一种化学供应系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种化学供应系统，包括：输入输出盘、数据采集盘，化学供应机台、设备机台及阀箱；其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。本实用新型在网络线、数据采集盘有问题以及网络堵塞而断信的情况下，能够保证化学供应机台也正常提供化学品，保证供应零中断，并为系统的维护、整改、测试等操作提供有力的保障。
【专利说明】一种化学供应系统
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体设备领域，特别是涉及一种化学供应系统。
【背景技术】
[0002]鉴于半导体行业的特殊性，即需要使用大量的具有巨毒和高腐蚀性的化学品来满足生产制成的需要，针对这些巨毒化学品的供应，半导体业界通常都是采用信号接受和发送的方式来实现相互的通讯，它们之间最终会通过Ethernet网络来实现信号的通讯，但是如果网络任何一处出现问题将会直接导致全厂化学品供应系统的中断。
[0003]现有的一种化学供应系统如图1所示，其包括:输入输出盘、数据采集盘、化学供应机台、设备机台及阀箱；所述输入输出盘及数据采集盘之间通过网络(Ethernet网络)连接，所述数据采集盘及化学供应机之间也通过网络连接，所述设备机台通过化学输送管道与所述化学供应机台连接，所述阀箱连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连。
[0004]上述化学供应系统的工作的过程为:当设备机台需要化学品时，会向所述输入输出盘提供一个请求信号Request,此时,所述输入输出盘会向阀箱发送信号使其打开,然后所述请求信号Request通过输入输出盘用网络传输到数据采集盘，再由数据采集盘通过网络传输到化学供应机台，此时化学供应机台的可编程逻辑控制器(PLC)会控制供应驱动泵作动和对应的路径中的所有气动阀打开，然后通过化学品输送管路供应给设备机台。
[0005]以上的化学供应系统目前遇到的问题有:
[0006]I)当Ethernet网络线有问题的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台所发出的请求信号Request ；
[0007]2)当数据采集盘有问题的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台所发出的请求信号Request ；
[0008]3)当整个网络出现网络堵塞或者网络断信的时候，所述化学供应机台无法收到设备机台发出的请求信号Request ；
[0009]当出现以上情况时，化学供应机台无法接收到所述设备机台所发送的请求信号Request,所述化学供应机台没有收到请求信号Request时,是不会启动供应驱动泵和气动阀的，这样就会导致设备机台所需的化学品供应中断，导致设备机台无法正常工作，会严重影响生产的连续性和产品的良率。
[0010]鉴于以上缺陷，提供一种在请求信号中断时，能继续保证化学供应机台正常提供化学品的化学供应系统实属必要。
实用新型内容
[0011]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种化学供应系统，用于解决现有技术中由于设备故障、网络通讯失败、以及网络拥堵等种种异常情况而导致化学机台无法正常供应化学品的问题。[0012]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种化学供应系统，包括:
[0013]输入输出盘；
[0014]数据采集盘，通过网络与所述输入输出盘连接；
[0015]化学供应机台，通过网络与所述数据集中盘连接；
[0016]设备机台，通过化学输送管道与所述化学供应机台连接；
[0017]阀箱，连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连；
[0018]其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。
[0019]作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述化学供应系统还包括报警装置，所述报警装置在所述化学供应机台无法接受到所述设备机台的请求信号时发出警报。
[0020]作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述化学供应机台设置有可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器在接收到所述强制请求信号时控制化学供应机台中的驱动泵以及设备机台中的气动阀的开启。
[0021]进一步地，所述开关单元为手动开关、或由所述可编程逻辑控制器控制的自动开关。
[0022]作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述继电器为电磁式继电器。
[0023]作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述继电器为常开式继电器。
[0024]作为本实用新型的化学供应系统的一种优选方案，所述开关单元为硬线开关。
[0025]如上所述，本实用新型提供一种化学供应系统，包括:输入输出盘；数据采集盘，通过网络与所述输入输出盘连接；化学供应机台，通过网络与所述数据集中盘连接；设备机台，通过化学输送管道与所述化学供应机台连接；阀箱，连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连；其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。本实用新型具有以下有益效果:
[0026]I)当网络线、数据采集盘有问题以及网络堵塞而断信的情况下，化学供应机台也能够正常提供化学品，保证供应零中断；
[0027]2)方便网络和数据采集盘在出现问题时关闭维修，当网络和数据采集盘出现问题需要整改时可以在保证系统正常供应的情况下随时整改与维修；
[0028]3)方便以后化学供应系统的扩充，或更变网络的组态；
[0029]4)增加强制请求功能，方便平时化学供应系统的维护和测试。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1显示为现有技术中的化学供应系统结构示意图。[0031]图2显示为本实用新型的化学供应系统结构示意图。
[0032]元件标号说明
[0033]10输入输出盘
[0034]20数据采集盘
[0035]30化学供应机台
[0036]40设备机台
[0037]50 阀箱
[0038]301 DO输出模块
[0039]302 DI输入模块
[0040]303继电器
[0041]304开关单元
【具体实施方式】
[0042]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0043]请参阅图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0044]如图2所示，本实施例提供本实用新型提供一种化学供应系统，包括:
[0045]输入输出盘10 ；
[0046]数据采集盘20，通过网络与所述输入输出盘10连接；
[0047]化学供应机台30，通过网络与所述数据集中盘连接；
[0048]设备机台40，通过化学输送管道与所述化学供应机台30连接；
[0049]阀箱50，连接于所述化学工艺机台30及设备机台40之间，并与所述输入输出盘10相连；
[0050]其中，所述化学供应机台30设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元304以及继电器303 ;所述开关单元304 —端接电源负极，另一端接继电器303的第一控制端；所述继电器303的第一控制端接化学供应机台30的DO输出模块301用以控制继电器303的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台30的DI输入模块302用以输入强制请求信号。
[0051]作为示例，所述化学供应系统还包括报警装置，所述报警装置在所述化学供应机台30无法接受到所述设备机台40的请求信号时发出警报。
[0052]作为示例，所述化学供应机台30设置有可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器在接收到所述强制请求信号时控制化学供应机台30中的驱动泵以及设备机台40中的气动阀的开启。在本实施例中，所述驱动泵为气动泵或氮压泵。[0053]作为示例，所述继电器303为电磁式继电器，并且所述继电器303为常开式继电器，其具有控制系统和被控制系统。具体地，在本实施例中，所述电磁式继电器由铁芯、线圈、衔铁、弹簧片等组成。其工作原理为:在线圈(控制系统)两端加上一定的电压，线圈中就会流过一定的电流，从而产生电磁效应，衔铁(被控制系统)就会在电磁力吸引的作用下克服弹簧片的作用力力吸向铁芯，从而带动衔铁的动触点与静触点吸合，这时，被控制系统导通。当线圈断电后，电磁的吸力也随之消失，衔铁就会在弹簧的反作用力返回原来的位置，这时，被控制系统断开。这样吸合、释放，从而达到了在电路中的导通、切断的目的。所述常开式继电器是指在控制系统没有电流的时候，所述被控制系统为开路。
[0054]作为示例，所述开关单元304为手动开关、或由所述可编程逻辑控制器控制的自动开关。具体地，所述手动开光包括拨键开关及按键开关等。
[0055]作为示例，所述开关单元304为硬线开关。
[0056]另外，图2中N24代表电源负极，其电压为24V，P24代表电源正极，其电压为24V。显然，不同的化学供应系统所采用的电压可能并不相同，因此，本实用新型的方案本不限定于此。
[0057]本实施例的化学供应系统具体的工作原理如下:
[0058]当所述化学供应系统各组成部分完全正常工作的情况下，化学供应机台30向设备机台40正常供应化学品，此时，所述强制请求信号控制电路的开关单元304断开，使所述强制请求信号控制电路处于断开状态，也就是不工作状态；
[0059]当所述化学供应系统发生如设备故障、网络通讯失败、以及网络拥堵等情况时，所述化学供应机台30不能正常接收设备机台40发送的请求信号，此时，所述报警装置发出警报，工作人员或者通过改变可编程逻辑控制器的程序使所述强制请求信号控制电路的开关单元304闭合，使所述继电器303的第一控制端及第二控制端导通，控制所述第一被控制端及第二被控制端导通，所述第一被控制端接的电源负极会给所述第二被控制端的DI输入模块302输入电压，即输入强制请求信号，使化学供应机台30中的驱动泵开启，同时，所述输入输出盘向所述阀箱发送信号使阀箱50中的气动阀的，化学供应机台30正常向设备机台40供应化学品，即使所述化学供应机台30正常工作。
[0060]如上所述，本实用新型提供一种化学供应系统，包括:输入输出盘10 ;数据采集盘20，通过网络与所述输入输出盘10连接；化学供应机台30，通过网络与所述数据集中盘连接；设备机台40，通过化学输送管道与所述化学供应机台30连接；阀箱50，连接于所述化学工艺机台30及设备机台40之间，并与所述输入输出盘10相连；其中，所述化学供应机台30设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元304以及继电器303 ;所述开关单元304 —端接电源负极，另一端接继电器303的第一控制端；所述继电器303的第一控制端接化学供应机台30的DO输出模块301用以控制继电器303的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台30的DI输入模块302用以输入强制请求信号。本实用新型具有以下有益效果:
[0061]I)当网络线、数据采集盘20有问题以及网络堵塞而断信的情况下，化学供应机台30也能够正常提供化学品，保证供应零中断；
[0062]2)方便网络和数据采集盘20在出现问题时关闭维修，当网络和数据采集盘20出现问题需要整改时可以在保证系统正常供应的情况下随时整改与维修；[0063]3)方便以后化学供应系统的扩充，或更变网络的组态；
[0064]4)增加强制请求功能，方便平时化学供应系统的维护和测试。
[0065]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0066]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种化学供应系统，其特征在于，包括: 输入输出盘； 数据采集盘，通过网络与所述输入输出盘连接； 化学供应机台，通过网络与所述数据集中盘连接； 设备机台，通过化学输送管道与所述化学供应机台连接； 阀箱，连接于所述化学工艺机台及设备机台之间，并与所述输入输出盘相连； 其中，所述化学供应机台设置有强制请求信号控制电路，所述请求信号控制电路包括开关单元以及继电器；所述开关单元一端接电源负极，另一端接继电器的第一控制端；所述继电器的第一控制端接化学供应机台的DO输出模块用以控制继电器的开关，第二控制端接电源正极，第一被控制端接电源负极，第二被控制端接化学供应机台的DI输入模块用以输入强制请求信号。
2.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于:所述化学供应系统还包括报警装置，所述报警装置在所述化学供应机台无法接受到所述设备机台的请求信号时发出警报。
3.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于:所述化学供应机台设置有可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器在接收到所述强制请求信号时控制化学供应机台中的驱动泵以及设备机台中的气动阀的开启。
4.根据权利要求3所述的化学供应系统，其特征在于:所述开关单元为手动开关、或由所述可编程逻辑控制器控制的自动开关。
5.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于:所述开关单元为硬线开关。
6.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于:所述继电器为电磁式继电器。
7.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于:所述继电器为常开式继电器。
【文档编号】F17D3/01GK203823447SQ201420238027
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年5月9日 优先权日:2014年5月9日
【发明者】张文武, 王强, 刁春华, 周鹏, 杨洪, 廖伟杰 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司