应用于真空法兰的密封结构的制作方法

本发明涉及半导体芯片检测领域，尤其涉及真空密封法兰结构领域，具体是指一种应用于真空法兰的密封结构。

背景技术：

1、在以往的真空密封法兰结构中，都是将真空仓内及真空仓外分成独立的两个部分，在真空法兰内壁和外壁上安装上适配光缆或者光纤束的接头，让内外两部分光缆或者光纤束对接进行耦合。这种结构的最大弊端是将一根完整穿过真空法兰的光缆或者光纤束分成两个部分进行接头对接，这样就增加了一次接头耦合损耗，从而降低了光缆或者光纤束的整体传输效率。

技术实现思路

1、本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种满足密封性好、传输效率高、适用范围较为广泛的应用于真空法兰的密封结构。

2、为了实现上述目的，本发明的应用于真空法兰的密封结构如下：

3、该应用于真空法兰的密封结构，其主要特点是，所述的结构包括光缆或光纤束、真空法兰、法兰插芯，所述的真空法兰的中心添加有一个法兰插芯，所述的法兰插芯的中间段为中空结构，所述的光缆或光纤束去掉外部铠装后从法兰插芯的中空结构穿过。

4、较佳地，所述的结构还包括加固顶丝，所述的法兰插芯与光缆或光纤束的中心裸露部位通过胶水密封，法兰插芯的两边通过加固顶丝固定。

5、较佳地，所述的结构还包括接头金属套圈，所述的光缆外部不锈钢保护套管包裹在光缆或光纤束外面，且穿过法兰插芯的中空结构的光缆或光纤束外未包裹所述的光缆外部不锈钢保护套管。

6、较佳地，所述的结构还包括光纤束融合石英端面，所述的光纤束融合石英端面设置在所述的光缆外部不锈钢保护套管的两边。

7、较佳地，所述的结构还包括光缆外部不锈钢保护套管，所述的接头金属套圈安装在光纤束融合石英端面的两端。

8、采用了本发明的应用于真空法兰的密封结构，就能实现完全密封的结构同时还用一根光缆或者光纤束就能完成传输工作，保证了传输效率。本设计也能保证不同规格的真空法兰在密封性上和理论值保持一致，不会破坏原有的密封性。

技术特征：

1.一种应用于真空法兰的密封结构，其特征在于，所述的结构包括光缆或光纤束、真空法兰、法兰插芯，所述的真空法兰的中心添加有一个法兰插芯，所述的法兰插芯的中间段为中空结构，所述的光缆或光纤束去掉外部铠装后从法兰插芯的中空结构穿过。

2.根据权利要求1所述的应用于真空法兰的密封结构，其特征在于，所述的结构还包括加固顶丝，所述的法兰插芯与光缆或光纤束的中心裸露部位通过胶水密封，法兰插芯的两边通过加固顶丝固定。

3.根据权利要求1所述的应用于真空法兰的密封结构，其特征在于，所述的结构还包括接头金属套圈，所述的光缆外部不锈钢保护套管包裹在光缆或光纤束外面，且穿过法兰插芯的中空结构的光缆或光纤束外未包裹所述的光缆外部不锈钢保护套管。

4.根据权利要求3所述的应用于真空法兰的密封结构，其特征在于，所述的结构还包括光纤束融合石英端面，所述的光纤束融合石英端面设置在所述的光缆外部不锈钢保护套管的两边。

5.根据权利要求4所述的应用于真空法兰的密封结构，其特征在于，所述的结构还包括光缆外部不锈钢保护套管，所述的接头金属套圈安装在光纤束融合石英端面的两端。

技术总结
本发明涉及一种应用于真空法兰的密封结构，包括光缆或光纤束、真空法兰、法兰插芯，所述的真空法兰的中心添加有一个法兰插芯，所述的法兰插芯的中间段为中空结构，所述的光缆或光纤束去掉外部铠装后从法兰插芯的中空结构穿过。采用了本发明的应用于真空法兰的密封结构，就能实现完全密封的结构同时还用一根光缆或者光纤束就能完成传输工作，保证了传输效率。本设计也能保证不同规格的真空法兰在密封性上和理论值保持一致，不会破坏原有的密封性。

技术研发人员：田攀,王天华,沃尔夫冈·纽伯格
受保护的技术使用者：浙江赛瑞欧光电有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/5