龙门双驱结构的制作方法

本申请涉及自动化设备，具体涉及一种龙门双驱结构。

背景技术：

1、在半导体的加工工序中，常常需要对工件进行运输，龙门双驱结构可以应用在半导体加工设备中对工件进行运输，从而保证半导体设备的高精度的加工。

2、现有的龙门双驱结构通常会安装有拖链，拖链能保护与龙门双驱结构电性连接的线缆。拖链通常会安装在托板上，拖链和托板会增加半导体设备的空间占用率，此外，拖链的移动会使得龙门双驱结构工作时产生噪音；拖链在托板上摩擦会影响龙门双驱结构的速度和精度，使得半导体设备难以保证高速高精度的需求。

技术实现思路

1、本申请提供一种龙门双驱结构，该龙门双驱结构能解决拖链安装在龙门双驱结构中产生的一系列问题。

2、为了解决上述技术问题，本申请提供了一种龙门双驱结构，包括基座、第一y轴支撑座组件、第二y轴支撑座组件、x轴支撑座组件、第一连接板以及波纹管接头组件。第一y轴支撑座组件包括第一y轴支撑座、第一滑动组件和第一驱动组件，第一y轴支撑座设于基座上，第一滑动组件以及第一驱动组件设于第一y轴支撑座上；第二y轴支撑座组件包括第二y轴支撑座、第二滑动组件和第二驱动组件，第二y轴支撑座设于基座上，第二滑动组件以及第二驱动组件设于第二y轴支撑座上；x轴支撑座组件包括x轴支撑座、第三滑动组件和第三驱动组件，x轴支撑座的两端分别和第一滑动组件以及第二滑动组件滑动连接，第一驱动组件能够驱动第一滑动组件相对第一y轴支撑座往复运动，第二驱动组件能够驱动第二滑动组件相对第二y轴支撑座往复运动；第一连接板用于安装待驱动机构，第一连接板与第三滑动组件连接，第三驱动组件能够驱动第三滑动组件相对x轴支撑座往复运动；波纹管接头组件设置于第一y轴支撑座、第二y轴支撑座以及x轴支撑座中的至少一个上，波纹管接头组件用于连接波纹管，以使第一驱动组件、第二驱动组件以及第三驱动组件通过波纹管内的线缆与电控设备电性连接。

3、在一种实施例中，第一y轴支撑座的延伸方向与第二y轴支撑座的延伸方向平行，第一滑动组件的延伸方向与第二滑动组件的延伸方向平行，x轴支撑座的延伸方向与第一y轴支撑座的延伸方向以及第一y轴支撑座的延伸方向垂直，所述第三滑动组件的延伸方向与所述第一滑动组件的延伸方向垂直；第一滑动组件设置于第一y轴支撑座的上表面，第二滑动组件设置于第二y轴支撑座的上表面，第三滑动组件设置于x轴支撑座的前表面或者后表面。

4、在一种实施例中，波纹管接头组件包括第一波纹管接头、第二波纹管接头以及第三波纹管接头，第一波纹管接头设置于x轴支撑座靠近第一y轴支撑座的一端，第二波纹管接头设置于x轴支撑座靠近第二y轴支撑座的一端，第三波纹管结构设置于x轴支撑座上。

5、在一种实施例中，第一滑动组件包括滑动连接的第一导轨和第一滑块，第二滑动组件包括滑动连接的第二导轨和第二滑块，第三滑动组件包括滑动连接的第三导轨和第三滑块；龙门双驱结构还包括第二连接板和第三连接板，第二连接板的两端分别与第一滑块以及x轴支撑座的一端固定连接，第三连接板的两端分别与第二滑块以及x轴支撑座的另一端固定连接。

6、在一种实施例中，第一驱动组件包括第一直线电机和第一电机安装件，第二驱动组件包括第二直线电机和第二电机安装件，第一电机安装件具有第一定子安装槽，第一直线电机的两个定子安装在第一定子安装槽的相对的两侧壁上，第一直线电机的动子的一端固定在第二连接板上，另一端设于第一直线电机的两个定子之间的间隙中；第二电机安装件具有第二定子安装槽，第二直线电机的两个定子安装在第二定子安装槽的相对的两侧壁上，第二直线电机的动子的一端固定在第三连接板上，另一端设于第二直线电机的两个定子之间的间隙中。

7、在一种实施例中，第一导轨设置于第一y轴支撑座的上表面，第一滑块以及第一直线电机的动子与第二连接板的下表面固定连接；第二导轨设置于第二y轴支撑座的上表面，第二滑块以及第二直线电机的动子与第三连接板的下表面固定连接。

8、在一种实施例中，第一y轴支撑座上具有第一安装槽，第一安装槽的开口朝上，第一安装槽凹陷于第一y轴支撑座的侧表面，第一驱动组件安装于第一安装槽；第二y轴支撑座上具有第二安装槽，第二安装槽的开口朝上第二安装槽凹陷于第二y轴支撑座的侧表面，第二驱动组件安装于第二安装槽；x轴支撑座上具有第三安装槽，第三安装槽凹陷于x轴支撑座的侧表面，第三驱动组件以及第三滑动组件设置于第三安装槽。

9、在一种实施例中，基座、第一y轴支撑座、第二y轴支撑座以及x轴支撑座的材质为大理石。

10、在一种实施例中，龙门双驱结构还包括第一光栅尺、第二光栅尺以及第三光栅尺，第一光栅尺设置于第一y轴支撑座上，第一光栅尺用于检测x轴支撑座相对第一y轴支撑座滑动的位移，第二光栅尺设置于第二y轴支撑座上，第二光栅尺用于检测x轴支撑座相对第二y轴支撑座滑动的位移，第三光栅尺设置于x轴支撑座上，第三光栅尺用于检测第一连接板相对x轴支撑座滑动的位移。

11、在一种实施例中，第一连接板用于安装贴合机构和视觉机构，视觉机构用于对芯片、焊片或电阻的位置拍照定位，贴合结构用于吸附芯片、焊片或电阻以及调整芯片、焊片或电阻的位置。

12、本申请提供的龙门双驱结构中，第一y轴支撑座组件包括第一y轴支撑座、第一滑动组件和第一驱动组件，第一y轴支撑座设于基座上，第一滑动组件以及第一驱动组件设于第一y轴支撑座上；第二y轴支撑座设于基座上，第二滑动组件以及第二驱动组件设于第二y轴支撑座上；x轴支撑座组件包括x轴支撑座、第三滑动组件和第三驱动组件，x轴支撑座的两端分别和第一滑动组件以及第二滑动组件滑动连接，第一驱动组件能驱动x轴支撑座相对第一y轴支撑座往复运动，第二驱动组件能够驱动x轴支撑座相对第二y轴支撑座往复运动。波纹管接头组件设置于第一y轴支撑座、第二y轴支撑座以及x轴支撑座中的至少一个上，波纹管接头组件用于连接波纹管，以使第一驱动组件、第二驱动组件以及第三驱动组件通过波纹管内的线缆与电控设备电性连接。波纹管接头组件能将波纹管连接在龙门双驱结构上，以保护龙门双驱结构与电控设备电性连接的线缆。波纹管代替拖链，波纹管接头组件安装在龙门双驱结构上，相比于托板安装在龙门双驱结构上能减小半导体设备的空间占用率；此外，波纹管接头组件安装波纹管的结构，由于波纹管接头组件和波纹管之间没有摩擦力的干扰，相比于托板安装拖链的结构，提高了龙门双驱结构的运动速度和精度；波纹管的运动几乎不会发出声音，相比于拖链的运动，能减小龙门双驱结构的噪音。

技术特征：

1.一种龙门双驱结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一y轴支撑座的延伸方向与所述第二y轴支撑座的延伸方向平行，所述第一滑动组件的延伸方向与所述第二滑动组件的延伸方向平行，所述x轴支撑座的延伸方向与所述第一y轴支撑座的延伸方向垂直，所述第三滑动组件的延伸方向与所述第一滑动组件的延伸方向垂直；所述第一滑动组件设置于所述第一y轴支撑座的上表面，所述第二滑动组件设置于所述第二y轴支撑座的上表面，所述第三滑动组件设置于所述x轴支撑座的前表面或者后表面。

3.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述波纹管接头组件包括第一波纹管接头、第二波纹管接头以及第三波纹管接头，所述第一波纹管接头设置于所述x轴支撑座靠近所述第一y轴支撑座的一端，所述第二波纹管接头设置于所述x轴支撑座靠近所述第二y轴支撑座的一端，所述第三波纹管结构设置于所述x轴支撑座上。

4.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一滑动组件包括滑动连接的第一导轨和第一滑块，所述第二滑动组件包括滑动连接的第二导轨和第二滑块，所述第三滑动组件包括滑动连接的第三导轨和第三滑块；所述龙门双驱结构还包括第二连接板和第三连接板，所述第二连接板的两端分别与所述第一滑块以及所述x轴支撑座的一端固定连接，所述第三连接板的两端分别与所述第二滑块以及所述x轴支撑座的另一端固定连接。

5.根据权利要求4所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一直线电机和第一电机安装件，所述第二驱动组件包括第二直线电机和第二电机安装件，所述第一电机安装件具有第一定子安装槽，所述第一直线电机的两个定子安装在所述第一定子安装槽的相对的两侧壁上，所述第一直线电机的动子的一端固定在所述第二连接板上，另一端设于所述第一直线电机的两个定子之间的间隙中；所述第二电机安装件具有第二定子安装槽，所述第二直线电机的两个定子安装在所述第二定子安装槽的相对的两侧壁上，所述第二直线电机的动子的一端固定在所述第三连接板上，另一端设于所述第二直线电机的两个定子之间的间隙中。

6.根据权利要求5所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一导轨设置于所述第一y轴支撑座的上表面，所述第一滑块以及所述第一直线电机的动子与所述第二连接板的下表面固定连接；所述第二导轨设置于所述第二y轴支撑座的上表面，所述第二滑块以及所述第二直线电机的动子与所述第三连接板的下表面固定连接。

7.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一y轴支撑座上具有第一安装槽，所述第一安装槽的开口朝上，所述第一安装槽凹陷于所述第一y轴支撑座的侧表面，所述第一驱动组件安装于所述第一安装槽；所述第二y轴支撑座上具有第二安装槽，所述第二安装槽的开口朝上，所述第二安装槽凹陷于所述第二y轴支撑座的侧表面，所述第二驱动组件安装于所述第二安装槽；所述x轴支撑座上具有第三安装槽，所述第三安装槽凹陷于所述x轴支撑座的侧表面，所述第三驱动组件以及所述第三滑动组件设置于所述第三安装槽。

8.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述基座、所述第一y轴支撑座、所述第二y轴支撑座以及所述x轴支撑座的材质为大理石。

9.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述龙门双驱结构还包括第一光栅尺、第二光栅尺以及第三光栅尺，所述第一光栅尺设置于所述第一y轴支撑座上，所述第一光栅尺用于检测所述x轴支撑座相对所述第一y轴支撑座滑动的位移，所述第二光栅尺设置于所述第二y轴支撑座上，所述第二光栅尺用于检测所述x轴支撑座相对所述第二y轴支撑座滑动的位移，所述第三光栅尺设置于所述x轴支撑座上，所述第三光栅尺用于检测所述第一连接板相对所述x轴支撑座滑动的位移。

10.根据权利要求1所述的龙门双驱结构，其特征在于，所述第一连接板用于安装贴合机构和视觉机构，所述视觉机构用于对芯片、焊片或电阻的位置拍照定位，所述贴合结构用于吸附所述芯片、焊片或电阻以及调整所述芯片、焊片或电阻的位置。

技术总结
本申请提供的龙门双驱结构，第一Y轴支撑座设于基座上，第一滑动组件以及第一驱动组件设于第一Y轴支撑座上。第二Y轴支撑座设于基座上，第二滑动组件以及第二驱动组件设于第二Y轴支撑座上。X轴支撑座两端分别和第一滑动组件以及第二滑动组件连接，第一驱动组件能驱动第一滑动组件相对第一Y轴支撑座往复运动，第二驱动组件能驱动第二滑动组件相对第二Y轴支撑座往复运动；波纹管接头组件用于连接波纹管，第一驱动组件、第二驱动组件以及第三驱动组件通过波纹管内的线缆与电控设备电性连接。通过波纹管接头将波纹管连接龙门双驱结构，波纹管代替拖链，能减小半导体设备的空间占用率，提高龙门双驱结构的速度和精度，减小龙门双驱结构的噪音。

技术研发人员：詹友仁,易晶,杜永辉,杨银涛,赵文龙,李伟
受保护的技术使用者：深圳科瑞技术股份有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15