一种高精度减振装置及固晶机的制作方法

本技术涉及减振，尤其涉及一种高精度减振装置及固晶机。

背景技术：

1、在晶片生产领域，固晶机是一种重要的设备。随着技术的发展，对于固晶机精度的要求越来越高。而固晶机的减震性能是影响其精度的重要因素。

2、在高精度下，设备容易受到外界及其自身产生的振动影响；若外界振动及自身振动恰好引发共振，易导致工艺单元精度下降；而设备实际使用环境的不同，也会导致设备产生不同程度的精度下降。现有技术中，通常是通过减振护垫的方式来提高固晶机的减振性能，然而，发明人研究发现，上述减振并不能够满足固晶机中一些高精度单元的减振需求。

技术实现思路

1、本实用新型实施例所要解决的技术问题是如何提高固晶机的减振性能。

2、为了解决上述问题，第一方面，本实用新型实施例提出一种高精度减振装置，包括第一减振单元、机架、第二减振单元、安装平台以及高精度工艺单元；所述第一减振单元设于所述机架的下侧；所述第二减振单元设于所述机架的上侧，且设于所述安装平台的下侧；所述高精度工艺单元设于所述安装平台的上侧。

3、其进一步的技术方案为，所述第一减振单元的数量为多个，多个所述第一减振单元均匀分布在所述机架的下侧。

4、其进一步的技术方案为，所述第二减振单元的数量为多个，多个所述第二减振单元均匀分布于所述安装平台的下侧。

5、其进一步的技术方案为，所述第二减振单元的数量为多个，所述安装平台包括承重区域以及常规区域，所述承重区域为所述安装平台中对应于所述高精度工艺单元的重心的区域，所述常规区域为所述安装平台中除了所述承重区域以外的区域，所述承重区域下侧设置的所述第二减振单元的数量大于所述常规区域下侧设置的所述第二减振单元的数量。

6、其进一步的技术方案为，所述第一减振单元为减振脚杯，所述减振脚杯包括安装杆以及减振底座，所述安装杆的一端与所述减振底座连接，所述安装杆的另一端与所述机架的下侧连接。

7、其进一步的技术方案为，所述第二减振单元为被动减振器以及主动减振器中的至少一种；所述被动减振器为气浮减振器、减振垫以及阻尼减振器中的至少一种。

8、其进一步的技术方案为，所述减振垫的材质为橡胶或者聚氨酯复合材料。

9、其进一步的技术方案为，所述高精度减振装置还包括普通工艺单元，所述普通工艺单元设于所述机架的上侧。

10、其进一步的技术方案为，所述安装平台为大理石平台；所述高精度工艺单元包括取晶单元、焊头单元、助焊剂单元以及aoi压痕检查单元中的至少一种；所述普通工艺单元包括上料单元、下料单元以及视觉检查单元中的至少一种。

11、第二方面，本实用新型实施例提出一种固晶机，所述固晶机包括如第一方面所述的高精度减振装置。

12、与现有技术相比，本实用新型实施例所能达到的技术效果包括：

13、本实用新型实施例提出一种高精度减振装置，该高精度减振装置中，所述第一减振单元设于所述机架的下侧；所述第二减振单元设于所述机架与所述安装平台之间；所述高精度工艺单元设于所述安装平台的上侧；通过第一减振单元能够对固晶机进行全局减振，同时通过第二减振单元对高精度单元进行局部减振，能够有效提高高精度单元的稳定性，从而提高了高精度单元的精度。

技术特征：

1.一种高精度减振装置，其特征在于，包括第一减振单元、机架、第二减振单元、安装平台以及高精度工艺单元；所述第一减振单元设于所述机架的下侧；所述第二减振单元设于所述机架的上侧，且设于所述安装平台的下侧；所述高精度工艺单元设于所述安装平台的上侧；

2.根据权利要求1所述的高精度减振装置，其特征在于，所述第一减振单元的数量为多个，多个所述第一减振单元均匀分布在所述机架的下侧。

3.根据权利要求1所述的高精度减振装置，其特征在于，所述第二减振单元的数量为多个，多个所述第二减振单元均匀分布于所述安装平台的下侧。

4.根据权利要求1所述的高精度减振装置，其特征在于，所述第一减振单元为减振脚杯，所述减振脚杯包括安装杆以及减振底座，所述安装杆的一端与所述减振底座连接，所述安装杆的另一端与所述机架的下侧连接。

5.根据权利要求1所述的高精度减振装置，其特征在于，所述第二减振单元为被动减振器以及主动减振器中的至少一种；所述被动减振器为气浮减振器、减振垫以及阻尼减振器中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的高精度减振装置，其特征在于，所述减振垫的材质为橡胶或者聚氨酯复合材料。

7.根据权利要求1所述的高精度减振装置，其特征在于，所述高精度减振装置还包括普通工艺单元，所述普通工艺单元设于所述机架的上侧。

8.根据权利要求7所述的高精度减振装置，其特征在于，所述安装平台为大理石平台；所述高精度工艺单元包括取晶单元、焊头单元、助焊剂单元以及aoi压痕检查单元中的至少一种；所述普通工艺单元包括上料单元、下料单元以及视觉检查单元中的至少一种。

9.一种固晶机，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的高精度减振装置。

技术总结
本技术实施例公开了一种高精度减振装置及固晶机，涉及减振技术领域。高精度减振装置包括第一减振单元、机架、第二减振单元、安装平台以及高精度工艺单元；所述第一减振单元设于所述机架的下侧；所述第二减振单元设于所述机架的上侧，且设于所述安装平台的下侧；所述高精度工艺单元设于所述安装平台的上侧。本技术实施例中，通过第一减振单元能够对固晶机进行全局减振，同时通过第二减振单元对高精度单元进行局部减振，能够有效提高高精度单元的稳定性，从而提高了高精度单元的精度。

技术研发人员：蒋钱磊,钱震东,喻泷,余雄
受保护的技术使用者：深圳鼎晶科技有限公司
技术研发日：20230816
技术公布日：2024/3/27