化学液供液系统的稳压装置及包含其的供液系统的制作方法

本技术涉及化学液供液系统，尤其是涉及一种化学液供液系统的稳压装置及包含其的供液系统。

背景技术：

1、半导体制造过程中，通常需要采用各种化学液体用于刻蚀技术等，因此化学液供液系统在半导体行业中应用广泛。目前，在化学液供液系统中，大部都选择风表式气动泵进行供液，然而气动泵供液是脉冲式的，对于部分精密设备来讲，脉冲供液的供液压力不够稳定。

2、公开号为cn 109745588 a的中国发明专利申请公开了一种透析浓缩液稳压供液系统，其稳压供液的工作原理是：供液压力探测器用于探测供液压力，把供液压力反馈给控制系统，控制系统根据反馈的压力值调节化学液供应桶气泵的快慢通断，从而实现恒压供液。上述技术方案使用压力传感器和控制系统进行恒压供液，受压力传感器探测精度和控制系统通讯及时性的限制，无法完全解决供液压力轻微波动的问题。

3、因此，开发一种能根据供给液体的实际压力进行实时稳压的化学液供液系统的稳压装置及包含其的供液系统是一个亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、由于现有技术存在上述缺陷，本实用新型提供了一种化学液供液系统的稳压装置及包含其的供液系统，根据供给液体的实际压力进行实时稳压，减少脉冲供液压力的波动。

2、为实现上述目的，一方面，本实用新型提供一种化学液供液系统稳压装置，其特征在于：包括罐体、所述罐体中部的弹性分隔膜；所述罐体被所述分隔膜分为储液腔和气腔；所述储液腔位于上部，所述气腔位于下部；所述储液腔的上壁设有供液管的接口；所述气腔维持一定压力后密封。

3、所述稳压装置的工作原理是：当供液压力大于所述气腔内压力时，分隔膜受到挤压，压力液体被存储于所述储液腔中；当供液压力小于所述气腔内压力时，在气腔的正压力下，分隔膜恢复原状，所述压力液体返回给供液管路，从而保证供液压力实时稳定。

4、进一步地，所述气腔外接带开关的调压阀门和供气罐。

5、进一步地，所述分隔膜不受压时截面呈弧形，突出面朝向所述储液腔。

6、进一步地，所述分隔膜采用聚偏二氟乙烯(pvdf)膜制成。

7、另一方面，本实用新型提供一种化学液供液系统，包括化学液供应桶、供液管、液体泵、用液设备，其特征在于，还包括上述的稳压装置；所述稳压装置设于所述供液管的最下游。

8、进一步地，所述用液设备为1个或1个以上，所述用液设备的进液管为所述供液管的支路。

9、进一步地，所述用液设备为vmb分液设备。

10、进一步地，所述供液管上、所述用液设备的上游设有单向阀。此特征防止供应液体的回流。

11、进一步地，所述供液管上、所述用液设备的上游设有压力表。此特征便于观察供液压力的变化。

12、与现有技术相比，上述实用新型具有如下优点或者有益效果：

13、(1)本实用新型的稳压装置根据供给液体的实际压力进行实时稳压，最大程度减少脉冲供液压力的波动；

14、(2)本实用新型的稳压装置可直接在原有供液管道的终端进行添加即可实现，简单易行，便于推广使用；

15、(3)本实用新型的供液系统结构设计合理，能适用有机、酸、碱等各种化学液，应用范围广泛。

技术特征：

1.一种化学液供液系统的稳压装置，其特征在于：包括罐体(1)、所述罐体(1)中部的弹性分隔膜(2)；所述罐体(1)被所述分隔膜(2)分为储液腔(11)和气腔(12)；所述储液腔(11)位于上部，所述气腔(12)位于下部；所述储液腔(11)的上壁设有供液管(3)的接口；所述气腔(12)维持一定压力后密封。

2.根据权利要求1所述的一种化学液供液系统的稳压装置，其特征在于，所述气腔(12)外接带开关的调压阀门(4)和供气罐(5)。

3.根据权利要求1或2所述的一种化学液供液系统的稳压装置，其特征在于，所述分隔膜(2)不受压时截面呈弧形，突出面朝向所述储液腔(11)。

4.根据权利要求3所述的一种化学液供液系统的稳压装置，其特征在于，所述分隔膜(2)采用聚偏二氟乙烯膜制成。

5.一种化学液供液系统，包括化学液供应桶(6)、供液管(3)、液体泵(7)、用液设备(8)，其特征在于，还包括权利要求1至4任一项所述的稳压装置；所述稳压装置设于所述供液管(3)的最下游。

6.根据权利要求5所述的一种化学液供液系统，其特征在于，所述用液设备(8)为1个或1个以上，所述用液设备(8)的进液管为所述供液管(3)的支路。

7.根据权利要求6所述的一种化学液供液系统，其特征在于，所述用液设备(8)为vmb分液设备。

8.根据权利要求5或6所述的一种化学液供液系统，其特征在于，所述供液管(3)上、所述用液设备(8)的上游设有单向阀(9)。

9.根据权利要求8所述的一种化学液供液系统，其特征在于，所述供液管(3)上、所述用液设备(8)的上游设有压力表(10)。

技术总结
本申请提供了一种化学液供液系统稳压装置及包含其的供液系统。所述稳压装置包括罐体、所述罐体中部的弹性分隔膜；所述罐体被所述分隔膜分为储液腔和气腔；所述储液腔位于上部，所述气腔位于下部；所述储液腔的上壁设有供液管的接口；所述气腔维持一定压力后密封。当供液压力大于所述气腔内压力时，分隔膜受到挤压，压力液体被存储于所述储液腔中；当供液压力小于所述气腔内压力时，在气腔的正压力下，分隔膜恢复原状，所述压力液体返回给供液管路，从而保证供液压力实时稳定。本技术的装置可直接在原有供液管道的终端进行添加即可实现，简单易行，便于推广使用。

技术研发人员：丁红伟,张耀文
受保护的技术使用者：上海亿鼎电子系统集成有限公司
技术研发日：20230220
技术公布日：2024/1/13