。法兰还具有与反应腔连通的环形的气流通道，气流通道领一端与腔体相连通，基于此，外部供气设备的空气依次通过通孔、腔体和气流通道被导入至反应腔中。由于气流通道沿着反应腔中尾气气流的流向向法兰中心轴倾斜，可以使得空气与尾气在反应腔的中部区域充分混合均匀，同时由于空气向反应腔的中间区域流动，相对于旋流而言，也不易在反应腔的内壁上积尘。

19、(2)本发明示例性实施例杆体的气流通道沿着反应腔中尾气气流的流向向法兰中心轴倾斜，也就是空气的流向与尾气的流向大致相同，其不易产生反流在上一道腔体，例如热分解腔中与废气反应形成积尘。

20、第二方面，本发明实施例还提供一种尾气处理装置，包括反应腔、导向环以及第一方面所述的法兰，所述导向环包括筒体以及位于所述筒体一端的第二凸缘，所述第二凸缘与所述反应腔的进气端连接，所述筒体的另一端延伸至所述反应腔的内部，所述筒体用于阻挡所述气流通道的空气反流至所述反应腔的进气端。

21、所述尾气处理装置相对于现有技术所具有的优势与第一方面提供的法兰相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种进气法兰，其特征在于，用于为尾气处理的反应腔导入空气，所述法兰内具有环形的腔体，沿着所述法兰的外圆周面，所述法兰具有至少一个通孔；

2.根据权利要求1所述的法兰，其特征在于，所述腔体具有与所述至少一个通孔相对的第一壁面，沿着所述反应腔中尾气气流的方向，所述第一壁面向靠近所述法兰中心轴的方向倾斜；

3.根据权利要求2所述的法兰，其特征在于，所述法兰靠近所述法兰的内圆周面的部位具有第一凸缘，所述气流通道形成在所述第一凸缘内。

4.根据权利要求2所述的法兰，其特征在于，所述腔体具有与所述第一壁面相邻的第二壁面，所述第二壁面具有环形的凸台，沿着所述至少一个通孔到第一壁面的方向，所述凸台位于所述第二壁面靠近中间的部位；

5.根据权利要求4所述的法兰，其特征在于，所述狭缝的高度小于所述腔体高度的一半，所述狭缝的高度方向、所述腔体的高度方向均为所述法兰的中心轴线方向。

6.根据权利要求4所述的法兰，其特征在于，每个所述通孔与所述凸台的外圆周面相对。

7.根据权利要求4所述的法兰，其特征在于，每个所述通孔靠近所述法兰的外圆周面的部位还具有沉孔，每个所述沉孔用于与所述供气设备连接。

8.根据权利要求4所述的法兰，其特征在于，所述通孔的数量为多个，各个所述通孔沿着所述法兰的外圆周面均匀分布。

9.根据权利要求8所述的法兰，其特征在于，所述通孔的数量为四个。

10.一种尾气处理装置，其特征在于，包括反应腔、导向环以及权利要求1-9任一项所述的法兰，所述导向环包括筒体以及位于所述筒体一端的第二凸缘，所述第二凸缘与所述反应腔的进气端连接，所述筒体的另一端延伸至所述反应腔的内部，所述筒体用于阻挡所述气流通道的空气反流至所述反应腔的进气端。

技术总结
本发明提供了一种进气法兰、尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，以解决废气反应腔混气不匀且易积尘的技术问题。该进气法兰包括内具有环形的腔体，沿着法兰的外圆周面，法兰具有至少一个通孔；腔体通过至少一个通孔与供气设备连通，腔体通过气流通道连通至反应腔；气流通道为环形的通道，沿着反应腔中尾气气流的方向，气流通道向靠近法兰中心轴的方向倾斜。本发明进气法兰用于为尾气处理的反应腔导入空气。本发明进气法兰通过进气通道的设计，可以使得空气与尾气在反应腔的中部区域充分混合均匀，同时不易使得空气反流到反应腔顶部区域形成积尘，防止反应腔堵塞，提高尾气处理效率。

技术研发人员：杨国庆,叶威,郭潞阳,王福清,刘磊,陈佳明
受保护的技术使用者：上海协微环境科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15