1.一种振镜驱动装置，包括：
2.根据权利要求1所述的振镜驱动装置，其中，所述阻尼装置由损耗因子的值大于或等于0.001和/或小于或等于2的材料组成，所述损耗因子的值优选大于或等于0.01和/或小于或等于2。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述径向移动限制装置和所述阻尼装置串联布置在所述定子单元（130）和所述浮动轴承（150）之间。
4.根据权利要求1至2中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述径向移动限制装置和所述阻尼装置彼此平行地布置在所述定子单元（130）和所述浮动轴承（150）之间。
5.根据权利要求1至2中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述阻尼装置具有第一阻尼部和第二阻尼部，其中，所述第一阻尼部与所述径向移动限制装置平行布置在所述定子单元（130）和所述浮动轴承（150）之间，并且所述第二阻尼部和所述径向移动限制装置串联布置在所述转子单元（130）和所述浮动轴承（150）之间。
6. 根据权利要求1至2中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述径向移动限制装置和所述阻尼装置由径向移动限制阻尼装置实现，所述径向移动限制阻尼装置适于限制所述浮动轴承（150）相对于所述定子单元（130）的径向移动以及阻尼所述转子垂直于所述转子轴线的振动。
7.根据前述权利要求中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述浮动轴承（150）包括外环（150a）、内环（150b）、和位于所述内环和所述外环之间的多个滚动元件，并且
8.根据前述权利要求中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述浮动轴承（150）处的径向刚度与轴向刚度之比大于10，优选大于50，更优选大于100。
9.根据前述权利要求中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述径向移动限制装置是附接到所述浮动轴承（150）的弹簧元件（280），所述弹簧元件向所述浮动轴承（150）施加轴向压力，其中，所述弹簧元件（280）通过一部分（281）刚性附接到所述浮动轴承（150）并通过另一部分（282）刚性附接到所述定子单元（130）。
10.根据权利要求9所述的振镜驱动装置，其中，所述弹簧元件（280）具有n个叶片弹簧元件（283）的旋转对称布置，特别是旋转对称星形布置，其中，n是大于或等于3的自然数。
11.根据权利要求10所述的振镜驱动装置，其中，所述叶片弹簧元件（283）的数量n小于或等于100，优选小于或等于20，更优选小于或等于8。
12.根据权利要求9所述的振镜驱动装置，其中，所述弹簧元件（280）被形成为盘形弹簧或膜片弹簧，优选地具有多个旋转对称布置的凹部。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述弹簧元件（280）在径向方向上的位移刚度比在轴向方向上的弹簧刚度大至少50倍，优选至少100倍，更优选至少300倍。
14.根据权利要求9至13中任一项所述的振镜驱动装置，其中，所述径向方向上的位移刚度具有高于0.5kn/mm的值，优选高于2kn/mm且低于1000kn/mm。
15. 一种振镜扫描仪，包括：
16.根据权利要求15所述的振镜扫描仪，所述振镜扫描仪被配置为使得垂直于所述旋转轴（r）的振动被以阻尼比阻尼，所述阻尼比的值大于或等于0.002，优选大于或等于0.02和/或小于或等于1，优选小于或等于0.2。