一种水电端头的制作方法

本发明涉及机械部件领域，尤其涉及一种水电端头。

背景技术：

1、节能减排的政策促进节能玻璃大量运用，节能玻璃的需求和节能玻璃的品质都在不断提升。真空磁控溅射镀膜工艺和设备是生产制造节能玻璃的主要技术手段，阴极旋转溅射靶材是生产节能玻璃的主要材料之一，给靶材通电冷却的水电端头是保证溅射均匀性、冷却的关键部件。阴极旋转靶材需要依靠驱动端头进行驱动旋转、水电端头提供溅射电源和冷却水实现溅射镀膜和冷却。

2、保证旋转靶材溅射电源接触良好和冷却效果不仅可以提高靶材的利用率，同时膜层也有很好的均匀性。旋转靶材进行溅射镀膜就需对通过端头给靶材提供大电流，同时还得对靶材进行冷却，还得支撑靶材的重量，所以水电端头是真空溅射镀膜工艺中关键的设备之一。

3、水电端头主要是给靶材输送冷却水以及给阴极位通电，同时支撑成靶材重量的作用。因而必须在其承重的条件下要保持良好的密封，现有的水电端头的密封圈在靶材以及靶材管里面存在的冷却水的重力作用下，前段有微小的变形。这种微小的变形最后就是导致最前段的密封圈受力不均，磨损加快，使用一段时间以后密封效果不佳，端头必须进行密封圈的更换。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提出一种水电端头，旨在解决现有水电端头的密封圈在长期使用下密封效果下降的问题。

2、为实现上述目的，本发明提出的一种水电端头，其中所述水电端头包括：

3、壳体，内设有一侧开口的安装腔；

4、中心轴，设于所述安装腔内，且自所述开口伸出，所述中心轴用以与靶材管连接，以使所述靶材管绕所述中心轴的轴线转动设置；

5、中空轴，设于所述安装腔内，所述中空轴套设于所述中心轴上；

6、密封结构，套设于所述壳体内壁，所述密封结构与所述中空轴能够限定出真空密封腔；以及，

7、多个轴承，沿所述中空轴的轴向间隔设置于所述中空轴与所述密封结构之间的所述真空密封腔内。

8、可选地，所述密封结构包括第一密封组件和第二密封组件，所述第一密封组件套设于所述壳体内壁，所述第一密封组件沿所述中空轴的轴向延伸至所述开口口缘，所述第二密封组件设于所述第一密封组件与所述中空轴之间，所述第一密封组件、所述第二密封组件和所述中空轴能够限定出所述真空密封腔。

9、可选地，所述轴承设有两个；所述第一密封组件包括位于其两端的第一密封段和第二密封段，所述第一密封段与其中一个所述轴承抵接，所述第二密封段与另一所述轴承抵接。

10、可选地，所述壳体包括侧板部和主体部，所述侧板部在所述中心轴的轴向上相对所述开口设置于所述主体部的一端，且所述侧板部的中部用以与所述中心轴远离所述靶材管的一端连接；所述密封结构还包括第三密封组件，所述第三密封组件设于所述侧板部的内侧，用以防止液体进入所述真空密封腔。

11、可选地，所述水电端头还包括设于所述壳体上的两个进出水管；在所述水电端头上形成有冷却水流路，所述冷却水流路形成有一个入口和一个出口，所述入口形成于其中一所述进出水管，所述出口形成于另一所述进出水管，所述冷却水流路其中一段形成于所述中心轴与所述中空轴之间，用以对所述靶材管进行冷却。

12、可选地，在其中一所述进出水管形成有第一流路段，在所述壳体内形成有两个第二流路段，在另一所述进出水管形成有第三流路段，所述中心轴和所述中空轴之间限定出冷却腔；所述第一流路段和所述第三流路段分别与其中一所述第二流路段连通，所述两个第二流路段均与所述冷却腔连通；所述冷却水流路包括所述第一流路段、所述两个第二流路段、所述第三流路段和所述冷却腔；所述入口形成在所述第一流路段，所述出口形成在所述第三流路段。

13、可选地，在其中一所述进出水管内沿其轴向开设有第一流经孔，在另一所述进出水管内沿其轴向开设有第二流经孔；所述两个第二流路段，其中之一与所述第一流经孔连通，另一与所述第二流经孔连通；所述第一流路段包括所述第一流经孔，所述第三流路段包括所述第二流经孔。

14、可选地，所述壳体包括侧板部和主体部，所述侧板部在所述中心轴的轴向上相对所述开口设置于所述主体部的一端，且所述侧板部的中部用以与所述中心轴远离所述靶材管的一端连接；在所述侧板部内形成有连通腔，所述连通腔与所述冷却腔连通；所述主体部上贯设有两个第三流经孔，所述两个第三流经孔均与所述连通腔连通，且所述两个第三流经孔，其中之一与所述第一流路段连通，另一与所述第三流路段连通；所述两个第二流路段包括所述连通腔和所述两个第三流经孔。

15、可选地，所述水电端头还包括通电组件，所述通电组件包括通电模组和通电部，所述通电模组设于所述真空密封腔内，所述通电模组用以向所述靶材管传递电流，所述通电部与所述通电模组电连接，所述通电部用以与外部电源连接。

16、可选地，所述轴承设有两个；所述通电模组设于两个所述轴承之间，所述通电模组与各所述轴承之间均设有隔挡部，所述隔挡部用以防止所述通电模组内的碳粉进入所述轴承。

17、本发明提供的技术方案中，所述水电端头包括壳体、中心轴、中空轴、密封结构和多个轴承，所述壳体内设有一侧开口的安装腔，所述中心轴设于所述安装腔内，且自所述开口伸出，所述中心轴用以与靶材管连接，以使所述靶材管绕所述中心轴的轴线转动设置，所述中空轴设于所述安装腔内，所述中空轴套设于所述中心轴上，所述密封结构套设于所述壳体内壁，所述密封结构与所述中空轴能够限定出真空密封腔，所述多个轴承沿所述中空轴的轴向间隔设置于所述中空轴与所述密封结构之间的所述真空密封腔内。当所述靶材管转动时，所述靶材管将力传递至所述中空轴，由所述中空轴将力传递至所述轴承，最后力从所述轴承传递至所述密封结构，通过在所述中空轴与所述密封结构之间设置多个所述轴承，使所述密封结构受到的力更加平衡，解决了现有的水电端头因仅设置一个轴承致使密封圈受力不均，磨损加快，进而导致密封圈的密封效果下降的问题。

技术特征：

1.一种水电端头，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的水电端头，其特征在于，所述密封结构包括第一密封组件和第二密封组件，所述第一密封组件套设于所述壳体内壁，所述第一密封组件沿所述中空轴的轴向延伸至所述开口口缘，所述第二密封组件设于所述第一密封组件与所述中空轴之间，所述第一密封组件、所述第二密封组件和所述中空轴能够限定出所述真空密封腔。

3.如权利要求2所述的水电端头，其特征在于，所述轴承设有两个；

4.如权利要求1所述的水电端头，其特征在于，所述壳体包括侧板部和主体部，所述侧板部在所述中心轴的轴向上相对所述开口设置于所述主体部的一端，且所述侧板部的中部用以与所述中心轴远离所述靶材管的一端连接；

5.如权利要求1所述的水电端头，其特征在于，还包括设于所述壳体上的两个进出水管；

6.如权利要求5所述的水电端头，其特征在于，在其中一所述进出水管形成有第一流路段，在所述壳体内形成有两个第二流路段，在另一所述进出水管形成有第三流路段，所述中心轴和所述中空轴之间限定出冷却腔；

7.如权利要求6所述的水电端头，其特征在于，在其中一所述进出水管内沿其轴向开设有第一流经孔，在另一所述进出水管内沿其轴向开设有第二流经孔；

8.如权利要求6所述的水电端头，其特征在于，所述壳体包括侧板部和主体部，所述侧板部在所述中心轴的轴向上相对所述开口设置于所述主体部的一端，且所述侧板部的中部用以与所述中心轴远离所述靶材管的一端连接；

9.如权利要求1所述的水电端头，其特征在于，还包括通电组件，所述通电组件包括通电模组和通电部，所述通电模组设于所述真空密封腔内，所述通电模组用以向所述靶材管传递电流，所述通电部与所述通电模组电连接，所述通电部用以与外部电源连接。

10.如权利要求9所述的水电端头，其特征在于，所述轴承设有两个；

技术总结
本发明公开一种水电端头，包括壳体、中心轴、中空轴、密封结构和多个轴承，所述壳体内设有一侧开口的安装腔，所述中心轴设于所述安装腔内，且自所述开口伸出，所述中心轴用以与靶材管连接，以使所述靶材管绕所述中心轴的轴线转动设置，所述中空轴设于所述安装腔内，所述中空轴套设于所述中心轴上，所述密封结构套设于所述壳体内壁，所述密封结构与所述中空轴能够限定出真空密封腔，所述多个轴承沿所述中空轴的轴向间隔设置于所述中空轴与所述密封结构之间的所述真空密封腔内。

技术研发人员：胡成峰,白振中,谢仕武
受保护的技术使用者：长兴旗滨节能玻璃有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/19